Давхар станцын дөрвөлжин машин монокристалл цахиур саваа боловсруулах 6/8/12 инчийн гадаргуугийн тэгш байдал Ra≤0.5μm
Тоног төхөөрөмжийн шинж чанар:
(1) Давхар станцын синхрон боловсруулалт
· Давхар үр ашиг: Хоёр цахиур саваа (Ø6"-12") зэрэг боловсруулах нь Simplex төхөөрөмжтэй харьцуулахад бүтээмжийг 40%-60%-иар нэмэгдүүлдэг.
· Бие даасан хяналт: Станц бүр өөр өөр цахиурын бариулын үзүүлэлтүүдэд дасан зохицохын тулд огтлох параметрүүдийг (хүчдэл, тэжээлийн хурд) бие даан тохируулах боломжтой.
(2) Өндөр нарийвчлалтай зүсэлт
· Хэмжээний нарийвчлал: квадрат баарны хажуугийн зайны хүлцэл ±0.15мм, хүрээ ≤0.20мм.
· Гадаргуугийн чанар: зүсэх ирмэгийн хугарал <0.5мм, дараагийн нунтаглалтын хэмжээг багасгана.
(3) Ухаалаг удирдлага
· Дасан зохицох зүсэлт: цахиурын бариулын морфологийн бодит цагийн хяналт, зүсэх замын динамик тохируулга (тонгойсон цахиур саваа боловсруулах гэх мэт).
· Өгөгдлийн ул мөр: MES системийн залгалтыг дэмжихийн тулд цахиурын бариул бүрийн боловсруулалтын параметрүүдийг бүртгэнэ.
(4) Хэрэглээний зардал бага
· Алмазан утасны хэрэглээ: ≤0.06м/мм (цахиурын бариулын урт), утасны диаметр ≤0.30мм.
· Хөргөлтийн шингэний эргэлт: Шүүлтийн систем нь ашиглалтын хугацааг уртасгаж, хаягдал шингэний хаягдлыг багасгадаг.
Технологи ба хөгжлийн давуу талууд:
(1) Таслах технологийг оновчтой болгох
- Олон шугамын зүсэлт: 100-200 алмазан шугамыг зэрэгцүүлэн ашигладаг бөгөөд зүсэх хурд нь ≥40мм/мин байна.
- Хүчдэлийн хяналт: Утас тасрах эрсдэлийг бууруулахын тулд хаалттай хэлхээний тохируулгын систем (±1N).
(2) Тохиромжтой байдлын өргөтгөл
- Материалын дасан зохицох: P-type/N-type monocrystalline цахиурыг дэмжинэ, TOPCon, HJT болон бусад өндөр үр ашигтай батерейны цахиурын саваатай нийцдэг.
- Уян хатан хэмжээ: цахиур саваа урт 100-950мм, дөрвөлжин саваа хажуугийн зай 166-233мм тохируулж болно.
(3) Автоматжуулалтыг шинэчлэх
- Робот ачих, буулгах: цахиурын савааг автоматаар ачих/буулгах, ≤3 минут цохино.
- Ухаалаг оношлогоо: Төлөвлөөгүй зогсолтыг багасгахын тулд урьдчилан таамагласан засвар үйлчилгээ.
(4) Аж үйлдвэрийн манлайлал
- Өрөөний дэмжлэг: дөрвөлжин саваа бүхий ≥100μm хэт нимгэн цахиурыг боловсруулах боломжтой, хуваагдлын хурд <0.5%.
- Эрчим хүчний хэрэглээний оновчлол: Цахиур саваа нэгжийн эрчим хүчний зарцуулалтыг 30%-иар бууруулдаг (уламжлалт тоног төхөөрөмжтэй харьцуулахад).
Техникийн параметрүүд:
Параметрийн нэр | Индекс утга |
Боловсруулсан баарны тоо | 2 ширхэг / багц |
Боловсруулах баарны уртын хүрээ | 100 ~ 950 мм |
Боловсруулалтын хязгаарын хүрээ | 166 ~ 233 мм |
Таслах хурд | ≥40мм/мин |
Алмазан утасны хурд | 0~35м/с |
Алмазан диаметр | 0.30 мм ба түүнээс бага |
Шугаман хэрэглээ | 0.06 м/мм ба түүнээс бага |
Тохиромжтой дугуй саваа диаметр | Дууссан дөрвөлжин саваа диаметр +2мм, Өнгөлгөөний дамжуулалтын хурдыг баталгаажуулна |
Хамгийн сүүлийн үеийн эвдрэлийн хяналт | Түүхий ирмэг ≤0.5мм, Бутрахгүй, гадаргуугийн өндөр чанар |
Нумын уртын жигд байдал | Проекцын хүрээ <1.5мм, Цахиурын бариулын гажуудлаас бусад |
Машины хэмжээс (нэг машин) | 4800 × 3020 × 3660 мм |
Нийт нэрлэсэн хүч | 56 кВт |
Тоног төхөөрөмжийн үхсэн жин | 12т |
Машины нарийвчлалын индексийн хүснэгт:
Нарийвчилсан зүйл | Хүлцлийн хүрээ |
Квадрат баарны захын хүлцэл | ±0.15мм |
Дөрвөлжин баарны ирмэгийн хүрээ | ≤0.20мм |
Дөрвөлжин бариулын бүх талын өнцөг | 90°±0.05° |
Дөрвөлжин бариулын тэгш байдал | ≤0.15мм |
Роботын байршлын нарийвчлалыг давтлаа | ±0.05мм |
XKH-ийн үйлчилгээ:
XKH нь моно-кристалл цахиурын хос станцын машинуудад бүрэн мөчлөгийн үйлчилгээ үзүүлдэг бөгөөд үүнд тоног төхөөрөмжийн тохируулга (том цахиурын бариултай нийцдэг), процессыг ашиглалтад оруулах (зүсэх параметрийг оновчтой болгох), үйл ажиллагааны сургалт, борлуулалтын дараах дэмжлэг (гол эд анги нийлүүлэх, алсын зайнаас оношлох), хэрэглэгчдэд өндөр бүтээмж (>99%) хүрэх, хэрэглээний зардал багатай үйлдвэрлэх, техникийн оновчтой болгох зэрэг үйлчилгээ үзүүлдэг. Хүргэлтийн хугацаа 2-4 сар байна.
Нарийвчилсан диаграмм



