Хагас дамжуулагч, фотоник оптик хэрэглээнд зориулсан өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан кварцын вафли 2″4″6″8″12″
Дэлгэрэнгүй диаграмм
Кварцын шилний тойм
Кварцын хавтангууд нь өнөөгийн дижитал ертөнцийг хөдөлгөгч тоо томшгүй олон орчин үеийн төхөөрөмжийн гол тулгуур болдог. Ухаалаг гар утасны навигациас эхлээд 5G суурь станцуудын гол тулгуур хүртэл кварц нь өндөр хүчин чадалтай электроник болон фотоникт шаардлагатай тогтвортой байдал, цэвэр байдал, нарийвчлалыг чимээгүйхэн хангадаг. Уян хатан хэлхээг дэмжих, MEMS мэдрэгчийг идэвхжүүлэх эсвэл квант тооцооллын үндэс суурийг бүрдүүлэх зэргээс үл хамааран кварцын өвөрмөц шинж чанарууд нь үүнийг салбар бүрт зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
"Хайруулсан цахиур" буюу "Хайруулсан кварц" нь кварцын аморф үе шат (SiO2). Боросиликат шилтэй харьцуулахад хайлуулсан цахиур нь нэмэлт бодисгүй; тиймээс энэ нь цэвэр хэлбэрээр SiO2 хэлбэрээр байдаг. Хайлуулсан цахиур нь ердийн шилтэй харьцуулахад хэт улаан туяаны болон хэт ягаан туяаны спектрт илүү өндөр дамжуулалттай байдаг. Хайлуулсан цахиурыг хэт цэвэр SiO2-ийг хайлуулж, дахин хатууруулах замаар үйлдвэрлэдэг. Нөгөөтэйгүүр, синтетик хайлуулсан цахиурыг SiCl4 зэрэг цахиураар баялаг химийн урьдал бодисуудаас гаргаж авдаг бөгөөд эдгээр нь хийжүүлж, дараа нь H2 + O2 агаар мандалд исэлддэг. Энэ тохиолдолд үүссэн SiO2 тоосыг суурь дээр цахиур болгон хайлуулдаг. Хайлуулсан цахиурын блокуудыг вафли болгон зүсэж, дараа нь вафлигуудыг эцэст нь өнгөлдөг.
Кварцын шилэн вафлийн гол онцлог ба давуу талууд
-
Хэт өндөр цэвэршилт (≥99.99% SiO2)
Материалын бохирдлыг хамгийн бага байлгах шаардлагатай хэт цэвэр хагас дамжуулагч болон фотоникийн процессуудад тохиромжтой. -
Өргөн дулааны ажиллагааны хүрээ
1100°C-аас дээш криогенийн температурт гажуудал, доройтолгүйгээр бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалдаг. -
Хэт ягаан туяа болон хэт улаан туяаны маш сайн дамжуулалт
Гүн хэт ягаан туяанаас (DUV) ойрын хэт улаан туяа (NIR) хүртэл маш сайн оптик тод байдлыг бий болгож, нарийн оптик хэрэглээг дэмждэг. -
Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент
Температурын хэлбэлзлийн дор хэмжээст тогтвортой байдлыг сайжруулж, стрессийг бууруулж, үйл явцын найдвартай байдлыг сайжруулдаг. -
Химийн өндөр эсэргүүцэл
Ихэнх хүчил, шүлт болон уусгагч бодисуудад идэвхгүй тул химийн түрэмгий орчинд маш сайн тохирдог. -
Гадаргуугийн өнгөлгөөний уян хатан байдал
Фотоник болон MEMS шаардлагад нийцсэн, хэт гөлгөр, нэг талдаа эсвэл хоёр талдаа өнгөлсөн өнгөлгөөтэй.
Кварцын шилэн вафли үйлдвэрлэх үйл явц
Хайлуулсан кварцын вафлигуудыг хэд хэдэн хяналттай, нарийн алхмуудаар үйлдвэрлэдэг:
-
Түүхий эд сонгох
Өндөр цэвэршилттэй байгалийн кварц эсвэл синтетик SiO₂ эх үүсвэрийг сонгох. -
Хайлах ба хайлах
Кварцыг цахилгаан зууханд хяналттай агаар мандлын дор ~2000°C температурт хайлуулж, хольц болон бөмбөлгийг арилгадаг. -
Блок үүсгэх
Хайлсан цахиурыг хатуу блок эсвэл гулдмай болгон хөргөнө. -
Вафли зүсэх
Нарийн алмазан эсвэл утсан хөрөө ашиглан гулдмайг вафлийн хоосон зай болгон зүсдэг. -
Өнгөлгөө болон өнгөлгөө
Хоёр гадаргуу хоёулаа оптик, зузаан, барзгар чанарын үзүүлэлтүүдийг яг таг хангахын тулд хавтгайрч, өнгөлсөн. -
Цэвэрлэгээ ба үзлэг
Вафлигуудыг ISO 100/1000 ангиллын цэвэр өрөөнд цэвэрлэж, согог болон хэмжээсийн тохирлын нарийн шалгалтанд хамруулдаг.
Кварц шилэн хавтангийн шинж чанар
| техникийн үзүүлэлт | нэгж | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 инч |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Диаметр / хэмжээ (эсвэл дөрвөлжин) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Хүлцэл (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Зузаан | mm | 0.10 ба түүнээс дээш | 0.30 ба түүнээс дээш | 0.40 ба түүнээс дээш | 0.50 ба түүнээс дээш | 0.50 ба түүнээс дээш |
| Анхдагч лавлах хавтгай | mm | 32.5 | 57.5 | Хагас ховилтой | Хагас ховилтой | Хагас ховилтой |
| LTV (5мм×5мм) | мкм | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | мкм | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Нум | мкм | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Гажуудал | мкм | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5мм×5мм) < 0.4μм | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Ирмэгийг дугуйруулах | mm | SEMI M1.2 стандартад нийцсэн / IEC62276 стандартыг үзнэ үү | ||||
| Гадаргуугийн төрөл | Нэг тал өнгөлсөн / Хоёр тал өнгөлсөн | |||||
| Өнгөлсөн тал Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Ар талын шалгуур | мкм | ерөнхий 0.2-0.7 эсвэл өөрчлөн тохируулсан | ||||
Кварц болон бусад тунгалаг материалууд
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Кварцын шил | Боросиликат шил | Сапфир | Стандарт шил |
|---|---|---|---|---|
| Хамгийн их ажиллах температур | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Хэт ягаан туяаны дамжуулалт | Маш сайн (JGS1) | Муу | Сайн | Маш ядуу |
| Химийн эсэргүүцэл | Маш сайн | Дунд зэрэг | Маш сайн | Муу |
| Цэвэр ариун байдал | Маш өндөр | Багаас дунд зэрэг | Өндөр | Бага |
| Дулааны тэлэлт | Маш бага | Дунд зэрэг | Бага | Өндөр |
| Зардал | Дунд зэргээс өндөр | Бага | Өндөр | Маш бага |
Кварцын шилэн вафлийн талаар байнга асуудаг асуултууд
А1: Хайлсан кварц ба хайлсан цахиурын хооронд ямар ялгаа байдаг вэ?
Хоёулаа SiO₂-ийн аморф хэлбэрүүд боловч хайлсан кварц нь ихэвчлэн байгалийн кварцын эх үүсвэрээс гардаг бол хайлсан цахиурыг синтетик аргаар үйлдвэрлэдэг. Үйл ажиллагааны хувьд тэдгээр нь ижил төстэй гүйцэтгэлтэй боловч хайлсан цахиур нь арай өндөр цэвэршилттэй, нэгэн төрлийн байж болно.
А2: Хайлуулсан кварцын вафлигуудыг өндөр вакуум орчинд ашиглаж болох уу?
Тийм ээ. Хий ялгаруулах чадвар багатай, дулааны эсэргүүцэл өндөртэй тул хайлуулсан кварцын ваферууд нь вакуум систем болон сансар судлалын хэрэглээнд маш сайн тохирдог.
А3: Эдгээр вафли нь гүн хэт ягаан туяаны лазерын хэрэглээнд тохиромжтой юу?
Мэдээж. Хайлуулсан кварц нь ~185 нм хүртэл өндөр дамжуулах чадвартай тул DUV оптик, литографийн маск, эксимер лазер системд тохиромжтой.
А4: Та захиалгаар хийсэн вафли үйлдвэрлэхийг дэмждэг үү?
Тийм ээ. Бид таны хэрэглээний тодорхой шаардлагад үндэслэн диаметр, зузаан, гадаргуугийн чанар, хавтгай/ховил, лазер хээ зэрэг бүрэн тохируулгыг санал болгож байна.
Бидний тухай
XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.
