Оптик шил/кварц/индранил боловсруулах зориулалттай хэт улаан туяаны пикосекундын хос платформ лазер зүсэх төхөөрөмж
Үндсэн параметр
| Лазер төрөл | Хэт улаан туяаны пикосекунд |
| Платформын хэмжээ | 700×1200 (мм) |
| 900×1400 (мм) | |
| Зүсэх зузаан | 0.03-80 (мм) |
| Таслах хурд | 0-1000 (мм/с) |
| Хамгийн сүүлийн үеийн эвдрэл | <0.01 (мм) |
| Жич: Платформын хэмжээг өөрчлөх боломжтой. | |
Гол онцлогууд
1.Ультрафаст лазер технологи:
· Пикосекундын түвшний богино импульс (10⁻¹²s) нь MOPA тааруулах технологитой хослуулан эрчим хүчний дээд нягтралыг >10¹² Вт/см² болгодог.
· Хэт улаан туяаны долгионы урт (1064 нм) нь шугаман бус шингээлтээр ил тод материалд нэвтэрч, гадаргууг арилгахаас сэргийлдэг.
· Өмчлөлийн олон фокустай оптик систем нь дөрвөн бие даасан боловсруулалтын цэгийг нэгэн зэрэг үүсгэдэг.
2.Хос станцын синхрончлолын систем:
· Боржин суурьтай хос шугаман моторын үе шат (байршлын нарийвчлал: ±1μm).
· Станцыг солих хугацаа <0.8 сек, зэрэгцээ "боловсруулах-ачаалах/буулгах" үйлдлүүдийг хийх боломжтой.
· Нэг станц бүрт бие даасан температурын хяналт (23±0.5°C) нь механик боловсруулалтын урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангана.
3. Ухаалаг үйл явцын удирдлага:
· Автомат параметрүүдийг тохируулах зориулалттай материалын нэгдсэн мэдээллийн сан (200+ шилэн параметр).
· Бодит цагийн плазмын хяналт нь лазерын энергийг динамикаар тохируулдаг (тохируулгын нарийвчлал: 0.1мЖ).
· Агаарын хөшигний хамгаалалт нь ирмэгийн бичил хагарлыг (<3μm) багасгадаг.
0.5 мм-ийн зузаантай индранил хавтан шоо зүсэхтэй холбоотой ердийн хэрэглээний тохиолдолд систем нь 300мм/с-ийн зүсэлтийн хурдыг <10μm-ээс бага хэмжээтэй болгодог нь уламжлалт аргуудаас үр ашгийг 5 дахин дээшлүүлж байгааг харуулж байна.
Боловсруулалтын давуу тал
1.Уян хатан ажиллагаатай хос станцтай зүсэх, хуваах нэгдсэн систем;
2. Нарийн төвөгтэй геометрийн өндөр хурдтай боловсруулалт нь процессын хувиргалтын үр ашгийг нэмэгдүүлдэг;
3. Хамгийн бага зүсэлттэй (<50μm) конусгүй зүсэх ирмэгүүд ба операторын аюулгүй ажиллагаа;
4. Зөн совинтой үйл ажиллагаа бүхий бүтээгдэхүүний техникийн үзүүлэлтүүдийн хооронд саадгүй шилжих;
5.Ашиглалтын зардал бага, бүтээмж өндөр, хэрэглээний материалгүй, бохирдолгүй процесс;
6.Гадаргын бүрэн бүтэн байдлыг баталгаажуулсан шаар, хаягдал шингэн, бохир усыг тэг үүсгэх;
Жишээ дэлгэц
Ердийн програмууд
1. Хэрэглээний электроникийн үйлдвэрлэл:
· Ухаалаг утасны 3D бүрхүүлийн шилний контурын нарийн зүсэлт (R өнцгийн нарийвчлал: ±0.01мм).
· Индранил цагны линзэнд бичил цооног өрөмдөх (хамгийн бага диафрагм: Ø0.3мм).
· Дэлгэцийн доорх камерын оптик шил дамжуулах бүсийг дуусгах.
2. Оптик бүрэлдэхүүн хэсэг үйлдвэрлэл:
· AR/VR линзний массивын бичил бүтцийн боловсруулалт (онцлогын хэмжээ ≥20μm).
· Лазер коллиматорын кварцын призмийг өнцгөөр зүсэх (өнцгийн хүлцэл: ±15").
· Хэт улаан туяаны шүүлтүүрийн профайлын хэлбэр (хүсэх конус <0.5°).
3. Хагас дамжуулагч сав баглаа боодол:
· Шилэн дамжих (TGV) боловсруулалт нь вафель түвшинд (1:10 харьцаа).
· Микрофлюидик чипс (Ra <0.1μm)-ийн шилэн дэвсгэр дээр бичил сувгийн сийлбэр хийх.
· MEMS кварцын резонаторын давтамж тааруулах зүсэлт.
Автомашины LiDAR оптик цонхны үйлдвэрлэлийн хувьд уг систем нь 89.5±0.3°-ын перпендикуляр зүсэлт бүхий 2 мм-ийн зузаантай кварц шилний контурыг зүсэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь автомашины чичиргээний туршилтын шаардлагыг хангадаг.
Процессын програмууд
Хэврэг/хатуу материалыг нарийн зүсэх зориулалттай, үүнд:
1.Стандарт шил ба оптик шил (BK7, хайлсан цахиур);
2. Кварцын талст ба индранил субстрат;
3. Шилэн ба оптик шүүлтүүр
4. Толин тусгал субстрат
Контур хайчлах, дотоод нүхний нарийн өрөмдлөг хийх чадвартай (хамгийн багадаа Ø0.3мм)
Лазер зүсэх зарчим
Лазер нь фемтосекундээс пикосекунд хүртэлх хугацаанд ажлын хэсэгтэй харилцан үйлчилдэг маш өндөр энерги бүхий хэт богино импульс үүсгэдэг. Материалаар дамжин тархах явцад цацраг нь стрессийн бүтцийг эвдэж, микрон хэмжээний судалтай нүх үүсгэдэг. Оновчтой нүхний зай нь хяналттай бичил хагарал үүсгэдэг бөгөөд энэ нь цавчих технологитой хослуулан нарийн ялгахад хүргэдэг.
Лазер зүсэлтийн давуу тал
1.Цахилгаан бага зарцуулалттай, хялбаршуулсан ажиллагаатай өндөр автоматжуулалтын интеграци (хосолсон зүсэх/хагалах функц);
2. Холбоо барихгүй боловсруулалт нь уламжлалт аргуудын тусламжтайгаар боломжгүй өвөрмөц чадварыг бий болгодог;
3.Хэрэглээний материалгүй ажиллах нь урсгал зардлыг бууруулж, байгаль орчны тогтвортой байдлыг сайжруулдаг;
4. Тэг шовгор өнцгөөр дээд зэргийн нарийвчлал, хоёрдогч ажлын хэсгийн эвдрэлийг арилгах;
XKH нь янз бүрийн салбар дахь үйлдвэрлэлийн өвөрмөц шаардлагад нийцсэн платформын тохируулга, тусгай процессын параметр боловсруулах, хэрэглээний тусгай шийдлүүд зэрэг манай лазер зүсэх системд тохируулах цогц үйлчилгээг үзүүлдэг.