Хагас дамжуулагч ба цэвэр өрөөний автоматжуулалтад зориулсан өндөр хүчин чадалтай хөнгөн цагаан керамик төгсгөлийн эффект (салаа гар)

Хагас дамжуулагч ба цэвэр өрөөний автоматжуулалтад зориулсан өндөр хүчин чадалтай хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффект (салаа гар) Онцлох зураг

Богино тайлбар:

Керамик сэрээ эсвэл робот керамик гар гэгддэг хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффект нь хагас дамжуулагч, фотоволтайк, самбар дэлгэц, өндөр цэвэршилттэй лабораторийн орчинд автоматжуулсан системд зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай харьцах бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь онцгой дулааны тогтвортой байдал, механик хөшүүн чанар, химийн эсэргүүцэлтэй байхаар бүтээгдсэн бөгөөд цахиур хавтан, шилэн дэвсгэр, электрон бичил бүрэлдэхүүн хэсгүүд зэрэг эмзэг материалыг цэвэр, найдвартай, аюулгүй тээвэрлэх боломжийг олгодог.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Нарийвчилсан диаграмм

Бүтээгдэхүүний танилцуулга

Роботын төгсгөлийн эффекторын нэг төрөл болох энэхүү керамик бүрэлдэхүүн хэсэг нь автоматжуулалтын систем ба ажлын хэсгийн хоорондох эцсийн интерфейс юм. Энэ нь цэвэр өрөө, вакуум орчинд нарийвчлалтай шилжүүлэх, тэгшлэх, ачих/буулгах, байршил тогтооход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Материалын тойм – Хөнгөн цагаан керамик (Al₂O₃)

Хөнгөн цагаан керамик нь маш сайн механик болон цахилгаан шинж чанараараа алдартай, өндөр тогтвортой, химийн идэвхгүй техникийн керамик материал юм. Эдгээр эцсийн эффекторуудад ашигласан өндөр цэвэршилттэй (≥ 99.5%) хөнгөн цагааны исэл нь дараахь зүйлийг баталгаажуулдаг.

Өндөр хатуулаг (Mohs 9): Алмазны дараа хоёрдугаарт ордог хөнгөн цагааны исэл нь элэгдэлд тэсвэртэй.
Өндөр температурт ажиллах чадвар: 1600°С-аас дээш температурт бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгална.
Химийн идэвхгүй байдал: Хүчил, шүлт, уусгагч болон плазмын сийлбэрийн орчинд тэсвэртэй.
Цахилгаан тусгаарлагч: Диэлектрикийн өндөр бат бэх, бага диэлектрик алдагдалтай.
Бага дулааны тэлэлт: Дулааны дугуйн орчинд хэмжээст тогтвортой байдлыг хангана.
Бага тоосонцор үүсэх: Цэвэр өрөөнд тохироход зайлшгүй шаардлагатай (10-аас 1000-р анги).

Эдгээр шинж чанарууд нь хөнгөн цагааны керамикийг бохирдолд мэдрэмтгий үйлдвэрүүдэд чухал ач холбогдолтой үйл ажиллагаанд тохиромжтой болгодог.

Функциональ програмууд

Хөнгөн цагааны керамик эцсийн эффекторыг өндөр технологийн үйлдвэрлэлийн процесст өргөнөөр ашигладаг, ялангуяа уламжлалт металл эсвэл хуванцар материал нь дулааны тэлэлт, бохирдол, зэврэлтээс болж дутмаг байдаг. Хэрэглээний гол талбарууд нь:

Хагас дамжуулагч хавтан дамжуулах
Фотолитографийн ачих, буулгах систем
OLED болон LCD шугам дахь шилэн субстратын боловсруулалт
Нарны эсийн үйлдвэрлэлд талст хэлбэрийн цахиурын ялтсыг шилжүүлэх
Автомат оптик эсвэл микроэлектроник хяналт
Аналитик эсвэл биоанагаахын лабораторид дээж тээвэрлэх
Вакуум орчны автоматжуулалтын систем

Түүний тоосонцор болон статик цэнэг оруулахгүйгээр гүйцэтгэх чадвар нь цэвэр өрөөний автоматжуулалт дахь нарийн робот үйлдлүүдэд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.

Загварын онцлог ба тохируулга

Керамик төгсгөлийн эффект бүрийг тусгай робот гар эсвэл өрөмтэй харьцах системд тохируулан зохион бүтээсэн. Бид дараахь зүйлд тулгуурлан бүрэн тохируулгыг дэмждэг.

Өрөөний хэмжээтэй нийцтэй байдал: 2", 4", 6", 8", 12" ба түүнээс дээш
Слотын геометр ба хоорондын зай: Ирмэгийн бариул, арын хажуугийн тулгуур эсвэл ховилтой өргүүрийн загварт тохирно
Сорох портууд: Нэгдсэн вакуум нүхнүүд эсвэл контактгүй харьцах суваг
Суурилуулах тохиргоо: Таны роботын төгсгөлийн багажны фланцад тохирсон нүх, утас, үүр
Гадаргуугийн боловсруулалт: Өнгөлсөн, өнгөлсөн, эсвэл нарийн нунтагласан өнгөлгөө (Ra < 0.2 микрон боломжтой)
Ирмэгийн хамгаалалт: Өрөөнд гэмтэл учруулахгүйн тулд булангуудыг бөөрөнхийлж эсвэл дугуйруулсан

Хэрэглэгчийн өгсөн CAD зураг эсвэл 3D загварыг ашигласнаар манай инженерүүд салаа гар тус бүрийн жин, хүч чадал, цэвэр байдлыг оновчтой болгож чадна.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_зураг

Керамик төгсгөлийн эффектийн давуу талууд

Онцлог	Ашиг тус
Өндөр механик хатуулаг	Роботын ачааллын хүчний үед хэмжээсийн нарийвчлалыг хадгалж байдаг
Маш сайн дулааны гүйцэтгэл	Өндөр температур эсвэл плазмын орчинд найдвартай ажиллана
Тэг металлын бохирдол	Хагас дамжуулагчийг боловсруулахад ион бохирдох эрсдэлгүй
Үрэлт багатай гадаргуу	Өргөст хавтан эсвэл шилэн дэвсгэр дээр зураас үүсэх эрсдлийг бууруулдаг
Эсрэг статик ба соронзон бус	Тоосыг татахгүй, соронзон мэдрэмтгий бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд нөлөөлдөггүй
Үйлчилгээний урт хугацаа	Дахин давтагдах өндөр хурдны автоматжуулалтын циклд элэгдэлд тэсвэртэй
Хэт цэвэр нийцтэй байдал	ISO 14644 цэвэр өрөөнд тохиромжтой (Ангилал 100 ба түүнээс доош)

Хуванцар эсвэл хөнгөн цагаан гартай харьцуулахад хөнгөн цагаан керамик нь хамгийн бага засвар үйлчилгээний шаардлагаар химийн болон физикийн тогтвортой байдлыг эрс сайжруулдаг.

Өмч	Металл гар	Хуванцар гар	Хөнгөн цагаан керамик гар
Хатуу байдал	Дунд зэрэг	Бага	Маш өндөр (Mohs 9)
Дулааны тогтвортой байдал	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600 ° C
Химийн эсэргүүцэл	Дунд зэрэг	Хөөрхий	Маш сайн
Цэвэр өрөөнд тохиромжтой	Дунд зэрэг	Бага	Маш өндөр
Элэгдлийн эсэргүүцэл	Дунд зэрэг	Бага	Гайхалтай
Диэлектрик хүч	Бага	Дунд зэрэг	Өндөр
Захиалгат боловсруулалтын нарийвчлал	Хязгаарлагдмал	Дунд зэрэг	Өндөр (±0.01мм боломжтой)

Техникийн үзүүлэлтүүд

Параметр	Үнэ цэнэ
Материал	Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан (≥ 99.5%)
Ажлын температур	1600 ° C хүртэл
Гадаргуугийн барзгар байдал	Ra ≤ 0.2 µm (заавал биш)
Тохиромжтой вафель хэмжээтэй	2"-оос 12" эсвэл захиалгат
Хавтгай байдлыг тэсвэрлэх чадвар	±0.01 мм (хэрэглээнээс хамаарна)
Вакуум сорох дэмжлэг	Нэмэлт, өөрчлөх боломжтой сувгууд
Суурилуулах сонголтууд	Боолт, фланц, цоорхойтой нүхнүүд

Байнга асуудаг асуултууд (FAQ)

Асуулт 1: Эцсийн эффектийг одоо байгаа робот системд нэгтгэж болох уу?
А1:Тиймээ. Бид таны робот интерфэйс дээр тулгуурлан тохируулахыг дэмждэг. Нарийн дасан зохицохын тулд та бидэнд CAD зураг эсвэл фланцын хэмжээсийг илгээж болно.

Асуулт 2: Ашиглалтын явцад керамик гар амархан хугардаг уу?
А2:Керамик нь угаасаа хэврэг байдаг ч бидний загвар нь стрессийн концентрацийг багасгахын тулд оновчтой геометрийг ашигладаг. Тохиромжтой ашиглалтын нөхцөлд тэдгээр нь металл эсвэл хуванцараас хамаагүй урт хугацааны үйлчилгээ үзүүлдэг.

Асуулт 3: Үүнийг хэт өндөр вакуум эсвэл плазмын сийлбэр хийх камерт ашиглах боломжтой юу?
А3:Тиймээ. Хөнгөн цагаан керамик нь хий ялгаруулдаггүй, дулааны хувьд тогтвортой, зэврэлтэнд тэсвэртэй бөгөөд өндөр вакуум, реактив хий эсвэл плазмын орчинд төгс тохирно.

Асуулт 4: Эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хэрхэн цэвэрлэж, арчлах вэ?
А4:Тэдгээрийг DI ус, спирт эсвэл цэвэр өрөөнд тохирох угаалгын нунтаг ашиглан цэвэрлэж болно. Химийн тогтвортой байдал, идэвхгүй гадаргуутай тул тусгай засвар үйлчилгээ хийх шаардлагагүй.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил, шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтаар мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд оптик электроник, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл, цэрэг арми зэрэгт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрээс, керамик, LT, цахиурын карбид SIC, кварц, хагас дамжуулагч болор хавтан зэргийг санал болгож байна. Чадварлаг туршлага, хамгийн сүүлийн үеийн тоног төхөөрөмжөөр бид стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлж, оптоэлектроник материалын өндөр технологийн тэргүүлэх үйлдвэр байхыг зорьж байна.