Вафли болон суурь материалыг боловсруулах зориулалттай хөнгөн цагаан керамик төгсгөлийн эффектор / сэрээтэй гар

Вафер болон суурь материалыг боловсруулах зориулалттай хөнгөн цагаан керамик төгсгөлийн эффектор / сэрээтэй гар Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Хөнгөн цагааны ислийн керамик төгсгөлийн эффектор буюу ерөнхийдөө керамик сэрээ гар эсвэл керамик атгагч нь робот автоматжуулалт болон цэвэр өрөөний үйлдвэрлэлийн шугамд ашиглагддаг чухал хэрэгсэл юм. Энэ бүрэлдэхүүн хэсгийг робот гар дээр бүтээгдэхүүнтэй эцсийн интерфейс болгон суурилуулсан бөгөөд цахиурын хавтан, шилэн хавтан эсвэл микроэлектроник эд анги зэрэг өндөр мэдрэмтгий эд ангиудыг сонгох, барих, тэгшлэх, шилжүүлэх үүрэгтэй.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

хагас дамжуулагчийн вафлийн хөтлөгч керамик гар - 副本

Хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффекторын тойм

Хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффектор буюу ерөнхийдөө керамик сэрээтэй гар эсвэл керамик атгагч нь робот автоматжуулалт болон цэвэр өрөөний үйлдвэрлэлийн шугамд ашиглагддаг чухал хэрэгсэл юм. Хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффекторыг роботын гар дээр бүтээгдэхүүнтэй эцсийн интерфейс болгон суурилуулсан бөгөөд цахиурын хавтангууд, шилэн хавтан эсвэл микроэлектроник эд ангиуд зэрэг өндөр мэдрэмтгий эд ангиудыг сонгох, барих, тэгшлэх, шилжүүлэх үүрэгтэй.

Хэт цэвэр хөнгөн цагааны исэл (Al2O3) керамикаар үйлдвэрлэсэн энэхүү сэрээтэй гар нь металлын бохирдол, хуванцар деформаци эсвэл бөөмс үүсэхийг тэсвэрлэх боломжгүй орчинд онцгой цэвэр, тогтвортой шийдлийг өгдөг.

Материалын шинж чанарууд – Яагаад хөнгөнцагаан исэл

Хөнгөн цагааны исэл (Al2O3) нь хамгийн найдвартай, бат бөх чанарын нэг юм.дэвшилтэт инженерийн керамикБидний ашигладаг зэрэглэл (≥99.5% цэвэршилт) нь физик болон химийн шинж чанаруудын өвөрмөц хослолыг санал болгодог тул хагас дамжуулагч болон вакуум хэрэглээнд хамгийн тохиромжтой материал юм.

Хэт хатуулаг– Мохсын 9 хатуулгийн зэрэглэлтэй тул удаан эдэлгээтэй, зурагдахаас хамгаалдаг.
Дулааны тэсвэрлэлт– 1600°C-аас дээш температурт бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж, металл болон полимер аналогиас илүү гүйцэтгэлтэй.
Цахилгаан тусгаарлагч– Статик хуримтлалыг арилгаж, диэлектрикийн бүрэн хамгаалалтыг хангана.
Химийн дархлаа– Хүчил, шүлт, плазмын хий болон түрэмгий цэвэрлэгээний уусмалын нөлөөнд автаагүй.
Хэт бага бохирдлын эрсдэл– Цэвэр өрөөнд тоосонцрын ялгаралтыг багасгадаг хий ялгаруулдаггүй, үрэлт багатай гадаргуу.

Эдгээр шинж чанарууд нь хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик төгсгөлийн эффекторуудыг хатуу ширүүн, өндөр нарийвчлалтай орчинд өө сэвгүй ажиллах боломжийг олгодог.

Хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффекторын үндсэн хэрэглээ

Хөнгөн цагааны исэл керамик төгсгөлийн эффекторын сэрээний гарны олон талт байдал нь тэдгээрийг олон өндөр технологийн салбарт зайлшгүй шаардлагатай болгодог.

Хагас дамжуулагч ваферын тээвэрлэлтийн системүүд– Цахиурын хавтангуудыг нэг процессоос нөгөө процесс руу бичил зураасгүйгээр найдвартай зөөх.
Хавтгай дэлгэцийн үйлдвэрлэл– OLED, LCD эсвэл microLED үйлдвэрлэхэд зориулсан эмзэг шилэн суурьтай харьцах.
Фотоволтайк (PV) үйлдвэрлэл– Өндөр хурдны роботын циклийн үед нарны хавтанг ачиж буулгах ажлыг дэмжих.
Оптик болон электрон эд анги угсралт– Мэдрэгч, резистор, жижиг чип зэрэг эмзэг хэсгүүдийг атгах.
Тоос сорогч болон цэвэр өрөөний автоматжуулалт– Хэт цэвэр, тоосонцор хяналттай нөхцөлд нарийвчлалтай ажлуудыг гүйцэтгэх.

Бүх тохиолдолд хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик төгсгөлийн эффектор нь роботын автоматжуулалт болон зөөж буй бүтээгдэхүүний хоорондох чухал холбоосыг өгдөг.

Хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффекторын дизайн ба тохируулгын сонголтууд

Үйлдвэрлэлийн шугам бүр өөрийн гэсэн шаардлага тавьдаг. Тиймээс бид янз бүрийн хэмжээтэй, робот систем, боловсруулалтын аргуудад зориулсан захиалгаар хийсэн хөнгөн цагаан исэл керамик төгсгөлийн эффекторын шийдлүүдийг санал болгодог.

Вафлины нийцтэй байдал: 2 инчээс 12 инч хүртэлх вафлигуудыг зохицуулдаг бөгөөд захиалгат эд ангиудад тохируулан өөрчилж болно.

Геометрийн сонголтууд: Дан сэрээ, хос сэрээ, олон үүртэй, эсвэл нэгдсэн хонхорхойтой захиалгат хэлбэрүүд.

Вакуум харьцах: Холбоо барихгүй ваферийн тулгуурт зориулсан вакуум соролтын сувгууд нэмэлт боломжтой.

Суурилуулах интерфэйсүүд: Аливаа робот гарт тохирох захиалгат боолтны нүх, фланц эсвэл үүртэй загвар.

Гадаргуугийн өнгөлгөө: Өнгөлсөн эсвэл хэт өнгөлгөөтэй гадаргуу (Ra < 0.15 μm хүртэл).

Ирмэгийн профайл: Вафлийн хамгаалалтыг дээд зэргээр хангахын тулд ирмэгүүд нь налуу хэлбэртэй эсвэл бөөрөнхий хэлбэртэй байна.

Манай хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффекторын инженерийн баг нь үйлчлүүлэгчийн CAD зураг эсвэл дээжийн эд ангиуд дээр үндэслэн ажиллаж, одоо байгаа автоматжуулалтын системд жигд нэгтгэх боломжийг олгодог.

Хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффекторуудын гол давуу талууд

Онцлог	Яагаад чухал вэ
Хэмжээст нарийвчлал	Өндөр хурдтай, давтагдсан мөчлөгт ч гэсэн төгс тэнцвэрийг хадгалдаг.
Бохирдолгүй	Цэвэр өрөөний хатуу шаардлагыг хангасан бараг ямар ч тоосонцор үүсгэдэггүй.
Дулаан болон зэврэлтээс хамгаалагдсан	Түрэмгий боловсруулалтын үе шатууд болон дулааны цочролыг тэсвэрлэдэг.
Статик цэнэг байхгүй	Мэдрэмтгий хавтан болон эд ангиудыг электростатик эрсдэлээс хамгаална.
Хөнгөн боловч хатуу	Робот гарны ачааллыг бууруулахгүйгээр өндөр хатуулагтай.
Үйлчилгээний хугацааг уртасгасан	Ашиглалтын хугацаа болон найдвартай байдлын хувьд металл болон полимер гарнаас илүү сайн гүйцэтгэлтэй.

Хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффекторын материалын харьцуулалт

Шинж чанар	Хуванцар сэрээ гар	Хөнгөн цагаан/Металл сэрээтэй гар	Хөнгөн цагаан керамик сэрээ гар
Хатуулаг	Бага	Дунд зэрэг	Маш өндөр
Дулааны хүрээ	≤ 150°C	≤ 500°C	1600°C хүртэл
Химийн тогтвортой байдал	Муу	Дунд зэрэг	Маш сайн
Цэвэр өрөөний үнэлгээ	Бага	Дундаж	100 ба түүнээс дээш ангийнханд тохиромжтой
Эсэргүүцэл элэгдэл	Хязгаарлагдмал	Сайн	Гайхалтай
Тохируулгын түвшин	Дунд зэрэг	Хязгаарлагдмал	Өргөн хүрээтэй

Хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффекторын талаар байнга асуудаг асуултууд (түгээмэл асуултууд)

А1: Хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффекторыг металл эффектороос юугаараа ялгаатай вэ?
А1:Хөнгөн цагаан эсвэл ган гарнаас ялгаатай нь хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик нь зэврэлтэнд өртдөггүй, деформацид ордоггүй, хагас дамжуулагч процесст металл ионуудыг оруулдаггүй. Энэ нь хэт туйлширсан нөхцөлд хэмжээст тогтвортой хэвээр үлдэж, бараг ямар ч тоосонцор ялгаруулдаггүй.

А2: Эдгээр хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффекторыг өндөр вакуум болон плазмын камерт ашиглаж болох уу?
А2:Тийм ээ. Хөнгөн цагаан керамик ньхий ялгаруулдаггүймөн плазмд тэсвэртэй тул вакуум боловсруулалт болон сийлбэрийн тоног төхөөрөмжийн хувьд илүүд үздэг материал болгодог.

А3: Эдгээр хөнгөн цагаан керамик төгсгөлийн эффекторын сэрээтэй гарыг хэр зэрэг өөрчлөх боломжтой вэ?
А3:Нэгж бүр байж болнобүрэн өөрчлөн тохируулсан—хэлбэр, үүр, сорох нүх, бэхэлгээний хэлбэр, ирмэгийн өнгөлгөө зэргийг оруулаад—таны робот системийн шаардлагад нийцүүлэн.

А4: Тэд эмзэг үү?
А4:Керамик нь байгалийн хэврэг чанар сайтай байдаг ч бидний дизайны инженерчлэл нь ачааллыг жигд хуваарилж, стрессийн цэгүүдийг багасгадаг. Зөв харьцсан тохиолдолд ашиглалтын хугацаа нь металл эсвэл полимер хувилбаруудаас ихэвчлэн давдаг.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.