Нарийвчлалтай өнгөлгөөтэй, тохируулсан хэлбэртэй индранил оптик цонхны индранил бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Техникийн параметрүүд
Сапфир цонх | |
Хэмжээ | 8-400 мм |
Хэмжээст хүлцэл | +0/-0.05мм |
Гадаргуугийн чанар (зурж, ухах) | 40/20 |
Гадаргуугийн нарийвчлал | λ/10 тутамд 633 нм |
Цэвэр диафрагм | >85%,>90% |
Зэрэгцээ байдлын хүлцэл | ±2''-±3'' |
Налуу | 0.1-0.3мм |
Бүрэх | AR/AF/хэрэглэгчийн хүсэлтээр |
Гол онцлогууд
1. Материаллаг давуу тал
· Сайжруулсан дулааны шинж чанарууд: 35 Вт/м·К (100°С-д) дулаан дамжилтын илтгэлцүүртэй бөгөөд дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй (5.3×10⁻⁶/К) температурын хурдацтай эргэлтийн үед оптик гажуудал үүсэхээс сэргийлдэг. Материал нь хэдхэн секундын дотор 1000 хэмээс тасалгааны температур хүртэл дулааны цочролын шилжилтийн үед ч бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж байдаг.
· Химийн тогтвортой байдал: Баяжуулсан хүчил (HF-ийг оруулаагүй) болон шүлтлэгт (рН 1-14) удаан хугацаагаар өртөхөд доройтдоггүй тул химийн боловсруулалтын төхөөрөмжид нэн тохиромжтой.
· Оптик сайжруулалт: С тэнхлэгийн талст өсөлтийг сайжруулснаар үзэгдэх спектрийн (400-700нм) >85%-ийн дамжуулалтыг 0.1%/см-ээс бага тархалтын алдагдалтай болгодог.
· Нэмэлт гипер-хагас бөмбөрцөг өнгөлгөө нь 1064 нм-д гадаргуугийн тусгалыг <0.2% хүртэл бууруулдаг.
2. Нарийвчлалтай инженерчлэлийн чадвар
· Нано хэмжээний гадаргуугийн хяналт: Соронзон геологийн өнгөлгөөг (MRF) ашиглан гадаргуугийн барзгаржилтыг <0.3 нм Ra-д хүргэдэг бөгөөд LIDT нь 1064 нм, 10 ns импульс дээр 10J/cm²-ээс хэтэрсэн өндөр чадалтай лазерын хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой.
· Нарийн төвөгтэй геометрийн үйлдвэрлэл: <100нм-ийн нарийвчлалтай бичил шингэн суваг (50мкм өргөн хүлцэл) ба дифракцийн оптик элементүүд (DOE) үүсгэх 5 тэнхлэгт хэт авианы боловсруулалтыг багтаасан.
· Хэмжил зүйн интеграци: Цагаан гэрлийн интерферометр ба атомын хүчний микроскопийг (AFM) хослуулан 3 хэмжээст гадаргуугийн шинж чанарыг тодорхойлж, 200 мм субстрат дээр <100 нм PV хэлбэрийн нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
Үндсэн програмууд
1.Батлан хамгаалах системийг сайжруулах
· Hypersonic Vehicle Domes: Хайлтын толгойн MWIR дамжуулалтыг хадгалахын зэрэгцээ Mach 5+ агаарын дулааны ачааллыг тэсвэрлэх зорилгоор бүтээгдсэн. Тусгай нано нийлмэл ирмэгийн битүүмжлэл нь 15G чичиргээний ачаалал дор давхарга үүсэхээс сэргийлдэг.
· Квант мэдрэгч бүхий платформууд: Хэт бага хос хугаралттай (<5нм/см) хувилбарууд нь шумбагч онгоц илрүүлэх системд нарийн соронзон хэмжилтийг идэвхжүүлдэг.
2.Үйлдвэрлэлийн процессын шинэчлэл
· Хагас дамжуулагч хэт ягаан туяаны литограф: <0.01нм гадаргуугийн барзгаржилт бүхий AA зэрэглэлийн өнгөлсөн цонхнууд нь шаталсан систем дэх EUV (13.5нм) тархалтын алдагдлыг багасгадаг.
· Цөмийн реакторын хяналт: Нейтрон тунгалаг хувилбарууд (Al₂O₃ изотопоор цэвэршүүлсэн) нь IV үеийн реакторын цөмд бодит цагийн харааны хяналтыг хангадаг.
3. Шинээр хөгжиж буй технологийн интеграцчлал
· Сансар огторгуйд суурилсан оптик холбоо: Цацрагаар хатуурсан хувилбарууд (1Mrad гамма өртсөний дараа) LEO хиймэл дагуулын лазерын хөндлөн холбоосын дамжуулалтыг >80%-иар хангадаг.
· Биофотоникийн интерфэйс: Био идэвхгүй гадаргуугийн боловсруулалт нь глюкозын тасралтгүй мониторинг хийх зориулалттай Раман спектроскопийн цонхыг суулгадаг.
4.Дэвшилтэт эрчим хүчний системүүд
· Fusion Reactor оношилгоо: Олон давхаргат дамжуулагч бүрээс (ITO-AlN) нь токамак суурилуулалтанд плазмыг харах ба EMI хамгаалалтыг хоёуланг нь хангадаг.
· Устөрөгчийн дэд бүтэц: Криоген зэрэглэлийн хувилбарууд (20К хүртэл туршсан) шингэн H₂ агуулахын харах хэсэгт устөрөгчийн хэврэгшихээс сэргийлдэг.
XKH Services & Supply Capabilities
1.Захиалгат үйлдвэрлэлийн үйлчилгээ
· Зураг дээр суурилсан тохируулга: Стандарт бус загвар (1 мм-ээс 300 мм-ийн хэмжээс), 20 хоногийн хугацаанд хурдан хүргэх, 4 долоо хоногийн дотор анхны загварчлалыг дэмждэг.
· Бүрхүүлгийн шийдэл: Ойлтын алдагдлыг багасгахын тулд тусгалын эсрэг (AR), бохирдлоос хамгаалах (AF), долгионы уртын тусгай бүрээс (UV/IR).
· Нарийвчлалтай өнгөлгөө ба туршилт: Атомын түвшний өнгөлгөө нь ≤0.5 нм гадаргуугийн тэгш бус байдлыг хангадаг бөгөөд интерферометрийн тусламжтайгаар λ/10 тэгш байдлыг хангадаг.
2.Нийлүүлэлтийн сүлжээ & Техникийн дэмжлэг
· Босоо интеграци: Болор ургалтаас (Чохральскийн арга) зүсэх, өнгөлөх, бүрэх хүртэлх бүх процессын хяналт, материалын цэвэр байдал (хоосон/хязгааргүй) болон багцын тууштай байдлыг баталгаажуулдаг.
· Аж үйлдвэрийн хамтын ажиллагаа: Сансрын гэрээт гүйцэтгэгчээр баталгаажуулсан; CAS-тай хамтран дотоодын орлуулалтад зориулсан superlattice гетероструктурыг хөгжүүлсэн.
3.Бүтээгдэхүүний багц ба логистик
· Стандарт бараа материал: 6 инчийн 12 инчийн вафель формат; 43-аас 82 хүртэлх нэгжийн үнэ (хэмжээ/бүрээсээс хамаарч), нэг өдрийн хүргэлттэй.
· Хэрэглээний тусгай загварт техникийн зөвлөгөө өгөх (жишээлбэл, вакуум камерт зориулсан шаталсан цонх, дулааны цохилтод тэсвэртэй барилга байгууламж).

