JGS1, JGS2 болон JGS3 хайлсан цахиурын оптик шил

Богино тайлбар:

“Fused Silica” буюу “Fused Quartz” нь кварцын аморф фаз (SiO2). Боросиликат шилтэй харьцуулахад хайлсан цахиур нь нэмэлт бодисгүй; Иймээс энэ нь цэвэр хэлбэрээр, SiO2-тэй байдаг. Ууссан цахиур нь ердийн шилтэй харьцуулахад хэт улаан туяаны болон хэт ягаан туяанд илүү өндөр дамжуулалттай байдаг. Хайлсан цахиур нь хэт цэвэр SiO2-ийг хайлуулж, дахин хатууруулах замаар гаргаж авдаг. Нөгөө талаас нийлэг хайлуулсан цахиур нь SiCl4 зэрэг цахиураар баялаг химийн прекурсоруудаас хийгдсэн бөгөөд үүнийг хийжүүлж, дараа нь H2 + O2 агаар мандалд исэлдүүлдэг. Энэ тохиолдолд үүссэн SiO2 тоос нь субстрат дээр цахиурт уусдаг. Хайлуулсан цахиурын блокуудыг вафель болгон хайчилж, эцэст нь зүсэж өнгөлнө.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Нарийвчилсан диаграмм

JGS1, JGS2, JGS3 хайлсан цахиурын тойм

JGS1, JGS2, JGS3 нь хайлуулсан цахиурын нарийн боловсруулсан гурван зэрэг бөгөөд тус бүр нь оптик спектрийн тодорхой бүс нутагт зориулагдсан. Дэвшилтэт хайлуулах процессоор хэт өндөр цэвэршилттэй цахиураас гаргаж авсан эдгээр материалууд нь онцгой оптик тунгалаг, дулааны тэлэлт багатай, химийн гайхалтай тогтвортой байдлыг харуулдаг.

JGS1– Хэт ягаан туяаг гүн дамжуулахад оновчтой болгосон хэт ягаан туяаны хайлсан цахиур.
JGS2– Ойролцоох хэт улаан туяанд харагдахуйц оптик чанартай хайлсан цахиур.
JGS3– Сайжруулсан хэт улаан туяаны гүйцэтгэлтэй IR зэрэглэлийн хайлсан цахиур.

Зөв зэрэглэлийг сонгосноор инженерүүд шаардлагатай оптик системүүдийн оновчтой дамжуулалт, бат бөх, тогтвортой байдалд хүрч чадна.

JGS1, JGS2, JGS3 зэрэг

JGS1 хайлсан цахиур – Хэт ягаан туяаны зэрэг

Дамжуулах хүрээ:185–2500 нм
Үндсэн хүч чадал:Гүн хэт ягаан туяаны долгионы уртад дээд зэргийн тунгалаг байдал.

JGS1 хайлсан цахиур нь нарийн хяналттай хольцын түвшин бүхий синтетик өндөр цэвэршилттэй цахиурыг ашиглан үйлдвэрлэгддэг. Энэ нь хэт ягаан туяаны системд онцгой гүйцэтгэлтэй бөгөөд 250 нм-ээс доош өндөр дамжуулалт, маш бага автофлуоресценц, нарны цацрагт хүчтэй эсэргүүцэл үзүүлдэг.

JGS1-ийн гүйцэтгэлийн онцлох үйл явдлууд:

200 нм-ээс харагдах хүрээ хүртэл >90% дамжуулалт.
Хэт ягаан туяаны шингээлтийг багасгахын тулд бага гидроксил (OH) агууламжтай.
Эксимер лазерт тохирох өндөр лазер гэмтлийн босго.
Нарийн хэт ягаан туяаг хэмжихэд хамгийн бага флюресцент.

Нийтлэг програмууд:

Фотолитографийн проекцын оптик.
Эксимер лазерын цонх ба линз (193 нм, 248 нм).
Хэт ягаан туяаны спектрометр ба шинжлэх ухааны багаж хэрэгсэл.
Хэт ягаан туяаны хяналтын өндөр нарийвчлалтай хэмжил зүй.

JGS2 хайлсан цахиур – Оптик зэрэг

Дамжуулах хүрээ:220–3500 нм
Үндсэн хүч чадал:Харагдахаас ойрын хэт улаан туяа хүртэл тэнцвэртэй оптик гүйцэтгэл.

JGS2 нь харагдахуйц гэрэл болон NIR гүйцэтгэл чухал байдаг ерөнхий зориулалтын оптик системд зориулагдсан. Энэ нь дунд зэргийн хэт ягаан туяаг дамжуулдаг боловч түүний гол үнэ цэнэ нь оптик жигд байдал, долгионы фронтын гажуудал бага, дулааны маш сайн эсэргүүцэл юм.

JGS2-ийн гүйцэтгэлийн онцлох үйл явдлууд:

VIS-NIR спектрийн өндөр дамжуулалт.
Уян хатан хэрэглээнд зориулж ~220 нм хүртэл хэт ягаан туяаны хүчин чадалтай.
Дулааны цочрол, механик стресст маш сайн тэсвэртэй.
Нэг төрлийн хугарлын илтгэгч хамгийн бага хос хугаралттай.

Нийтлэг програмууд:

Нарийвчилсан дүрслэлийн оптик.
Үзэгдэх ба NIR долгионы уртад зориулсан лазер цонх.
Цацраг задлагч, шүүлтүүр, призм.
Микроскоп ба проекцийн системд зориулсан оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд.

JGS3 хайлсан цахиур – IR

Зэрэг

Дамжуулах хүрээ:260–3500 нм
Үндсэн хүч чадал:OH шингээлт багатай хэт улаан туяаны дамжуулалтыг оновчтой болгосон.

JGS3 хайлсан цахиур нь үйлдвэрлэлийн явцад гидроксил агууламжийг бууруулж, хэт улаан туяаны тунгалаг байдлыг дээд зэргээр хангахаар бүтээгдсэн. Энэ нь шингээлтийн оргилыг ~2.73 μм ба ~4.27 μм-д багасгадаг бөгөөд энэ нь IR хэрэглээний гүйцэтгэлийг бууруулж болзошгүй юм.

JGS3-ийн гүйцэтгэлийн онцлох үйл явдлууд:

JGS1 ба JGS2-тай харьцуулахад дээд зэргийн IR дамжуулалт.
OH-тэй холбоотой шингээлтийн хамгийн бага алдагдал.
Маш сайн дулааны эргэлтийн эсэргүүцэл.
Өндөр температуртай орчинд удаан хугацааны тогтвортой байдал.

Нийтлэг програмууд:

IR спектроскопийн кювет ба цонхнууд.
Дулааны дүрслэл ба мэдрэгчтэй оптик.
Хэцүү орчинд IR хамгаалалтын бүрхүүл.
Өндөр температурт процесст зориулсан үйлдвэрлэлийн харах портууд.

JGS1, JGS2, JGS3-ын үндсэн харьцуулсан өгөгдөл

Зүйл	JGS1	JGS2	JGS3
Хамгийн их хэмжээ	<Φ200мм	<Φ300мм	<Φ200мм
Дамжуулах хүрээ (дунд дамжуулалтын харьцаа)	0.17~2.10ум (Тавг>90%)	0.26~2.10ум (Тавг>85%)	0.185~3.50ум (Тавг>85%)
OH- Агуулга	1200 ppm	150 ppm	5 ppm
Флюресценц (жишээ нь 254нм)	Бараг үнэгүй	Хүчтэй vb	Хүчтэй VB
Бохирдлын агууламж	5 ppm	20-40 ppm	40-50 ppm
Хоёр эвдрэлийн тогтмол	2-4 нм/см	4-6 нм/см	4-10 нм/см
Хайлуулах арга	Синтетик CVD	Хүчил устөрөгчийн хайлуулалт	Цахилгаан хайлах
Хэрэглээ	Лазер субстрат: Цонх, линз, призм, толь...	Хагас дамжуулагч ба өндөр температурт цонх	IR ба хэт ягаан туяа субстрат

Түгээмэл асуултууд – JGS1, JGS2, болон JGS3 хайлсан цахиур

А1: JGS1, JGS2, JGS3 хоёрын гол ялгаа нь юу вэ?
A:

JGS1– 185 нм-ийн гайхалтай дамжуулалт бүхий хэт ягаан туяаны зэрэглэлийн хайлуулсан цахиур нь гүн гүнзгий хэт ягаан туяаны оптик болон эксимер лазерт тохиромжтой.
JGS2– Ойролцоох хэт улаан туяанд (220–3500 нм) харагдахуйц хэрэглээнд зориулагдсан оптик чанартай хайлуулсан цахиур, ерөнхий зориулалтын оптикт тохиромжтой.
JGS3– Хэт улаан туяанд (260–3500 нм) оновчтой, OH шингээлтийн оргил бууруулсан IR зэрэглэлийн хайлуулсан цахиур.

Асуулт 2: Би өргөдөл гаргахдаа аль анги сонгох ёстой вэ?
A:

СонгоJGS1Хэт ягаан туяаны литографи, хэт ягаан туяаны спектроскопи эсвэл 193 нм/248 нм лазер системд зориулагдсан.
СонгоJGS2харагдахуйц/NIR дүрслэл, лазер оптик, хэмжих төхөөрөмжүүдэд зориулагдсан.
СонгоJGS3IR спектроскопи, дулааны дүрслэл эсвэл өндөр температурт харах цонхонд зориулагдсан.

Асуулт 3: JGS-ийн бүх ангиуд ижил биеийн хүч чадалтай юу?
A:Тиймээ. JGS1, JGS2, JGS3 нь нягтрал, хатуулаг, дулааны тэлэлт зэрэг ижил механик шинж чанартай байдаг, учир нь тэдгээр нь бүгд өндөр цэвэршилттэй хайлсан цахиураас хийгдсэн байдаг. Гол ялгаа нь оптик юм.

Асуулт 4: JGS1, JGS2, JGS3 лазерын гэмтэлд тэсвэртэй юу?
A:Тиймээ. Бүх зэрэглэлүүд лазерын гэмтлийн босго өндөртэй (1064 нм-д 20 Ж/см², 10 нс импульс). Хэт ягаан туяаны лазерын хувьдJGS1нарны эрчимжилт болон гадаргуугийн доройтолд хамгийн их тэсвэртэй.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил, шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтаар мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд оптик электроник, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл, цэрэг арми зэрэгт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрээс, керамик, LT, цахиурын карбид SIC, кварц, хагас дамжуулагч болор хавтан зэргийг санал болгож байна. Чадварлаг туршлага, хамгийн сүүлийн үеийн тоног төхөөрөмжөөр бид стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлж, оптоэлектроник материалын өндөр технологийн тэргүүлэх үйлдвэр байхыг зорьж байна.