MEMS-д зориулсан 4 инчийн 6 инчийн индранил вафлууд дээр ургуулсан галлийн нитрид (GaN) эпитаксиал
Сафир вафли дээрх GaN-ийн шинж чанарууд
●Өндөр үр ашиг:GaN дээр суурилсан төхөөрөмжүүд нь цахиур дээр суурилсан төхөөрөмжүүдээс тав дахин их хүчин чадал өгдөг бөгөөд энэ нь RF өсгөгч болон оптоэлектроник зэрэг янз бүрийн электрон хэрэглээний гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
● Өргөн зурвасын зай:GaN-ийн өргөн зурвасын зай нь өндөр температурт өндөр үр ашгийг олгодог тул өндөр хүчин чадалтай болон өндөр давтамжийн хэрэглээнд тохиромжтой.
● Бат бөх чанар:GaN-ийн хэт туйлширсан нөхцөл (өндөр температур болон цацраг туяа)-ийг тэсвэрлэх чадвар нь хатуу ширүүн орчинд удаан хугацаанд ажиллах боломжийг олгодог.
●Жижиг хэмжээ:GaN нь уламжлалт хагас дамжуулагч материалтай харьцуулахад илүү авсаархан, хөнгөн төхөөрөмж үйлдвэрлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь жижиг, илүү хүчирхэг электроник үйлдвэрлэхэд хялбар болгодог.
Хураангуй
Галлийн нитрид (GaN) нь RF урд талын модулиуд, өндөр хурдны холбооны систем, LED гэрэлтүүлэг зэрэг өндөр хүчин чадал, үр ашиг шаарддаг дэвшилтэт хэрэглээнд зориулсан хагас дамжуулагч болж гарч ирж байна. GaN эпитаксиал вафлигуудыг индранил суурь дээр ургуулахад өндөр дулаан дамжуулалт, өндөр эвдрэлийн хүчдэл, өргөн давтамжийн хариу урвалын хослолыг санал болгодог бөгөөд энэ нь утасгүй холбооны төхөөрөмж, радар, гацуурын оновчтой гүйцэтгэлд гол үүрэг гүйцэтгэдэг. Эдгээр вафлигууд нь 4 инчийн болон 6 инчийн диаметртэй бөгөөд өөр өөр техникийн шаардлагыг хангахын тулд янз бүрийн GaN зузаантай байдаг. GaN-ийн өвөрмөц шинж чанарууд нь үүнийг цахилгаан электроникийн ирээдүйн гол нэр дэвшигч болгодог.
Бүтээгдэхүүний параметрүүд
| Бүтээгдэхүүний онцлог | Тодорхойлолт |
| Ваферын диаметр | 50мм, 100мм, 50.8мм |
| Субстрат | Сапфир |
| GaN давхаргын зузаан | 0.5 мкм - 10 мкм |
| GaN төрөл/Допинг | N-төрөл (P-төрлийг хүсэлтийн дагуу авах боломжтой) |
| GaN талстын чиглэл | <0001> |
| Өнгөлгөөний төрөл | Нэг талын өнгөлгөөтэй (SSP), Хоёр талын өнгөлгөөтэй (DSP) |
| Al2O3 зузаан | 430 мкм - 650 мкм |
| TTV (Нийт зузааны хэлбэлзэл) | ≤ 10 мкм |
| Нум | ≤ 10 мкм |
| Гажуудал | ≤ 10 мкм |
| Гадаргуугийн талбай | Ашиглах боломжтой гадаргуугийн талбай > 90% |
Асуулт ба Хариулт
А1: Уламжлалт цахиур дээр суурилсан хагас дамжуулагчтай харьцуулахад GaN ашиглахын гол давуу талууд юу вэ?
A1GaN нь цахиураас хэд хэдэн чухал давуу талуудтай бөгөөд үүнд илүү өргөн зурвасын зай багтдаг бөгөөд энэ нь өндөр эвдрэлийн хүчдэлийг зохицуулж, өндөр температурт үр ашигтай ажиллах боломжийг олгодог. Энэ нь GaN-ийг RF модуль, цахилгаан өсгөгч, LED зэрэг өндөр хүчин чадалтай, өндөр давтамжийн хэрэглээнд тохиромжтой болгодог. GaN-ийн өндөр чадлын нягтралыг зохицуулах чадвар нь цахиур дээр суурилсан хувилбаруудтай харьцуулахад жижиг, илүү үр ашигтай төхөөрөмжүүдийг ашиглах боломжийг олгодог.
А2: Сапфир вафли дээрх GaN-ийг MEMS (Микро-Цахилгаан-Механик Систем)-ийн хэрэглээнд ашиглаж болох уу?
A2Тийм ээ, Sapphire вафли дээрх GaN нь MEMS хэрэглээнд, ялангуяа өндөр хүчин чадал, температурын тогтвортой байдал, дуу чимээ багатай орчинд тохиромжтой. Өндөр давтамжийн орчинд уг материалын бат бөх чанар, үр ашиг нь утасгүй холбоо, мэдрэгч болон радарын системд ашигладаг MEMS төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
А3: Утасгүй холбоонд GaN-ийг ямар боломжит хэрэглээнд ашиглаж болох вэ?
A3GaN нь 5G дэд бүтэц, радарын систем, саад тотгор зэрэг утасгүй холбооны RF урд талын модулиудад өргөн хэрэглэгддэг. Өндөр чадлын нягтрал болон дулаан дамжуулалт нь өндөр чадлын, өндөр давтамжийн төхөөрөмжүүдэд төгс төгөлдөр болгодог бөгөөд цахиур дээр суурилсан шийдлүүдтэй харьцуулахад илүү сайн гүйцэтгэл, жижиг хэлбэр хүчин зүйлсийг бий болгодог.
А4: Sapphire вафли дээрх GaN-ийн хүргэлтийн хугацаа болон захиалгын хамгийн бага хэмжээ хэд вэ?
A4Хүргэлтийн хугацаа болон захиалгын хамгийн бага тоо хэмжээ нь хавтангийн хэмжээ, GaN зузаан болон хэрэглэгчийн тодорхой шаардлагаас хамааран өөр өөр байдаг. Таны техникийн үзүүлэлтэд үндэслэн дэлгэрэнгүй үнэ болон бэлэн байдлын талаар бидэнтэй шууд холбогдоно уу.
А5: Би GaN давхаргын зузаан эсвэл хольцын түвшинг захиалгаар авч болох уу?
A5Тийм ээ, бид тодорхой хэрэглээний хэрэгцээнд нийцүүлэн GaN зузаан болон хольцын түвшинг өөрчлөх үйлчилгээ үзүүлдэг. Хүссэн техникийн үзүүлэлтүүдээ бидэнд мэдэгдээрэй, бид танд тохирсон шийдлийг санал болгоно.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
