Хагас дамжуулагч болон цэвэр өрөөний автоматжуулалтад зориулсан өндөр хүчин чадалтай хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик төгсгөлийн эффектор (сэрээ гар)

Хагас дамжуулагч болон цэвэр өрөөний автоматжуулалтад зориулсан өндөр хүчин чадалтай хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффектор (сэрээ гар) Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффектор буюу керамик сэрээтэй гар эсвэл робот керамик гар нь хагас дамжуулагч, фотоволтайк, самбарын дэлгэц болон өндөр цэвэршилттэй лабораторийн орчинд автоматжуулсан системд зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай харьцах эд анги юм. Энэ нь цахиурын вафли, шилэн суурь, электрон микро бүрэлдэхүүн хэсэг зэрэг мэдрэмтгий материалыг цэвэр, найдвартай, аюулгүй тээвэрлэх боломжийг олгодог онцгой дулааны тогтвортой байдал, механик хатуулаг, химийн эсэргүүцлийг хангах зорилгоор бүтээгдсэн.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Бүтээгдэхүүний танилцуулга

Робот төгсгөлийн эффекторын нэг төрөл болох энэхүү керамик эд анги нь автоматжуулалтын систем болон ажлын хэсгийн хоорондох эцсийн интерфейс юм. Энэ нь цэвэр өрөө болон вакуум орчинд нарийвчлалтай шилжүүлэх, тохируулах, ачих/буулгах, байрлуулах ажлуудад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Хагас дамжуулагч G13-ын вафер хөтлөгчийн керамик гар

G10 хагас дамжуулагчийн вафер хөтлөгч керамик гар

Хагас дамжуулагч G07-ийн вафер хөтлөгчийн керамик гар

Материалын тойм – Хөнгөн цагаан керамик (Al₂O₃)

Хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик нь маш сайн механик болон цахилгаан шинж чанараараа алдартай, өндөр тогтвортой, химийн хувьд идэвхгүй техникийн керамик материал юм. Эдгээр эцсийн эффекторуудад ашигладаг өндөр цэвэршилттэй (≥ 99.5%) хөнгөн цагааны исэл нь дараахь зүйлийг хангадаг.

Өндөр хатуулаг (Мохс 9)Алмазын дараа ордог хөнгөнцагаан исэл нь элэгдэлд маш их тэсвэртэй.
Өндөр температурын чадвар: 1600°C-аас дээш температурт бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалдаг.
Химийн идэвхгүй байдал: Хүчил, шүлт, уусгагч болон плазмын сийлбэрийн орчинд тэсвэртэй.
Цахилгаан тусгаарлагч: Өндөр диэлектрик бат бэх, бага диэлектрик алдагдалтай.
Дулааны тэлэлт багатайДулааны мөчлөгийн орчинд хэмжээст тогтвортой байдлыг хангана.
Бага хэмжээний бөөмс үүсэхЦэвэр өрөөний нийцтэй байдалд зайлшгүй шаардлагатай (10-1000-р анги).

Эдгээр шинж чанарууд нь хөнгөн цагаан керамикийг бохирдолд мэдрэмтгий үйлдвэрүүдэд чухал үйл ажиллагаанд тохиромжтой болгодог.

Функциональ хэрэглээ

Хөнгөн цагааны исэл керамик төгсгөлийн эффекторыг өндөр технологийн үйлдвэрлэлийн процесст өргөнөөр ашигладаг, ялангуяа уламжлалт металл эсвэл хуванцар материалууд дулааны тэлэлт, бохирдол, зэврэлтийн асуудлаас болж дутагдалтай байдаг. Хэрэглээний гол чиглэлүүд нь:

Хагас дамжуулагч вафлийн дамжуулалт
Фотолитографийн ачих болон буулгах системүүд
OLED болон LCD шугамуудад шилэн субстрат боловсруулах
Нарны зай хураагуурын үйлдвэрлэлд талст цахиурын вафлийн дамжуулалт
Автоматжуулсан оптик эсвэл микроэлектроник үзлэг
Аналитик эсвэл биоанагаахын лабораторид дээж тээвэрлэх
Вакуум орчны автоматжуулалтын системүүд

Бөөмс эсвэл статик цэнэг оруулахгүйгээр ажиллах чадвар нь цэвэр өрөөний автоматжуулалтад нарийн роботын үйл ажиллагаанд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.

Дизайны онцлог ба тохируулга

Керамик төгсгөлийн эффектор бүрийг тодорхой робот гар эсвэл вафлины харьцах системд тохируулахаар зохион бүтээсэн. Бид дараах зүйлс дээр үндэслэн бүрэн тохируулгыг дэмждэг.

Вафлийн хэмжээтэй нийцтэй байдал: 2", 4", 6", 8", 12" ба түүнээс дээш
Слотын геометр ба зайИрмэгийн атгах, ар талын тулгуур эсвэл ховилтой вафлийн загварыг багтаана
Сорох портууд: Холбоо барихгүй харьцах зориулалттай нэгдсэн вакуум нүх эсвэл суваг
Суурилуулалтын тохиргоо: Роботынхоо төгсгөлийн багажны фланцад тохируулсан нүх, утас, үүр
Гадаргуугийн боловсруулалтӨнгөлсөн, давхцуулсан эсвэл нарийн өнгөлгөөтэй (Ra < 0.2 µm боломжтой)
Ирмэгийн хамгаалалт: Ваферын эвдрэлээс зайлсхийхийн тулд булангууд нь бөөрөнхий эсвэл налуу хэлбэртэй байна

Манай инженерүүд үйлчлүүлэгчдийн өгсөн CAD зураг эсвэл 3D загварыг ашиглан сэрээний гар бүрийг жин, бат бөх чанар, цэвэр байдлын хувьд оновчтой болгож чадна.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_зураг

Керамик төгсгөлийн эффекторуудын давуу талууд

Онцлог	Ашиг тус
Өндөр механик хатуулаг	Робот ачааллын хүчний дор хэмжээст нарийвчлалыг хадгалдаг
Маш сайн дулааны гүйцэтгэл	Өндөр температур эсвэл плазмын орчинд найдвартай ажилладаг
Металлын бохирдолгүй	Чухал хагас дамжуулагч боловсруулалтад ионы бохирдол үүсэх эрсдэлгүй
Бага үрэлтийн гадаргуу	Вафли эсвэл шилэн суурь дээр зурагдах эрсдэлийг бууруулдаг
Эсрэг статик ба соронзон бус	Тоос татахгүй эсвэл соронзон мэдрэмтгий эд ангиудад нөлөөлөхгүй
Урт хугацааны үйлчилгээний хугацаа	Давтагдах өндөр хурдтай автоматжуулалтын мөчлөгт элэгдэлд тэсвэртэй байдал өндөр байна
Хэт цэвэр нийцтэй байдал	ISO 14644 цэвэр өрөөнд тохиромжтой (100 ба түүнээс доош ангилал)

Хуванцар эсвэл хөнгөн цагаан гартай харьцуулахад хөнгөн цагаан керамик нь засвар үйлчилгээний хамгийн бага шаардлагыг хангасан химийн болон физик тогтвортой байдлыг эрс сайжруулдаг.

Үл хөдлөх хөрөнгө	Металл гар	Хуванцар гар	Хөнгөн цагаан керамик гар
Хатуулаг	Дунд зэрэг	Бага	Маш өндөр (Мохс 9)
Дулааны тогтвортой байдал	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Химийн эсэргүүцэл	Дунд зэрэг	Муу	Маш сайн
Цэвэр өрөөний тохиромжтой байдал	Дунд зэрэг	Бага	Маш өндөр
Эсэргүүцэл элэгдэл	Дунд зэрэг	Бага	Гайхалтай
Диэлектрик хүч чадал	Бага	Дунд зэрэг	Өндөр
Захиалгат боловсруулалтын нарийвчлал	Хязгаарлагдмал	Дунд зэрэг	Өндөр (±0.01мм боломжтой)

Техникийн үзүүлэлтүүд

Параметр	Үнэ цэнэ
Материал	Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (≥ 99.5%)
Ажлын температур	1600°C хүртэл
Гадаргуугийн барзгар байдал	Ra ≤ 0.2 µm (заавал биш)
Тохиромжтой вафлийн хэмжээ	2"-12" эсвэл захиалгаар
Хавтгай байдлын хүлцэл	±0.01 мм (хэрэглээнээс хамаарна)
Вакуум сорох тулгуур	Нэмэлт, өөрчлөх боломжтой сувгууд
Суурилуулалтын сонголтууд	Боолтоор дамждаг, фланцтай, үүртэй нүхнүүд

Түгээмэл асуултууд (Түгээмэл асуултууд)

А1: Эцсийн эффекторыг одоо байгаа робот системд нэгтгэж болох уу?
А1:Тийм ээ. Бид таны робот интерфэйс дээр үндэслэн тохируулгыг дэмждэг. Та бидэнд CAD зураг эсвэл фланцын хэмжээг илгээж, нарийн тохируулж болно.

А2: Керамик гар ашиглах явцад амархан хугарах уу?
А2:Керамик нь байгалиасаа хэврэг боловч бидний дизайн нь стрессийн концентрацийг багасгахын тулд оновчтой геометрийг ашигладаг. Зөв ашиглах нөхцөлд металл эсвэл хуванцараас хамаагүй урт хугацааны ашиглалтын хугацааг хангадаг.

А3: Үүнийг хэт өндөр вакуум эсвэл плазмын сийлбэрийн камерт ашиглах боломжтой юу?
А3:Тийм ээ. Хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик нь хий ялгаруулдаггүй, дулаанд тогтвортой, зэврэлтэнд тэсвэртэй бөгөөд өндөр вакуумтай, урвалд ордог хий эсвэл плазмын орчинд төгс тохирно.

А4: Эдгээр эд ангиудыг хэрхэн цэвэрлэж эсвэл засвар үйлчилгээ хийдэг вэ?
А4:Тэдгээрийг DI ус, спирт эсвэл цэвэр өрөөнд тохиромжтой угаалгын нунтаг ашиглан цэвэрлэж болно. Химийн тогтвортой байдал болон идэвхгүй гадаргуутай тул тусгай арчилгаа шаарддаггүй.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.