Si вафли/оптик шилэн материалын хайчлах зориулалттай алмазан утастай гурван станцын нэг утастай зүсэх машин

Si вафли/оптик шилэн материалыг огтлох зориулалттай алмазан утастай гурван станцтай нэг утастай зүсэх машин Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Алмазан утсан гурван станцтай нэг утастай зүсэх машин нь индранил, хаш, керамик зэрэг хэврэг материалыг үр ашигтайгаар дөрвөлжин болгох зориулалттай нарийн боловсруулалтын төхөөрөмж юм. Энэ нь тасралтгүй алмазан бүрсэн ган утсыг зүсэх хэрэгсэл болгон ашигладаг бөгөөд гурван бие даасан хуваалттай ажлын станц нь синхрончлогдсон зүсэлт, утсыг тэжээх/ороох, хурцадмал байдлыг хянах боломжийг олгодог. Серво мотор нь утасны харилцан хөдөлгөөнийг удирддаг бол хаалттай гогцооны санал хүсэлтийн систем нь хурцадмал байдлыг динамикаар тохируулдаг (±0.5N нарийвчлалтай), утасны хэрэглээг багасгадаг (<0.1%) бөгөөд процессын тогтвортой байдлыг хангадаг. Зүсэх бүс нь үйл ажиллагааны хэсгээс физик байдлаар тусгаарлагдсан бөгөөд утсыг хурдан солих (хамгийн их урт ≤150м) болон эд ангиудын үйлчилгээ (жишээ нь, чиглүүлэгч дугуй, чангалах дамар)-д зориулсан нээлттэй хандалтын засвар үйлчилгээний интерфэйстэй. Гол үзүүлэлтүүдэд 600×600мм хэмжээтэй ажлын материал, 400-1200мм/цаг зүсэх хурд, 0-800мм зузаантай хүчин чадал, ≤23кВт нийт хүчин чадал багтдаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч суурь, оптик талст, шинэ эрчим хүчний материалыг өндөр нарийвчлалтай зүсэхэд тохиромжтой.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Бүтээгдэхүүний танилцуулга

Алмазан утсан гурван станцтай нэг утастай зүсэх машин нь хатуу болон хэврэг материалд зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай, өндөр үр ашигтай зүсэх төхөөрөмж юм. Энэ нь алмазан утсыг зүсэх хэрэгсэл болгон ашигладаг бөгөөд цахиурын вафли, индранил, цахиурын карбид (SiC), керамик, оптик шил зэрэг өндөр хатуулагтай материалыг нарийн боловсруулахад тохиромжтой. Гурван станцтай загвартай энэхүү машин нь нэг төхөөрөмж дээр олон ажлын хэсгийг нэгэн зэрэг зүсэх боломжийг олгодог бөгөөд үйлдвэрлэлийн үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулдаг.

Ажиллах зарчим

Алмазан утсыг зүсэх: Өндөр хурдтай харилцан хөдөлгөөнөөр нунтаглахад суурилсан зүсэлтийг гүйцэтгэхийн тулд электролизжуулсан эсвэл давирхайгаар холбосон алмазан утсыг ашигладаг.
Гурван станцын синхрон зүсэлт: Гурван бие даасан ажлын станцаар тоноглогдсон тул гурван хэсгийг нэгэн зэрэг зүсэх боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр бүтээмжийг нэмэгдүүлдэг.
Суналтын хяналт: Зүсэх явцад алмазан утсыг тогтвортой татахын тулд өндөр нарийвчлалтай чангалалтын хяналтын системийг нэгтгэсэн бөгөөд нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
Хөргөлт ба тосолгооны систем: Дулааны гэмтлийг багасгах, алмазан утасны ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд ионгүйжүүлсэн ус эсвэл тусгай хөргөлтийн бодис ашигладаг.

Тоног төхөөрөмжийн онцлог шинж чанарууд

Өндөр нарийвчлалтай зүсэлт: ±0.02 мм-ийн зүсэлтийн нарийвчлалыг хангадаг бөгөөд хэт нимгэн вафли боловсруулахад тохиромжтой (жишээлбэл, фотоволтайк цахиурын вафли, хагас дамжуулагч вафли).
Өндөр үр ашиг: Гурван станцын загвар нь нэг станцын машинтай харьцуулахад бүтээмжийг 200 гаруй хувиар нэмэгдүүлдэг.
Материалын алдагдал бага: Нарийн керфийн загвар (0.1–0.2 мм) нь материалын хаягдлыг бууруулдаг.
Өндөр автоматжуулалт: Гарын авлагын оролцоог хамгийн бага байлгаж, автомат ачих, тэгшлэх, зүсэх, буулгах системтэй.
Өндөр дасан зохицох чадвар: Монокристалл цахиур, поликристалл цахиур, индранил, SiC, керамик зэрэг янз бүрийн хатуу, хэврэг материалыг огтлох чадвартай.

Техникийн давуу талууд

Давуу тал

Тайлбар

Олон станцын синхрон зүсэлт

Бие даасан удирдлагатай гурван станц нь өөр өөр зузаан эсвэл материалаар хийсэн ажлын хэсгүүдийг огтлох боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн ашиглалтыг сайжруулдаг.

Ухаалаг хүчдэлийн хяналт

Серво мотор болон мэдрэгч бүхий хаалттай гогцоотой удирдлага нь утсыг тогтмол чангалж, эвдрэх эсвэл хазайхаас сэргийлдэг.

Өндөр хатуулагтай бүтэц

Өндөр нарийвчлалтай шугаман хөтөч болон серво хөдөлгүүртэй системүүд нь тогтвортой зүсэлтийг хангаж, чичиргээний нөлөөллийг багасгадаг.

Эрчим хүчний хэмнэлт ба байгаль орчинд ээлтэй байдал

Уламжлалт зутан зүсэлттэй харьцуулахад алмазан утсаар зүсэлт хийх нь бохирдолгүй бөгөөд хөргөлтийн шингэнийг дахин боловсруулж, хог хаягдлын боловсруулалтын зардлыг бууруулдаг.

Ухаалаг хяналт

Өгөгдлийн ул мөрийг хянах боломжийг дэмжих, зүсэх хурд, таталт, температур болон бусад параметрүүдийг бодит цагийн хяналт хийх PLC болон мэдрэгчтэй дэлгэцийн удирдлагын системээр тоноглогдсон.

Техникийн тодорхойлолт

Загвар	Гурван станцын алмазан нэг шугамын зүсэх машин
Ажлын хэсгийн хамгийн их хэмжээ	600*600мм
Утасны гүйлтийн хурд	1000 (ХОЛИМОГ) м/мин
Алмазан утасны диаметр	0.25-0.48 мм
Нийлүүлэлтийн дугуйны шугамын багтаамж	20 км
Зузаан огтлох хүрээ	0-600мм
Зүсэлтийн нарийвчлал	0.01 мм
Ажлын станцын босоо өргөх хөдөлгөөн	800мм
Зүсэх арга	Материал нь хөдөлгөөнгүй бөгөөд алмазан утас нь найгаж, доошоо бууна
Тэжээлийн хурдыг огтлох	0.01-10мм/мин (Материал болон зузаанаас хамааран)
Усны сав	150л
Зүсэх шингэн	Зэврэлтээс хамгаалах өндөр үр ашигтай зүсэх шингэн
Савлалтын өнцөг	±10°
Савлалтын хурд	25°/с
Хамгийн их огтлох хурцадмал байдал	88.0N (Хамгийн бага нэгжийг 0.1n гэж тохируулна уу)
Зүсэх гүн	200~600мм
Үйлчлүүлэгчийн зүсэлтийн хүрээний дагуу харгалзах холбох хавтангуудыг хийнэ	-
Ажлын станц	3
Цахилгаан хангамж	Гурван фазын таван утастай AC380V/50Hz
Машины хэрэгслийн нийт хүчин чадал	≤32кВт
Үндсэн мотор	1*2кВт
Цахилгаан хөдөлгүүр	1*2кВт
Ажлын ширээний савлуур мотор	0.4*6кВт
Хүчдэлийн хяналтын мотор	4.4*2кВт
Утас суллах ба цуглуулах мотор	5.5*2кВт
Гадаад хэмжээсүүд (рокер гарны хайрцгийг оруулаагүй)	485921902184мм
Гадаад хэмжээсүүд (рокер гарны хайрцгийг оруулаад)	485921902184мм
Машины жин	3600ка

Хэрэглээний талбарууд

Фотоволтайкийн үйлдвэрлэл: Вафлийн гарцыг сайжруулахын тулд монокристалл болон поликристалл цахиурын гулдмайг зүсэх.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл: SiC болон GaN вафлигуудыг нарийн зүсэх.
LED үйлдвэрлэл: LED чип үйлдвэрлэхэд зориулж индранил субстратыг огтлох.
Дэвшилтэт керамик: Хөнгөн цагааны исэл болон цахиурын нитрид зэрэг өндөр хүчин чадалтай керамикийг хэлбэржүүлэх, зүсэх.
Оптик шил: Камерын линз болон хэт улаан туяаны цонхонд зориулсан хэт нимгэн шилийг нарийн боловсруулалт.