Хагас дамжуулагч, фотоникийн оптик хэрэглээнд зориулсан өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан кварц хавтан 2″4″6″8″12″
Нарийвчилсан диаграмм
Кварц шилний тойм
Кварц өрөм нь өнөөгийн дижитал ертөнцийг жолоодож буй тоо томшгүй олон орчин үеийн төхөөрөмжүүдийн үндэс суурийг бүрдүүлдэг. Ухаалаг гар утсан дээрх навигациас эхлээд 5G суурь станцын тулгуур хүртэл кварц нь өндөр хүчин чадалтай электроник болон фотоникт шаардагдах тогтвортой байдал, цэвэр байдал, нарийвчлалыг чимээгүйхэн өгдөг. Уян хатан хэлхээг дэмжих, MEMS мэдрэгчийг идэвхжүүлэх эсвэл квант тооцооллын үндэс суурь болохоос үл хамааран кварцын өвөрмөц шинж чанар нь түүнийг бүх салбарт зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
“Fused Silica” буюу “Fused Quartz” нь кварцын аморф фаз (SiO2). Боросиликат шилтэй харьцуулахад хайлсан цахиур нь нэмэлт бодисгүй; Иймээс энэ нь цэвэр хэлбэрээр, SiO2-тэй байдаг. Ууссан цахиур нь ердийн шилтэй харьцуулахад хэт улаан туяаны болон хэт ягаан туяанд илүү өндөр дамжуулалттай байдаг. Хайлсан цахиур нь хэт цэвэр SiO2-ийг хайлуулж, дахин хатууруулах замаар гаргаж авдаг. Нөгөө талаас нийлэг хайлуулсан цахиур нь SiCl4 зэрэг цахиураар баялаг химийн прекурсоруудаас хийгдсэн бөгөөд үүнийг хийжүүлж, дараа нь H2 + O2 агаар мандалд исэлдүүлдэг. Энэ тохиолдолд үүссэн SiO2 тоос нь субстрат дээр цахиурт уусдаг. Хайлуулсан цахиурын блокуудыг вафель болгон хайчилж, эцэст нь зүсэж өнгөлнө.
Кварцын шилэн өргүүрийн гол онцлог, ашиг тус
-
Хэт өндөр цэвэршилттэй (≥99.99% SiO2)
Материалын бохирдлыг багасгах шаардлагатай хэт цэвэр хагас дамжуулагч ба фотоник процессуудад тохиромжтой. -
Өргөн дулааны үйл ажиллагааны хүрээ
Криоген температураас 1100 ° C-аас дээш температурт бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг эвдэж, эвдрэлгүйгээр хадгална. -
Хэт ягаан туяа, хэт ягаан туяаны гайхалтай дамжуулалт
Нарийвчлалтай оптик хэрэглээг дэмждэг гүн хэт ягаан туяанаас (DUV) ойрын хэт улаан туяа (NIR) дамжуулан маш сайн оптик тунгалаг байдлыг өгдөг. -
Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент
Температурын хэлбэлзлийн үед хэмжээсийн тогтвортой байдлыг сайжруулж, стрессийг бууруулж, процессын найдвартай байдлыг сайжруулна. -
Химийн дээд зэргийн эсэргүүцэл
Ихэнх хүчил, шүлт, уусгагчид идэвхгүй тул химийн түрэмгий орчинд маш сайн тохирдог. -
Гадаргуугийн өнгөлгөөний уян хатан байдал
Фотоник болон MEMS-ийн шаардлагад нийцсэн, хэт гөлгөр, нэг тал эсвэл хоёр талт өнгөлсөн өнгөлгөөтэй.
Кварц шилэн вафель үйлдвэрлэх үйл явц
Хайлуулсан кварцын хавтангуудыг хэд хэдэн хяналттай, нарийн алхамаар үйлдвэрлэдэг.
-
Түүхий эд материалын сонголт
Өндөр цэвэршилттэй байгалийн кварц эсвэл синтетик SiO₂ эх үүсвэрийг сонгох. -
Хайлах ба хайлуулах
Кварцыг ~2000°С-т цахилгаан зууханд хайлуулж, орц, бөмбөлгийг арилгадаг. -
Блок үүсгэх
Хайлсан цахиурыг хатуу блок эсвэл ембүү болгон хөргөнө. -
Вафель зүсэх
Нарийвчилсан алмаз эсвэл утсан хөрөө нь ембүү хайчлахын тулд вафель хоосон зайд хэрэглэдэг. -
Зууралт, өнгөлгөө
Оптик, зузаан, барзгар байдлын үзүүлэлтүүдийг яг тааруулахын тулд хоёр гадаргууг тэгшлээд өнгөлсөн. -
Цэвэрлэгээ, үзлэг
Өрөөвчийг ISO 100/1000 ангиллын цэвэр өрөөнд цэвэрлэж, согог, хэмжээсийн тохирлыг сайтар шалгаж үздэг.
Кварц шилэн өргүүрийн шинж чанар
| техникийн үзүүлэлт | нэгж | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Диаметр / хэмжээ (эсвэл дөрвөлжин) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Хүлцэл (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Зузаан | mm | 0.10 ба түүнээс дээш | 0.30 ба түүнээс дээш | 0.40 ба түүнээс дээш | 0.50 ба түүнээс дээш | 0.50 ба түүнээс дээш |
| Үндсэн лавлагааны байр | mm | 32.5 | 57.5 | Хагас ховил | Хагас ховил | Хагас ховил |
| LTV (5мм×5мм) | мкм | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | мкм | < 2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Нум | мкм | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Муухай | мкм | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5мм×5мм) < 0.4μм | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Ирмэгийг дугуйлах | mm | SEMI M1.2 стандартад нийцсэн / IEC62276-г үзнэ үү | ||||
| Гадаргуугийн төрөл | Нэг тал нь өнгөлсөн / Давхар тал нь өнгөлсөн | |||||
| Өнгөлсөн тал Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Ар талын шалгуур | мкм | ерөнхий 0.2-0.7 эсвэл тохируулсан | ||||
Кварц ба бусад ил тод материалууд
| Өмч | Кварцын шил | Боросиликатын шил | Сапфир | Стандарт шил |
|---|---|---|---|---|
| Хамгийн их ажиллах температур | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Хэт ягаан туяаны дамжуулалт | Маш сайн (JGS1) | Хөөрхий | Сайн байна | Маш ядуу |
| Химийн эсэргүүцэл | Маш сайн | Дунд зэрэг | Маш сайн | Хөөрхий |
| Цэвэр байдал | Маш өндөр | Бага, дунд зэрэг | Өндөр | Бага |
| Дулааны тэлэлт | Маш бага | Дунд зэрэг | Бага | Өндөр |
| Зардал | Дундаас өндөр | Бага | Өндөр | Маш бага |
Кварц шилэн өргүүрийн түгээмэл асуултууд
А1: Хайлуулсан кварц болон хайлсан цахиур хоёрын ялгаа юу вэ?
Аль аль нь SiO₂-ийн аморф хэлбэр боловч хайлсан кварц нь ихэвчлэн байгалийн кварцын эх үүсвэрээс гаралтай бол хайлсан цахиур нь нийлэг аргаар үйлдвэрлэгддэг. Үйл ажиллагааны хувьд тэдгээр нь ижил төстэй гүйцэтгэлийг санал болгодог боловч хайлсан цахиур нь арай өндөр цэвэршилттэй, нэгэн төрлийн байж болно.
Асуулт 2: Хайлуулсан кварцын өрөмийг өндөр вакуум орчинд ашиглаж болох уу?
Тиймээ. Хий ялгаруулах шинж чанар бага, дулааны өндөр эсэргүүцэлтэй тул хайлуулсан кварц хавтан нь вакуум систем болон сансрын хэрэглээнд маш сайн байдаг.
Асуулт 3: Эдгээр хавтан нь хэт ягаан туяаны лазерын гүнд хэрэглэхэд тохиромжтой юу?
Мэдээжийн хэрэг. Хайлуулсан кварц нь ~185 нм хүртэл өндөр дамжуулалттай тул DUV оптик, литографийн маск, эксимер лазер системд тохиромжтой.
Асуулт 4: Та захиалгаар өрмөнцөр үйлдвэрлэхийг дэмждэг үү?
Тиймээ. Бид таны хэрэглээний тусгай шаардлагад тулгуурлан диаметр, зузаан, гадаргуугийн чанар, хавтгай/ховил, лазер хээ зэргийг багтаасан бүрэн тохиргоог санал болгож байна.
Бидний тухай
XKH нь тусгай оптик шил, шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтаар мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд оптик электроник, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл, цэрэг арми зэрэгт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрээс, керамик, LT, цахиурын карбид SIC, кварц, хагас дамжуулагч болор хавтан зэргийг санал болгож байна. Чадварлаг туршлага, хамгийн сүүлийн үеийн тоног төхөөрөмжөөр бид стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлж, оптоэлектроник материалын өндөр технологийн тэргүүлэх үйлдвэр байхыг зорьж байна.
