Хөнгөн цагаан суурь Нэг талст хөнгөн цагаан суурь чиглэл 111 100 111 5×5×0.5мм
Тодорхойлолт
Хөнгөн цагаан дан талст субстратын шинж чанаруудыг доор харуулав:
Өндөр материалын цэвэршилт: Хөнгөн цагаан металл дан талст субстратын цэвэршилт 99.99% -иас дээш хүрч болох бөгөөд хольцын агууламж маш бага тул өндөр цэвэршилттэй материалын хагас дамжуулагчийн хатуу шаардлагыг хангаж чадна.
Төгс талстжуулалт: Хөнгөн цагаан дан талст суурь нь зурах аргаар ургуулсан, өндөр дараалсан дан талст бүтэцтэй, атомын зохион байгуулалт нь хэвийн, цөөн согогтой тул суурь дээр дараагийн нарийн боловсруулалт хийхэд тохиромжтой.
Өндөр гадаргуугийн өнгөлгөө: Хөнгөн цагаан дан талст суурь гадаргууг нарийн өнгөлсөн бөгөөд барзгар байдал нь нанометрийн түвшинд хүрч, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн цэвэр байдлын стандартыг хангасан.
Сайн цахилгаан дамжуулах чанар: Металл материалын хувьд хөнгөн цагаан нь сайн цахилгаан дамжуулах чадвартай бөгөөд энэ нь суурь дээрх хэлхээг өндөр хурдтай дамжуулахад хувь нэмэр оруулдаг.
Хөнгөн цагаан дан талст суурь нь хэд хэдэн хэрэглээтэй.
1. Интеграл хэлхээний үйлдвэрлэл: Хөнгөн цагаан суурь нь интеграл хэлхээний чип үйлдвэрлэх гол суурь материалуудын нэг юм. CPU, GPU, санах ой болон бусад интеграл хэлхээний бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд зориулж нарийн төвөгтэй хэлхээний загварыг вафер дээр үйлдвэрлэж болно.
2. Цахилгаан электрон төхөөрөмж: Хөнгөн цагаан суурь нь MOSFET, цахилгаан өсгөгч, LED болон бусад цахилгаан электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд тохиромжтой. Дулаан дамжуулалтын сайн чанар нь төхөөрөмжийн дулааныг сарниулахад хувь нэмэр оруулдаг.
3. Нарны зай: Хөнгөн цагаан суурь нь нарны зай үйлдвэрлэхэд электродын материал эсвэл холбогч суурь болгон өргөн хэрэглэгддэг. Хөнгөн цагаан нь цахилгаан дамжуулах чанар сайтай бөгөөд өртөг багатай давуу талтай.
4. Микроцахилгаан механик системүүд (MEMS): Хөнгөн цагаан суурь нь даралт мэдрэгч, хурдатгал хэмжигч, микротолин гэх мэт янз бүрийн MEMS мэдрэгч болон гүйцэтгэх төхөөрөмжүүдийг үйлдвэрлэхэд ашиглагдаж болно.
Манай үйлдвэр нь дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, техникийн багтай бөгөөд хөнгөн цагаан дан талст суурь материалын янз бүрийн үзүүлэлт, зузаан, хэлбэрийг хэрэглэгчдийн тодорхой шаардлагын дагуу өөрчлөх боломжтой.
Дэлгэрэнгүй диаграмм



