Өндөр цэвэршилттэй SiC оптик линз Куб 4H-хагас 6SP хэмжээ өөрчлөн
SiC оптик линзний шинж чанар
1. Материаллаг давуу байдал
Хүрээлэн буй орчинд хэт дасан зохицох чадвар: >1500°C температур, хүчтэй хүчил/шүлт зэврэлт, өндөр энергийн цацрагийг тэсвэрлэх чадвартай, сансрын хөлөг болон цөмийн байгууламжид тохиромжтой.
Механик хүч чадал: Очир эрдэнийн хатуулаг (Mohs 9.5), гулзайлтын бат бэх >400 МПа, нөлөөллийн эсэргүүцэл нь ердийн оптик шилнээс хол давсан.
Дулааны тогтвортой байдал: Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь хайлуулсан цахиураас 100 дахин их, CTE нь энгийн шилний ердөө 1/10-тай тэнцэх бөгөөд дулааны хурдацтай эргэлтийн үед тогтвортой байдлыг хангана.
2. Оптик гүйцэтгэлийн давуу тал
Өргөн спектрийн дамжуулалт (0.2-6 μм); Мэргэшсэн бүрээс нь тодорхой зурваст (жишээлбэл, IR-ийн дундах 3-5 μм) дамжуулалтыг >95% хүртэл оновчтой болгож чадна.
Тархалтын алдагдал бага (<0.5%/см), 10/5 зураас ухах стандарт хүртэл гадаргуугийн өнгөлгөө, гадаргуугийн тэгш байдал λ/10@633 нм.
Лазераас үүдэлтэй гэмтлийн өндөр босго (LIDT) >15 Ж/см² (1064 нм, 10 нс импульс), өндөр хүчин чадалтай лазер фокусын системд тохиромжтой.
3. Нарийвчлалтай боловсруулах чадвар
Хэлбэрийн нарийвчлал <100 нм PV ба төвлөрөл <1 аркмин бүхий нарийн төвөгтэй гадаргууг (асферик, чөлөөт хэлбэр) дэмждэг.
Одон орны дуран болон сансрын оптикийн хувьд том хэмжээтэй SiC линз (диаметр > 500 мм) үйлдвэрлэх чадвартай.
SiC оптик линзний үндсэн хэрэглээ
1. Сансрын оптик ба хамгаалалт
SiC-ийн хөнгөн шинж чанар (нягтрал 3.21 г/см³) болон цацрагийн эсэргүүцлийг ашиглан хиймэл дагуулын алсын зайнаас тандан судлах линз ба сансрын дурангийн оптик.
Хэт авианы нислэгийн үед аэродинамик халалтыг (>1000°C) тэсвэрлэдэг пуужин хайгчийн оптик цонх.
2. Өндөр хүчин чадалтай лазерын системүүд
Аж үйлдвэрийн лазер зүсэх/гагнуурын тоног төхөөрөмжид зориулсан фокусын линз, кВт ангиллын тасралтгүй лазерд удаан хугацаагаар өртөх.
Инерцийн хязгаарлагдмал хайлуулах (ICF) систем дэх цацраг хэлбэрийн элементүүд нь өндөр энерги бүхий лазер дамжуулалтыг баталгаажуулдаг.
3. Хагас дамжуулагч & Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл
10 кВт/м² дулааны урсгалаас бага 1 нм-ээс бага дулааны хэв гажилттай, EUV литографийн оптикт зориулсан SiC толин тусгал субстрат.
Идэвхтэй температурыг хянахын тулд SiC дамжуулалтыг ашигладаг цахим цацрагийн хяналтын хэрэгсэлд зориулсан цахилгаан соронзон линз.
4. Үйлдвэрийн хяналт, эрчим хүч
Өндөр температурт зууханд зориулсан дурангийн линз (1500 ° C тасралтгүй ажиллагаа).
Цооногийн даралт (>100 МПа) болон идэмхий орчинг эсэргүүцэх газрын тосны цооног бүртгэх багажийн хэт улаан туяаны оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд.
Өрсөлдөөний үндсэн давуу тал
1. Гүйцэтгэлийн цогц манлайлал
SiC линз нь дулааны/механик/химийн тогтвортой байдлын хувьд уламжлалт оптик материалаас (хайлсан цахиур, ZnSe) давж, "өндөр дамжуулалт + бага тэлэлт" шинж чанараараа том оптикийн дулааны хэв гажилтын асуудлыг шийддэг.
2. Амьдралын мөчлөгийн зардлын үр ашиг
Анхны зардал өндөр боловч SiC линзний ашиглалтын хугацааг уртасгасан (5-10 × ердийн шил) болон засвар үйлчилгээ шаарддаггүй ажиллагаа нь нийт эзэмшлийн зардлыг (TCO) мэдэгдэхүйц бууруулдаг.
3. Дизайн эрх чөлөө
Урвалын холболттой эсвэл CVD процессууд нь хөнгөн SiC оптик бүтцийг (зөгийн сархинагаас бүрдсэн цөм) бий болгож, хөшүүн, жингийн харьцаатай харьцуулшгүй үзүүлэлтийг бий болгодог.
XKH үйлчилгээний боломжууд
1. Захиалгат үйлдвэрлэлийн үйлчилгээ
Оптик дизайнаас (Zemax/Code V симуляци) эцсийн нийлүүлэлт хүртэл, асферик/тэнхлэгээс гадуурх параболик чөлөөт хэлбэрийн гадаргууг дэмжих эцсийн шийдлүүд.
Тусгай зориулалтын бүрээс: тусгалын эсрэг (AR), алмаз шиг нүүрстөрөгч (LIDT>50 Ж/см²), дамжуулагч ITO гэх мэт.
2. Чанарын баталгаажуулалтын системүүд
λ/20 гадаргуугийн нарийвчлалыг баталгаажуулдаг 4D интерферометр, цагаан гэрлийн профайлыг багтаасан хэмжилзүйн төхөөрөмж.
Материалын түвшний QC: SiC хоосон бүрт XRD талстографийн чиг баримжаа шинжилгээ.
3. Нэмүү өртөг шингэсэн үйлчилгээ
Гүйцэтгэлийг таамаглахад зориулсан дулааны бүтцийн холболтын шинжилгээ (ANSYS симуляци).
SiC линз суурилуулах бүтцийг оновчтой болгох нэгдсэн загвар.
Дүгнэлт
SiC линз нь материалын хосгүй шинж чанараараа өндөр нарийвчлалтай оптик системийн гүйцэтгэлийн хязгаарыг дахин тодорхойлж байна. SiC материалын нийлэгжилт, нарийн боловсруулалт, туршилтын босоо нэгдсэн чадавхи нь сансар огторгуй болон дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн салбарт хувьсгалт оптик шийдлүүдийг бий болгодог. SiC болор өсөлтийг хийснээр ирээдүйн хөгжил нь илүү том нүх (>1м) болон илүү төвөгтэй гадаргуугийн геометр (чөлөөт хэлбэрийн массив) дээр төвлөрөх болно.
Дэвшилтэт оптик эд ангиудын тэргүүлэгч үйлдвэрлэгчийн хувьд XKH нь индранил, цахиурын карбид (SiC), цахиур хавтан зэрэг өндөр хүчин чадалтай материалаар мэргэшсэн бөгөөд түүхий эд боловсруулахаас эхлээд нарийн өнгөлгөө хүртэл эцсийн шийдлүүдийг санал болгодог. Бидний туршлага нь:
1. Захиалгат үйлдвэрлэл: ±0.001мм хүртэлх хүлцэл бүхий нарийн төвөгтэй геометрийн (асферик, чөлөөт хэлбэр) нарийн боловсруулалт.
2. Материалын олон талт байдал: Индранил (UV-IR цонх), SiC (өндөр чадлын оптик), цахиур (IR/микро оптик) боловсруулах
3. Нэмүү өртөг шингэсэн үйлчилгээ:
Гэрэл цацруулагчийн эсрэг / удаан эдэлгээтэй бүрээс (UV-FIR)
Хэмжилзүйн баталгаатай чанарын баталгаа (λ/20 хавтгай)
Бохирдолд мэдрэмтгий хэрэглээнд зориулагдсан цэвэр өрөөний угсралт
Сансар огторгуй, хагас дамжуулагч, лазерын салбарт үйлчилдэг бид материаллаг шинжлэх ухааны мэдлэгийг дэвшилтэт үйлдвэрлэлтэй хослуулж, оптик гүйцэтгэлийг оновчтой болгохын зэрэгцээ эрс тэс орчинд тэсвэртэй оптикийг нийлүүлдэг.


