12 инчийн Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP
Өрөөний хайрцгийн танилцуулга
12 инчийн индранил хавтан үйлдвэрлэх нь нарийн төвөгтэй бөгөөд нарийн мэргэжлийн үйл явц юм. 12 инчийн индранил хавтан үйлдвэрлэхэд хамаарах зарим үндсэн алхмууд энд байна.
Үрийн болор бэлтгэх: Эхний алхам бол нэг талст индранил ургуулах загвар болох үрийн болор бэлтгэх явдал юм. Үрийн талстыг зөв тэгшлэх, гадаргуугийн тэгш байдлыг хангахын тулд сайтар хэлбэржүүлж, өнгөлсөн.
Хөнгөн цагааны исэл хайлуулах: Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан исэл (Al2O3) нь тигелд хайлуулна. Тигель нь ихэвчлэн цагаан алт эсвэл өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай бусад идэвхгүй материалаар хийгдсэн байдаг.
Кристал өсөлт: Хайлсан хөнгөн цагаан ислийг бэлтгэсэн үрийн талсттай хамт үрж, хяналттай уур амьсгалыг хадгалахын зэрэгцээ аажмаар хөргөнө. Энэ процесс нь индранил болорыг давхаргаар ургуулж, нэг болор ембүү үүсгэх боломжийг олгодог.
Эмбүү хэлбэржүүлэх: Болорыг хүссэн хэмжээгээрээ томруулсны дараа түүнийг тигльээс гаргаж, цилиндр хэлбэртэй хэлбэртэй болгоно. Дараа нь булцууг нарийн ширхэгтэй зүсмэлүүд болгон хуваана.
Өргөст ялтсын боловсруулалт: Зүссэн зүсмэлүүд нь хүссэн зузаан, гадаргуугийн өнгөлгөө, чанарт хүрэхийн тулд янз бүрийн процесст хамрагддаг. Үүнд гадаргуугийн согогийг арилгах, шаардлагатай тэгш, гөлгөр байдлыг хангахын тулд өнгөлөх, өнгөлөх, хими-механик хавтгайжуулалт (CMP) орно.
Цэвэрлэгээ ба үзлэг: Боловсруулсан вафель нь аливаа бохирдлыг арилгахын тулд сайтар цэвэрлэнэ. Дараа нь тэдгээр нь хагарал, зураас, хольц зэрэг согогийг шалгана.
Сав баглаа боодол, ачилт: Эцэст нь, шалгагдсан өрөмийг савлаж, үйлчлүүлэгчдэд хүргэхээр бэлтгэдэг бөгөөд ихэвчлэн тээвэрлэлтийн явцад хамгаалалтыг хангадаг вафель зөөгчөөр хийдэг.
12 инчийн индранил хавтан үйлдвэрлэхэд жижиг өрөмтэй харьцуулахад тусгай тоног төхөөрөмж, тоног төхөөрөмж шаардлагатай болохыг анхаарах нь чухал юм. Энэ процесс нь том ширхэгтэй хавтангийн бүрэн бүтэн байдал, чанарыг хангахын тулд зах хязгаарлах, стрессийн менежмент гэх мэт дэвшилтэт техникийг багтааж болно.
Хэрэв танд индранил субстрат хэрэгтэй бол холбоо барина уу:
шуудан:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Бид тантай хурдан холбогдох болно!