JGS1, JGS2, болон JGS3 хайлуулсан цахиурын оптик шил
Дэлгэрэнгүй диаграмм
JGS1, JGS2, болон JGS3 хайлуулсан цахиурын тойм
JGS1, JGS2, JGS3 нь оптик спектрийн тодорхой бүсэд зориулагдсан гурван төрлийн хайлуулсан цахиурын нарийн инженерчлэлийн аргаар боловсруулсан материал юм. Дэвшилтэт хайлуулах процессоор дамжуулан хэт өндөр цэвэршилттэй цахиураас гаргаж авсан эдгээр материалууд нь онцгой оптик тунгалаг байдал, бага дулааны тэлэлт, гайхалтай химийн тогтвортой байдлыг харуулдаг.
-
JGS1– Хэт ягаан туяаны гүн дамжуулалтад оновчтой болгосон хэт ягаан туяаны зэрэглэлийн хайлсан цахиур.
-
JGS2– Ойрын хэт улаан туяанд харагдахуйц оптик зэрэглэлийн хайлуулсан цахиур.
-
JGS3– Хэт улаан туяаны гүйцэтгэлийг сайжруулсан хэт улаан туяаны зэрэглэлийн хайлуулсан цахиур.
Инженерүүд зөв зэрэглэлийг сонгосноор оптик системд хамгийн оновчтой дамжуулалт, бат бөх чанар, тогтвортой байдлыг бий болгож чадна.
JGS1, JGS2, болон JGS3-ийн зэрэглэл
JGS1 Хайлсан Цахиурын давхар исэл – Хэт ягаан туяаны зэрэг
Дамжуулах хүрээ:185–2500 нм
Гол хүч чадал:Гүн хэт ягаан туяаны долгионы уртад дээд зэргийн тунгалаг байдал.
JGS1 хайлуулсан цахиурыг хольцын түвшинг сайтар хянасан синтетик өндөр цэвэршилттэй цахиур ашиглан үйлдвэрлэдэг. Энэ нь хэт ягаан туяаны системд онцгой гүйцэтгэлийг үзүүлдэг бөгөөд 250 нм-ээс доош өндөр дамжуулалт, маш бага автофлуоресценц, нарны гэрлийн нөлөөнд тэсвэртэй.
JGS1-ийн гүйцэтгэлийн онцлох үйл явдлууд:
-
200 нм-ээс харагдахуйц муж хүртэл дамжуулах чадвар >90%.
-
Хэт ягаан туяаны шингээлтийг багасгахын тулд гидроксил (OH)-ийн агууламж багатай.
-
Эксимер лазерт тохиромжтой өндөр лазерын гэмтлийн босго.
-
Хэт ягаан туяаны нарийвчлалтай хэмжилт хийхэд хамгийн бага флуоресценц.
Нийтлэг хэрэглээ:
-
Фотолитографийн проекцийн оптик.
-
Эксимер лазер цонх ба линз (193 нм, 248 нм).
-
Хэт ягаан туяаны спектрометр ба шинжлэх ухааны багаж хэрэгсэл.
-
Хэт ягаан туяаны үзлэгийн өндөр нарийвчлалтай хэмжил зүй.
JGS2 хайлуулсан цахиурын давхар исэл – Оптик зэрэг
Дамжуулах хүрээ:220–3500 нм
Гол хүч чадал:Харагдахуйцаас ойрын хэт улаан туяа хүртэл тэнцвэртэй оптик гүйцэтгэл.
JGS2 нь харагдах гэрэл болон NIR гүйцэтгэл чухал үүрэг гүйцэтгэдэг ерөнхий зориулалттай оптик системд зориулагдсан. Энэ нь дунд зэргийн хэт ягаан туяаны дамжуулалтыг хангадаг боловч гол үнэ цэнэ нь оптик жигд байдал, долгионы фронтын бага гажуудал, маш сайн дулааны эсэргүүцэл юм.
JGS2-ийн гүйцэтгэлийн онцлох үйл явдлууд:
-
VIS-NIR спектрээр өндөр дамжуулалттай.
-
Уян хатан хэрэглээнд зориулж ~220 нм хүртэлх хэт ягаан туяаны хүчин чадалтай.
-
Дулааны цочрол болон механик стрессд маш сайн тэсвэртэй.
-
Хоёр хугарлын хамгийн бага хэмжээтэй жигд хугарлын индекс.
Нийтлэг хэрэглээ:
-
Нарийвчлалтай дүрслэлийн оптик.
-
Харагдахуйц болон NIR долгионы уртад зориулсан лазер цонхнууд.
-
Цацраг хуваагч, шүүлтүүр болон призм.
-
Микроскоп болон проекцийн системийн оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд.
JGS3 Хайлсан Цахиур – IR
Зэрэг
Дамжуулах хүрээ:260–3500 нм
Гол хүч чадал:Бага OH шингээлттэй хэт улаан туяаны дамжуулалтыг оновчтой болгосон.
JGS3 хайлуулсан цахиур нь үйлдвэрлэлийн явцад гидроксил агууламжийг бууруулснаар хамгийн их хэт улаан туяаны тунгалаг байдлыг хангахаар зохион бүтээгдсэн. Энэ нь ~2.73 μм ба ~4.27 μм-ийн шингээлтийн оргилуудыг багасгадаг бөгөөд энэ нь хэт улаан туяаны хэрэглээний гүйцэтгэлийг бууруулж болзошгүй юм.
JGS3-ийн гүйцэтгэлийн онцлох үйл явдлууд:
-
JGS1 болон JGS2-той харьцуулахад хэт улаан туяаны дамжуулалт сайтай.
-
OH-тэй холбоотой шингээлтийн алдагдал хамгийн бага.
-
Дулааны мөчлөгийн маш сайн эсэргүүцэл.
-
Өндөр температурын орчинд удаан хугацааны тогтвортой байдал.
Нийтлэг хэрэглээ:
-
Хэт улаан туяаны спектроскопийн кювет ба цонхнууд.
-
Дулааны дүрслэл ба мэдрэгчийн оптик.
-
Хэт хүнд нөхцөлд хэт улаан туяаны хамгаалалтын бүрхүүл.
-
Өндөр температурын процесст зориулсан үйлдвэрлэлийн ажиглалтын портууд.
JGS1, JGS2, болон JGS3-ийн харьцуулсан гол өгөгдөл
| Зүйл | JGS1 | JGS2 | JGS3 |
| Хамгийн их хэмжээ | <Φ200мм | <Φ300мм | <Φ200мм |
| Дамжуулах хүрээ (Дунд зэргийн дамжуулалтын харьцаа) | 0.17~2.10ум (Tavg>90%) | 0.26~2.10ум (Tavg>85%) | 0.185~3.50мкм (Tavg>85%) |
| OH- Контент | 1200 ppm | 150 ppm | 5 ppm |
| Флуоресценц (254нм-ээс бага) | Бараг үнэгүй | Хүчтэй vb | Хүчтэй VB |
| Бохирдлын агууламж | 5 ppm | 20-40 ppm | 40-50 ppm |
| Хоёр салаалалтын тогтмол | 2-4 нм/см | 4-6 нм/см | 4-10 нм/см |
| Хайлуулах арга | Синтетик зүрх судасны өвчин | Хүчилтөрөгч-устөрөгчийн хайлалт | Цахилгаан хайлалт |
| Аппликейшнүүд | Лазерын суурь: Цонх, линз, призм, толь... | Хагас дамжуулагч ба өндөр температурын цонх | IR & UV суурь |
Түгээмэл асуултууд – JGS1, JGS2, болон JGS3 хайлуулсан цахиур
А1: JGS1, JGS2, болон JGS3-ийн хоорондох гол ялгаа нь юу вэ?
A:
-
JGS1– 185 нм-ээс маш сайн дамжуулалттай, хэт ягаан туяаны зэрэглэлийн хайлуулсан цахиур нь гүн хэт ягаан туяаны оптик болон экзимер лазерт тохиромжтой.
-
JGS2– Ойрын хэт улаан туяаны (220–3500 нм) гэрэлд харагдахуйц оптик зэрэглэлийн хайлуулсан цахиур, ерөнхий зориулалттай оптикт тохиромжтой.
-
JGS3– OH шингээлтийн оргилуудыг бууруулсан хэт улаан туяаны (260–3500 нм) цацрагт оновчтой болгосон хэт улаан туяаны зэрэглэлийн хайлуулсан цахиур.
А2: Өргөдөлдөө аль ангийг сонгох ёстой вэ?
A:
-
СонгохJGS1хэт ягаан туяаны литографи, хэт ягаан туяаны спектроскопи эсвэл 193 нм/248 нм лазер системд зориулагдсан.
-
СонгохJGS2харагдахуйц/NIR дүрслэл, лазер оптик болон хэмжих төхөөрөмжүүдэд зориулагдсан.
-
СонгохJGS3хэт улаан туяаны спектроскопи, дулааны дүрслэл эсвэл өндөр температурын харах цонхонд зориулагдсан.
А3: Бүх JGS дүн ижил биеийн хүч чадалтай юу?
A:Тийм ээ. JGS1, JGS2, JGS3 нь нягтрал, хатуулаг, дулааны тэлэлт гэсэн ижил механик шинж чанартай байдаг. Учир нь эдгээр нь бүгд өндөр цэвэршилттэй хайлсан цахиураар хийгдсэн байдаг. Гол ялгаа нь оптик юм.
А4: JGS1, JGS2, болон JGS3 нь лазерын гэмтэлд тэсвэртэй юу?
A:Тийм. Бүх зэрэглэлийн лазерын гэмтлийн босго өндөр байдаг (1064 нм, 10 нс импульс дээр >20 Ж/см²). Хэт ягаан туяаны лазерын хувьд,JGS1нарны гэрэл болон гадаргуугийн доройтолд хамгийн өндөр эсэргүүцлийг санал болгодог.
Бидний тухай
XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.












