Вакуум сорогч үрэлтийн дэвсгэр сорогчтой бионик гулсдаггүй дэвсгэр вафер
Бионик гулсалтын эсрэг дэвсгэрийн онцлог шинж чанарууд:
• Тусгай инженерийн эластомер нийлмэл материалыг ашигласнаар үлдэгдэлгүй, бохирдолгүй цэвэрхэн, гулсалтын эсрэг үйлчилгээтэй, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчны шаардлагад төгс тохирно.
• Нарийвчлалтай микро-нано бүтцийн массив дизайнаар дамжуулан гадаргуугийн үрэлтийн шинж чанарыг ухаалаг хянахын зэрэгцээ өндөр үрэлтийн коэффициентийг хадгалахын зэрэгцээ хэт бага наалдацыг бий болгодог.
• Өвөрмөц интерфэйсийн механик дизайн нь өндөр тангенциал үрэлт (μ>2.5) болон бага хэвийн наалдац (<0.1N/см²)-ийн аль алиных нь маш сайн гүйцэтгэлийг хангадаг.
• Микро болон нано үйлдвэрлэлийн технологийн тусламжтайгаар 100,000 удаа дахин ашиглахад сулралгүйгээр тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тусгайлан боловсруулсан полимер материалууд.
Бионик гулсалтын эсрэг дэвсгэрийн хэрэглээ:
(1) Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
1. Вафли үйлдвэрлэл:
· 12 инч (50-300μm) хүртэлх хэт нимгэн вафли дамжуулах үед гулсахгүй байрлал
· Литографийн машины вафлины зөөгчийг нарийн бэхэлсэн
· Туршилтын тоног төхөөрөмжид зориулсан гулсдаггүй вафер доторлогоо
2. Багцын туршилт:
· Цахиурын карбид/галлий нитридийн цахилгаан төхөөрөмжүүдийг эвдэхгүй бэхлэх
· Чип суурилуулах үед гулсалтын эсрэг буфер
· Зондны ширээний цохилт болон гулсах эсэргүүцлийг шалгана уу
(2) Фотоволтайкийн үйлдвэрлэл
1. Цахиурын нимгэн талст боловсруулах:
· Монокристалл цахиурын саваагаар зүсэх үед гулсахгүй бэхэлгээ
· Хэт нимгэн цахиурын хавтан (<150μm) гулсдаггүй дамжуулагч
· Дэлгэц хэвлэх машины силикон ялтсан хавтангийн байрлал
2. Бүрэлдэхүүн хэсгийн угсралт:
· Гулсдаггүй шилэн арын хэсэг
· Хүрээ суурилуулах байршил
· Хавтасны хайрцгийг зассан
(3) фотоэлектрик үйлдвэрлэл
1. Дэлгэцийн самбар:
· Гулсдаггүй OLED/LCD шилэн суурьтай процесс
· Туйлшруулагчийн тохируулгын нарийн байрлал
· Цохилт болон гулсалтад тэсвэртэй туршилтын тоног төхөөрөмж
2. Оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд:
· Гулсдаггүй линзний модулийн угсралт
· Призм/толин бэхэлгээ
· Цочролд тэсвэртэй лазер оптик систем
(4) Нарийвчлалтай багаж хэрэгсэл
1. Литографийн машины нарийвчлалтай платформ нь гулсалтын эсрэг үйлчилгээтэй
2. Илрүүлэх төхөөрөмжийн хэмжих хүснэгт нь цочролд тэсвэртэй
3. Автомат тоног төхөөрөмж, механик гар нь гулсдаггүй
Техникийн мэдээлэл:
| Материалын найрлага: | C, O, Si |
| Эргийн хатуулаг (A): | 50~55 |
| Уян хатан сэргээх коэффициент: | 1.28 |
| Дээд хүлцэх температур: | 260℃ |
| Үрэлтийн коэффициент: | 1.8 |
| Плазмын эсэргүүцэл: | Хүлцэл |
XXKH үйлчилгээ:
XKH нь эрэлтийн шинжилгээ, схемийн зураг төсөл, хурдан нотолгоог шалгах, массын үйлдвэрлэлийн дэмжлэг зэрэг бионик гулсалтын эсрэг дэвсгэрийн бүрэн процессын тохируулгын үйлчилгээг үзүүлдэг. XKH нь микро болон нано үйлдвэрлэлийн технологид тулгуурлан хагас дамжуулагч, фотоволтайк болон фотоэлектрик үйлдвэрлэлийн мэргэжлийн гулсалтын эсрэг шийдлүүдийг санал болгодог бөгөөд хог хаягдлын хэмжээг 0.005% хүртэл бууруулж, гарцыг 15% нэмэгдүүлэх зэрэг мэдэгдэхүйц үр дүнд хүрэхэд үйлчлүүлэгчдэд амжилттай тусалсан.
Дэлгэрэнгүй диаграмм









