Давхар станцын дөрвөлжин машин монокристалл цахиурын саваа боловсруулах 6/8/12 инчийн гадаргуугийн тэгш байдал Ra≤0.5μm

Товч тайлбар:

Монокристалл цахиурын давхар станцын дөрвөлжин машин нь монокристалл цахиурын саваа (Ingot) боловсруулах үр ашигтай тоног төхөөрөмж юм. Энэ нь давхар станцын синхрон ажиллагааны загварыг ашигладаг бөгөөд хоёр цахиурын савааг нэгэн зэрэг зүсэх боломжтой бөгөөд үйлдвэрлэлийн үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг. Энэхүү төхөөрөмж нь цилиндр хэлбэртэй цахиурын савааг алмазан утас зүсэх технологи эсвэл дотор дугуй хөрөөний ирээр дөрвөлжин/квази дөрвөлжин цахиурын блок (Grit) болгон боловсруулж, дараагийн зүсэлтэд (жишээлбэл, цахиурын вафли хийх) бэлтгэдэг бөгөөд фотоэлектрик болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн цахиурын материал боловсруулах холбоосуудад өргөн хэрэглэгддэг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Тоног төхөөрөмжийн шинж чанар:

(1) Давхар станцын синхрон боловсруулалт
· Давхар үр ашиг: Хоёр цахиурын саваа (Ø6"-12")-ийг нэгэн зэрэг боловсруулах нь Simplex төхөөрөмжтэй харьцуулахад бүтээмжийг 40%-60%-иар нэмэгдүүлдэг.

· Бие даасан хяналт: Станц бүр цахиурын савааны өөр өөр үзүүлэлтүүдэд дасан зохицохын тулд зүсэлтийн параметрүүдийг (таталт, тэжээлийн хурд) бие даан тохируулж болно.

(2) Өндөр нарийвчлалтай зүсэлт
· Хэмжээст нарийвчлал: дөрвөлжин баарны хажуугийн зайны хүлцэл ±0.15мм, хүрээ ≤0.20мм.

· Гадаргуугийн чанар: ирмэгийн хугарал <0.5мм, дараагийн нунтаглалтын хэмжээг бууруулна.

(3) Ухаалаг удирдлага
· Дасан зохицох зүсэлт: цахиурын савааны морфологийн бодит цагийн хяналт, зүсэлтийн замын динамик тохируулга (жишээлбэл, нугалсан цахиурын саваа боловсруулах гэх мэт).

· Өгөгдлийн мөрдөх чадвар: MES системийг холбохыг дэмжихийн тулд цахиурын саваа бүрийн боловсруулалтын параметрүүдийг тэмдэглэнэ.

(4) Хэрэглээний зардал бага
· Алмазан утасны хэрэглээ: ≤0.06м/мм (цахиурын савааны урт), утасны диаметр ≤0.30мм.

· Хөргөлтийн шингэний эргэлт: Шүүлтүүрийн систем нь ашиглалтын хугацааг уртасгаж, хаягдал шингэний хаягдлыг бууруулдаг.

Технологи ба хөгжлийн давуу талууд:

(1) Таслах технологийн оновчлол
- Олон шугамтай зүсэлт: 100-200 алмазан шугамыг зэрэгцээ ашигладаг бөгөөд зүсэх хурд нь ≥40мм/мин байна.

- Хүчдэлийн хяналт: Утас тасрах эрсдэлийг бууруулахын тулд хаалттай гогцоотой тохируулгын систем (±1N).

(2) Тохиромжтой байдлын өргөтгөл
- Материалын дасан зохицолт: P хэлбэрийн/N хэлбэрийн монокристалл цахиурыг дэмждэг бөгөөд TOPCon, HJT болон бусад өндөр үр ашигтай батерейны цахиурын саваатай нийцдэг.

- Уян хатан хэмжээ: цахиурын савааны урт 100-950 мм, дөрвөлжин савааны хажуугийн зай 166-233 мм тохируулж болно.

(3) Автоматжуулалтын шинэчлэлт
- Роботоор ачих болон буулгах: цахиурын савааг автоматаар ачих/буулгах, ≤3 минут цохих.

- Ухаалаг оношлогоо: Төлөвлөөгүй зогсолтыг багасгахын тулд урьдчилан таамагласан засвар үйлчилгээ.

(4) Салбарын манлайлал
- Ваферын тулгуур: ≥100μm хэт нимгэн цахиурыг дөрвөлжин саваагаар боловсруулж болно, хуваагдлын түвшин <0.5%.

- Эрчим хүчний хэрэглээг оновчлох: Цахиурын савааны нэгж тутамд ногдох эрчим хүчний хэрэглээг 30%-иар бууруулсан (уламжлалт тоног төхөөрөмжтэй харьцуулахад).

Техникийн үзүүлэлтүүд:

Параметрийн нэр	Индексийн утга
Боловсруулсан баарны тоо	2 ширхэг/багц
Боловсруулалтын барын уртын хүрээ	100~950мм
Машины захын хүрээ	166~233мм
Таслах хурд	≥40мм/мин
Алмазан утасны хурд	0~35м/с
Алмаз диаметр	0.30 мм ба түүнээс бага
Шугаман хэрэглээ	0.06 м/мм буюу түүнээс бага
Тохиромжтой дугуй савааны диаметр	Дууссан дөрвөлжин саваа диаметр +2мм, өнгөлгөөний хурдыг баталгаажуулна уу
Хамгийн сүүлийн үеийн эвдрэлийн хяналт	Түүхий ирмэг ≤0.5мм, хагаралгүй, гадаргуугийн чанар өндөр
Нуман уртын жигд байдал	Цахиурын саваа гажуудлаас бусад тохиолдолд проекцийн хүрээ <1.5мм
Машины хэмжээс (дан машин)	4800×3020×3660мм
Нийт нэрлэсэн чадал	56кВт
Тоног төхөөрөмжийн үхсэн жин	12т

Машины нарийвчлалын индексийн хүснэгт:

Нарийвчлалтай зүйл	Хүлцлийн хүрээ
Дөрвөлжин баганын захын хүлцэл	±0.15мм
Дөрвөлжин бар ирмэгийн хүрээ	≤0.20мм
Дөрвөлжин савааны бүх талын өнцөг	90°±0.05°
Дөрвөлжин савааны тэгш байдал	≤0.15мм
Роботын давтагдсан байршлын нарийвчлал	±0.05мм

XKH-ийн үйлчилгээ:

XKH нь монокристалл цахиурын хос станцтай машинуудад зориулсан бүрэн мөчлөгийн үйлчилгээ үзүүлдэг бөгөөд үүнд тоног төхөөрөмжийн тохируулга (том цахиурын саваатай нийцтэй), процессыг ашиглалтад оруулах (зүсэх параметрийн оновчлол), үйл ажиллагааны сургалт, борлуулалтын дараах дэмжлэг (гол эд ангийн хангамж, алсаас оношлох), үйлчлүүлэгчид өндөр ургац (>99%), хэрэглээний зардал багатай үйлдвэрлэлд хүрэхийг баталгаажуулах, техникийн шинэчлэлт хийх (жишээлбэл, хиймэл оюун ухааны зүсэх оновчлол) зэрэг орно. Хүргэлтийн хугацаа 2-4 сар байна.