Хэт улаан туяаны мэдрэгчид зориулсан InSb вафер 2 инчийн 3 инчийн холболтгүй Ntype P төрлийн чиглэл 111 100
Онцлог шинж чанарууд
Допинг хийх сонголтууд:
1. Доп хийгдээгүй:Эдгээр вафли нь ямар ч допинг бодис агуулаагүй бөгөөд голчлон эпитаксиал ургалт гэх мэт тусгай зориулалтаар ашиглагддаг бөгөөд вафли нь цэвэр субстрат болж үйлчилдэг.
2.N-төрөл (Te хольцтой):Теллур (Te) допинг нь N хэлбэрийн вафли үүсгэхэд ашиглагддаг бөгөөд энэ нь электроны өндөр хөдөлгөөнийг санал болгодог бөгөөд хэт улаан туяаны мэдрэгч, өндөр хурдны электроник болон үр ашигтай электрон урсгал шаарддаг бусад хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
3.P-төрөл (Ге хольцтой):Германий (Ge) допинг нь P хэлбэрийн вафли үүсгэхэд ашиглагддаг бөгөөд энэ нь нүхний өндөр хөдөлгөөнийг хангаж, хэт улаан туяаны мэдрэгч болон фотодетекторуудад маш сайн гүйцэтгэлийг санал болгодог.
Хэмжээний сонголтууд:
1. Вафли нь 2 инч ба 3 инчийн диаметртэй байдаг. Энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн янз бүрийн процесс болон төхөөрөмжүүдтэй нийцтэй байдлыг хангадаг.
2. 2 инчийн вафли нь 50.8±0.3 мм диаметртэй бол 3 инчийн вафли нь 76.2±0.3 мм диаметртэй.
Чиглэл:
1. Ваферууд нь 100 ба 111 гэсэн чиглэлтэй байдаг. 100 гэсэн чиглэл нь өндөр хурдны электроник болон хэт улаан туяаны мэдрэгчүүдэд тохиромжтой бол 111 гэсэн чиглэлийг тодорхой цахилгаан эсвэл оптик шинж чанар шаарддаг төхөөрөмжүүдэд ихэвчлэн ашигладаг.
Гадаргуугийн чанар:
1. Эдгээр хавтангууд нь маш сайн чанарын өнгөлсөн/сийлсэн гадаргуутай тул нарийн оптик эсвэл цахилгаан шинж чанар шаарддаг хэрэглээнд оновчтой гүйцэтгэлийг бий болгодог.
2. Гадаргуугийн бэлтгэл нь согогийн нягтрал багатай тул эдгээр хавтангууд нь гүйцэтгэлийн тогтвортой байдал чухал ач холбогдолтой хэт улаан туяаны илрүүлэх хэрэглээнд тохиромжтой.
Эпи-Бэлэн:
1. Эдгээр вафли нь эпитаксиаль өсөлттэй холбоотой хэрэглээнд тохиромжтой бөгөөд хагас дамжуулагч эсвэл оптоэлектроник төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд нэмэлт материалын давхаргыг вафли дээр хуримтлуулах болно.
Аппликейшнүүд
1. Хэт улаан туяаны мэдрэгч:InSb ваферуудыг хэт улаан туяаны мэдрэгч үйлдвэрлэхэд, ялангуяа дунд долгионы хэт улаан туяаны (MWIR) хүрээнд өргөн ашигладаг. Эдгээр нь шөнийн харааны систем, дулааны дүрслэл болон цэргийн хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай.
2. Хэт улаан туяаны дүрслэлийн системүүд:InSb ваферуудын өндөр мэдрэг чанар нь аюулгүй байдал, тандалт, шинжлэх ухааны судалгаа зэрэг янз бүрийн салбарт хэт улаан туяаны дүрслэлийг нарийн хийх боломжийг олгодог.
3. Өндөр хурдны электроник:Электроны өндөр хөдөлгөөнтэй тул эдгээр хавтангуудыг өндөр хурдны транзистор болон оптоэлектрон төхөөрөмж зэрэг дэвшилтэт электрон төхөөрөмжүүдэд ашигладаг.
4. Квант худгийн төхөөрөмжүүд:InSb ваферууд нь лазер, детектор болон бусад оптоэлектроник системд квант худгийн хэрэглээнд тохиромжтой.
Бүтээгдэхүүний параметрүүд
| Параметр | 2 инч | 3 инч |
| Диаметр | 50.8±0.3мм | 76.2±0.3мм |
| Зузаан | 500±5μm | 650±5μm |
| Гадаргуу | Өнгөлсөн/Сийлсэн | Өнгөлсөн/Сийлсэн |
| Допингийн төрөл | Допинг хийгдээгүй, Те-допинг хийгдээгүй (N), Ге-допинг хийгдээгүй (P) | Допинг хийгдээгүй, Те-допинг хийгдээгүй (N), Ге-допинг хийгдээгүй (P) |
| Чиглэл | 100, 111 | 100, 111 |
| Багц | Ганц бие | Ганц бие |
| Эпи-Бэлэн | Тийм | Тийм |
Te хольцтой (N-төрөл) цахилгаан параметрүүд:
- Хөдөлгөөнт байдал: 2000-5000 см²/V·с
- Эсэргүүцэл: (1-1000) Ω·см
- EPD (Гэмтлийн нягтрал): ≤2000 согог/см²
Ге допингтой (P-төрөл) цахилгаан параметрүүд:
- Хөдөлгөөнт байдал: 4000-8000 см²/V·с
- Эсэргүүцэл: (0.5-5) Ω·см
EPD (Гэмтлийн нягтрал): ≤2000 согог/см²
Асуулт ба хариулт (Байнга асуудаг асуултууд)
А1: Хэт улаан туяаны илрүүлэлтийн хэрэглээнд хамгийн тохиромжтой допингийн төрөл юу вэ?
А1:Те-допинг (N-төрөл)Дунд долгионы урттай хэт улаан туяаны (MWIR) мэдрэгч болон дүрслэлийн системд өндөр электрон хөдөлгөөнтэй, маш сайн гүйцэтгэлтэй тул ваферууд нь хэт улаан туяаны илрүүлэлтийн хэрэглээнд хамгийн тохиромжтой сонголт болдог.
А2: Би эдгээр вафлиг өндөр хурдны электрон хэрэглээнд ашиглаж болох уу?
А2: Тийм ээ, InSb вафли, ялангуяаN хэлбэрийн допингмөн100 чиглэл, нь электрон хөдөлгөөн өндөртэй тул транзистор, квант худгийн төхөөрөмж, оптоэлектроник бүрэлдэхүүн хэсгүүд зэрэг өндөр хурдны электроникт тохиромжтой.
А3: InSb ваферуудын 100 ба 111 чиглэлийн хооронд ямар ялгаа байдаг вэ?
А3:100чиглүүлэлтийг өндөр хурдны электрон гүйцэтгэл шаарддаг төхөөрөмжүүдэд түгээмэл ашигладаг бол111Чиглэлийг ихэвчлэн тодорхой оптоэлектрон төхөөрөмж болон мэдрэгч зэрэг өөр өөр цахилгаан эсвэл оптик шинж чанар шаарддаг тодорхой хэрэглээнд ашигладаг.
А4: InSb вафлины хувьд Epi-Ready функцийн ач холбогдол юу вэ?
А4:Эпи-Бэлэнонцлог нь хавтанг эпитаксиал тунадасжуулалтын процесст урьдчилан боловсруулсан гэсэн үг юм. Энэ нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч эсвэл оптоэлектроник төхөөрөмж үйлдвэрлэх гэх мэт хавтангийн дээр нэмэлт материалын давхаргыг ургуулах шаардлагатай хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой юм.
А5: InSb ваферуудыг хэт улаан туяаны технологийн салбарт ямар ердийн хэрэглээтэй вэ?
А5: InSb ваферуудыг голчлон хэт улаан туяаны илрүүлэлт, дулааны дүрслэл, шөнийн харааны систем болон бусад хэт улаан туяаны мэдрэгч технологид ашигладаг. Өндөр мэдрэмжтэй, бага дуу чимээтэй тул тэдгээрийг хамгийн тохиромжтой болгодог.дунд долгионы хэт улаан туяа (MWIR)илрүүлэгч.
А6: Вафлийн зузаан нь түүний гүйцэтгэлд хэрхэн нөлөөлдөг вэ?
А6: Вафлийн зузаан нь түүний механик тогтвортой байдал болон цахилгаан шинж чанарт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Илүү нимгэн вафлийг ихэвчлэн материалын шинж чанарыг нарийн хянах шаардлагатай илүү мэдрэмтгий хэрэглээнд ашигладаг бол зузаан вафли нь тодорхой үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд илүү бат бөх чанарыг өгдөг.
А7: Хэрэглээндээ тохирох вафлийн хэмжээг хэрхэн сонгох вэ?
А7: Тохиромжтой вафлийн хэмжээ нь зохион бүтээж буй тодорхой төхөөрөмж эсвэл системээс хамаарна. Жижиг вафли (2 инч)-ийг ихэвчлэн судалгаа, жижиг хэмжээний хэрэглээнд ашигладаг бол том вафли (3 инч)-ийг ихэвчлэн массын үйлдвэрлэл болон илүү их материал шаарддаг том төхөөрөмжүүдэд ашигладаг.
Дүгнэлт
InSb вафли дотор2 инчмөн3 инчхэмжээсүүд, хамтхийгдээгүй, N-төрөл, баP-төрөлхувилбарууд нь хагас дамжуулагч болон оптоэлектроник хэрэглээнд, ялангуяа хэт улаан туяаны илрүүлэх системд маш үнэ цэнэтэй юм.100мөн111Чиглэл нь өндөр хурдны электроникоос эхлээд хэт улаан туяаны дүрслэлийн систем хүртэл янз бүрийн технологийн хэрэгцээнд уян хатан байдлыг хангадаг. Эдгээр хавтангууд нь онцгой электрон хөдөлгөөн, бага дуу чимээ, нарийн гадаргуугийн чанараараа хамгийн тохиромжтой.дунд долгионы урттай хэт улаан туяаны мэдрэгчболон бусад өндөр гүйцэтгэлтэй програмууд.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
