AlN-on-NPSS Wafer: Өндөр температур, өндөр чадал, RF-ийн хэрэглээнд зориулсан өнгөлгөөгүй индранил субстрат дээрх өндөр гүйцэтгэлтэй хөнгөн цагаан нитридын давхарга
Онцлогууд
Өндөр гүйцэтгэлтэй AlN давхарга: Хөнгөн цагаан нитрид (AlN) гэдгээрээ алдартайөндөр дулаан дамжуулалт(~200 Вт/м·К),өргөн зурвасын зай, баөндөр эвдрэлийн хүчдэл, хамгийн тохиромжтой материал болгож байнаөндөр хүчин чадалтай, өндөр давтамжтай, баөндөр температурпрограмууд.
Өнгөлгөөгүй индранил субстрат (NPSS): Өнгөлгөөгүй индранил нь aзардал багатай, механик бат бөхсуурь, гадаргууг өнгөлөх нарийн төвөгтэй байдалгүйгээр эпитаксиаль өсөлтийн тогтвортой суурийг хангах. NPSS-ийн маш сайн механик шинж чанарууд нь түүнийг хүнд хэцүү орчинд тэсвэрлэх чадвартай болгодог.
Өндөр дулааны тогтвортой байдал: AlN-on-NPSS хавтан нь температурын хэт хэлбэлзлийг тэсвэрлэх чадвартай тул ашиглахад тохиромжтой.цахилгаан электроник, автомашины систем, LED, баоптик хэрэглээөндөр температурын нөхцөлд тогтвортой гүйцэтгэлийг шаарддаг.
Цахилгаан тусгаарлагч: AlN нь маш сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанартай тул хаана хэрэглэхэд тохиромжтойцахилгаан тусгаарлагчзэрэг чухал ач холбогдолтойRF төхөөрөмжүүдболонбогино долгионы цахилгаан хэрэгсэл.
Дээд зэргийн дулаан ялгаруулалт: Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүртэй AlN давхарга нь өндөр эрчим хүч, давтамжийн дор ажилладаг төхөөрөмжүүдийн гүйцэтгэл, удаан эдэлгээг хадгалахад чухал ач холбогдолтой дулааны үр дүнтэй тархалтыг баталгаажуулдаг.
Техникийн параметрүүд
Параметр | Тодорхойлолт |
Өрөөний диаметр | 2 инч, 4 инч (захиалгат хэмжээ боломжтой) |
Субстратын төрөл | Өнгөлгөөгүй индранил субстрат (NPSS) |
AlN давхаргын зузаан | 2μm-ээс 10µm хүртэл (захиалах боломжтой) |
Субстратын зузаан | 430µm ± 25µm (2 инчийн хувьд), 500µm ± 25µm (4 инчийн хувьд) |
Дулаан дамжуулалт | 200 Вт/м·К |
Цахилгаан эсэргүүцэл | Өндөр тусгаарлагчтай, RF-ийн хэрэглээнд тохиромжтой |
Гадаргуугийн барзгар байдал | Ra ≤ 0.5µm (AlN давхаргын хувьд) |
Материалын цэвэр байдал | Өндөр цэвэршилттэй AlN (99.9%) |
Өнгө | Цагаан/Өлгөр цагаан (цайвар өнгийн NPSS субстрат бүхий AlN давхарга) |
Өргөст хэмх | < 30µm (ердийн) |
Допингийн төрөл | Нэмэлт хэрэглээгүй (өөрчлөх боломжтой) |
Хэрэглээ
TheAlN-on-NPSS вафельЭнэ нь хэд хэдэн салбарт өндөр гүйцэтгэлтэй олон төрлийн хэрэглээнд зориулагдсан болно:
Өндөр хүчин чадалтай электроник: AlN давхаргын өндөр дулаан дамжуулалт ба тусгаарлах шинж чанар нь үүнийг хийхэд тохиромжтой материал болгодогцахилгаан транзисторууд, Шулуутгагч, бацахилгаан IC-д ашигласанавтомашин, аж үйлдвэрийн, басэргээгдэх эрчим хүчсистемүүд.
Радио давтамжийн (RF) бүрэлдэхүүн хэсгүүд: AlN-ийн маш сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанар нь бага алдагдалтай хослуулан үйлдвэрлэх боломжийг олгодогRF транзисторууд, HEMTs (Өндөр электрон хөдөлгөөнт транзисторууд), болон бусадбогино долгионы бүрэлдэхүүн хэсгүүдөндөр давтамж, чадлын түвшинд үр ашигтай ажилладаг.
Оптик төхөөрөмжүүд: AlN-on-NPSS өргүүрийг ашигладаглазер диодууд, LED, бафотодетекторууд, хаанаөндөр дулаан дамжуулалтболонмеханик бат бөх байдалурт хугацааны туршид гүйцэтгэлийг хадгалахад зайлшгүй шаардлагатай.
Өндөр температур мэдрэгч: Өргөст хальсны хэт халууныг тэсвэрлэх чадвар нь үүнийг тохиромжтой болгодогтемператур мэдрэгчболонбайгаль орчны хяналтзэрэг салбаруудадсансар огторгуй, автомашин, багазрын тос, хий.
Хагас дамжуулагч сав баглаа боодол: онд ашигласан дулаан түгээгчболондулааны удирдлагын давхаргуудсав баглаа боодлын системд хагас дамжуулагчийн найдвартай байдал, үр ашгийг хангах.
Асуулт хариулт
Асуулт: AlN-on-NPSS хавтанцар нь цахиур гэх мэт уламжлалт материалаас юугаараа давуу талтай вэ?
Х: Гол давуу тал нь AlN юмөндөр дулаан дамжуулалт, энэ нь дулааныг үр ашигтайгаар гадагшлуулах боломжийг олгодог бөгөөд үүнийг ашиглахад тохиромжтойөндөр хүчин чадалтайболонөндөр давтамжийн програмууддулааны менежмент чухал байдаг. Нэмж дурдахад AlN ньөргөн зурвасын займөн маш сайнцахилгаан тусгаарлагч, ашиглахад илүү давуу талтай болгодогRFболонбогино долгионы төхөөрөмжуламжлалт цахиуртай харьцуулахад.
А: NPSS хавтан дээрх AlN давхаргыг өөрчлөх боломжтой юу?
Хариулт: Тийм ээ, AlN давхаргыг таны хэрэглээний онцлог хэрэгцээнд нийцүүлэн зузаанаар нь (2μм-ээс 10μм ба түүнээс дээш хооронд) тохируулж болно. Бид мөн допингийн төрөл (N-төрөл эсвэл P-төрөл) болон төрөлжсөн функцүүдэд зориулсан нэмэлт давхаргыг тохируулахыг санал болгож байна.
Асуулт: Автомашины үйлдвэрлэлд энэ өргүүрийн ердийн хэрэглээ юу вэ?
Х: Автомашины үйлдвэрлэлд AlN-on-NPSS өргүүрийг ихэвчлэн ашигладагцахилгаан электроник, LED гэрэлтүүлгийн систем, батемператур мэдрэгч. Эдгээр нь температурын янз бүрийн нөхцөлд ажилладаг өндөр үр ашигтай системд зайлшгүй шаардлагатай дулааны дээд удирдлага, цахилгаан тусгаарлагчийг хангадаг.
Нарийвчилсан диаграмм



