Вакуум сорогч үрэлтийн дэвсгэр соруулагчийг зөөвөрлөх Bionic-ийн гулсдаггүй хавтан
Бионик гулсалтын эсрэг дэвсгэрийн онцлогууд:
• Тусгай инженерийн эластомер нийлмэл материал ашиглах, ямар ч үлдэгдэл хүрэхийн тулд, бохирдолгүй цэвэр эсрэг гулсалтын нөлөө, төгс хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчны шаардлага.
• Нарийвчлалтай бичил нано бүтцийн массивын дизайн, гадаргуугийн үрэлтийн шинж чанарыг ухаалаг хянах, үрэлтийн өндөр коэффициентийг хадгалахын зэрэгцээ хэт бага наалдацыг бий болгодог.
• Өвөрмөц интерфэйсийн механик дизайн нь өндөр тангенциал үрэлт (μ>2.5) болон бага хэвийн наалдац (<0.1N/cm²) хоёуланг нь маш сайн гүйцэтгэх боломжийг олгодог.
• Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тусгайлан боловсруулсан полимер материалууд нь бичил болон нано үйлдвэрлэлийн технологиор 100,000 дахин ашиглахад сулрахгүйгээр тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг.

Бионик хальтиргаагүй дэвсгэр програм:
(1) Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр
1. Вафель үйлдвэрлэл:
· 12 инч (50-300μm) хүртэлх хэт нимгэн өрөмийг дамжуулах үед гулсдаггүй байрлал
· Литографийн машины өргүүр зөөгчийг нарийн бэхлэх
· Туршилтын тоног төхөөрөмжид зориулсан гулсдаггүй хавтан
2. Багц тест:
· Цахиурын карбид/галийн нитридын цахилгаан төхөөрөмжийг үл эвдэх бэхэлгээ
· Чип суурилуулах явцад гулсахаас хамгаалсан буфер
· Сорьцын хүснэгтийн цохилт, гулсалтын эсэргүүцлийг шалгана
(2) Фотоволтайк үйлдвэр
1. Цахиур хавтан боловсруулах:
· Нэг талст цахиурын саваа зүсэх үед гулсдаггүй бэхэлгээ
· Хэт нимгэн цахиур хавтан (<150μm) дамжуулалт гулсдаггүй
· Дэлгэц хэвлэх машины цахиур ялтсын байрлал
2. Бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн угсралт:
· Шилэн арын хавтан нь хальтирдаггүй
· Хүрээ суурилуулах байршил
· Хамгаалах хайрцаг бэхлэгдсэн
(3) фотоэлектрик үйлдвэр
1. Дэлгэцийн самбар:
· Хальтирдаггүй OLED/LCD шилэн субстратын процесс
· Туйлшруулагчийн тохируулгын нарийн байрлал
· Цочрол болон гулсахаас хамгаалах туршилтын төхөөрөмж
2. Оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд:
· Линзний модулийн угсралт гулсдаггүй
· Призм/толь тогтоох
· Цочролд тэсвэртэй лазер оптик систем
(4) Нарийвчлалтай багаж
1. Литографийн машины нарийн платформ нь гулсахаас сэргийлдэг
2. Илрүүлэх төхөөрөмжийн хэмжих хүснэгт нь цочролд тэсвэртэй
3. Автомат тоног төхөөрөмж механик гар гулсдаггүй

Техникийн өгөгдөл:
Материалын найрлага: | C, O, Si |
Эргийн хатуулаг (A): | 50~55 |
Уян сэргээх коэффициент: | 1.28 |
Дээд хүлцлийн температур: | 260℃ |
Үрэлтийн коэффициент: | 1.8 |
плазмын эсэргүүцэл: | Хүлцэл |
XKH үйлчилгээ:
XKH нь эрэлтийн дүн шинжилгээ, схемийн зураг төсөл, хурдан баталгаажуулалт, масс үйлдвэрлэлийг дэмжих зэрэг бионик гулсалтын эсрэг дэвсгэрийн бүрэн процессыг тохируулах үйлчилгээ үзүүлдэг. Микро болон нано үйлдвэрлэлийн технологид тулгуурлан XKH нь хагас дамжуулагч, фотоволтайк болон фотоэлектрик үйлдвэрүүдэд халтиргаанаас хамгаалах мэргэжлийн шийдлүүдийг гаргаж, үйлчлүүлэгчдэд хог хаягдлын хэмжээг 0.005% хүртэл бууруулж, ургацыг 15% нэмэгдүүлэх зэрэг чухал үр дүнд хүрэхэд амжилттай тусалсан.
Нарийвчилсан диаграмм

