AlN-on-NPSS Wafer: Өндөр температур, өндөр хүчин чадал болон RF-ийн хэрэглээнд зориулсан өнгөлгөөгүй индранил суурь дээрх өндөр хүчин чадалтай хөнгөн цагаан нитридийн давхарга

AlN-on-NPSS Wafer: Өндөр температур, өндөр хүчин чадал болон RF хэрэглээнд зориулсан өнгөлгөөгүй индранил суурь дээр өндөр хүчин чадалтай хөнгөн цагаан нитридийн давхарга. Онцлох зураг.

Товч тайлбар:

AlN-on-NPSS вафли нь өндөр хүчин чадалтай хөнгөн цагаан нитрид (AlN) давхаргыг өнгөлөөгүй индранил суурьтай (NPSS) хослуулан өндөр температур, өндөр хүчин чадал, радио давтамжийн (RF) хэрэглээнд тохиромжтой шийдлийг санал болгодог. AlN-ийн онцгой дулаан дамжуулалт болон цахилгаан шинж чанаруудын өвөрмөц хослол нь суурь материалын маш сайн механик бат бөх чанар нь энэхүү вафлийг цахилгаан электроник, өндөр давтамжийн төхөөрөмж, оптик бүрэлдэхүүн хэсэг зэрэг шаардлагатай хэрэглээнд илүүд үздэг сонголт болгодог. Маш сайн дулаан тархалт, бага алдагдал, өндөр температурын орчинтой нийцтэй байдал зэргээрээ энэхүү вафли нь дээд зэргийн гүйцэтгэлтэй дараагийн үеийн төхөөрөмжүүдийг хөгжүүлэх боломжийг олгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Өндөр хүчин чадалтай AlN давхаргаХөнгөн цагаан нитрид (AlN) нь дараах шинж чанартайгаараа алдартай.өндөр дулаан дамжуулалт(~200 Вт/м·К),өргөн зурвасын зай, баөндөр эвдрэлийн хүчдэл, үүнийг хамгийн тохиромжтой материал болгож байнаөндөр хүчин чадалтай, өндөр давтамжтай, баөндөр температурпрограмууд.

Өнгөлгөөгүй индранил чулуун суурь (NPSS)Өнгөлгөөгүй индранил нь дараах боломжийг олгоно.зардал багатай, механик бат бөхсуурь нь гадаргуугийн өнгөлгөөний нарийн төвөгтэй байдалгүйгээр эпитаксиал өсөлтийн тогтвортой суурийг хангадаг. NPSS-ийн маш сайн механик шинж чанар нь хүнд хэцүү орчинд тэсвэртэй болгодог.

Өндөр дулааны тогтвортой байдалAlN-on-NPSS хавтан нь температурын хэт хэлбэлзлийг тэсвэрлэх чадвартай тул дараах нөхцөлд ашиглахад тохиромжтой.цахилгаан электроник, автомашины системүүд, LED чийдэн, баоптик хэрэглээөндөр температурын нөхцөлд тогтвортой гүйцэтгэл шаарддаг.

Цахилгаан тусгаарлагчAlN нь маш сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанартай тул дараах хэрэглээнд төгс тохирно.цахилгаан тусгаарлалтүүнд чухал ач холбогдолтой, үүндRF төхөөрөмжүүдмөнбогино долгионы электроник.

Дээд зэргийн дулаан ялгаруулалтӨндөр дулаан дамжуулалттай тул AlN давхарга нь үр дүнтэй дулаан ялгаруулалтыг хангадаг бөгөөд энэ нь өндөр хүчин чадал болон давтамжтай ажилладаг төхөөрөмжүүдийн гүйцэтгэл, урт наслалтыг хадгалахад чухал үүрэгтэй.

Техникийн үзүүлэлтүүд

Параметр	Тодорхойлолт
Ваферын диаметр	2 инч, 4 инч (өөрчлөн тохируулсан хэмжээ боломжтой)
Субстратын төрөл	Өнгөлгөөгүй индранил чулуун суурь (NPSS)
AlN давхаргын зузаан	2µm-ээс 10µm хүртэл (тохируулж болно)
Субстратын зузаан	430µm ± 25µm (2 инчийн хувьд), 500µm ± 25µm (4 инчийн хувьд)
Дулаан дамжуулалт	200 Вт/м·К
Цахилгаан эсэргүүцэл	Өндөр дулаалгатай, RF-ийн хэрэглээнд тохиромжтой
Гадаргуугийн барзгар байдал	Ra ≤ 0.5µm (AlN давхаргын хувьд)
Материалын цэвэр байдал	Өндөр цэвэршилттэй AlN (99.9%)
Өнгө	Цагаан/Цагаан (цайвар өнгийн NPSS суурьтай AlN давхарга)
Ваферын гажуудал	< 30µm (ердийн)
Допингийн төрөл	Холигдоогүй (өөрчлөн тохируулж болно)

Аппликейшнүүд

ньAlN-on-NPSS вафлихэд хэдэн салбарын өндөр гүйцэтгэлтэй олон төрлийн хэрэглээнд зориулагдсан:

Өндөр хүчин чадалтай электроникуудAlN давхаргын өндөр дулаан дамжуулалт болон тусгаарлагч шинж чанар нь үүнийг хамгийн тохиромжтой материал болгодогцахилгаан транзисторууд, шулуутгагч, бацахилгаан чипүүдашигласанавтомашины, аж үйлдвэрийн, басэргээгдэх эрчим хүчсистемүүд.

Радио давтамжийн (RF) бүрэлдэхүүн хэсгүүдAlN-ийн маш сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанар нь бага алдагдалтай хосолсноор дараах үйлдвэрлэлийг бий болгодогRF транзисторууд, HEMTs (Өндөр электрон хөдөлгөөнт транзисторууд), болон бусадбогино долгионы бүрэлдэхүүн хэсгүүдөндөр давтамж болон чадлын түвшинд үр ашигтай ажилладаг.

Оптик төхөөрөмжүүд: AlN-on-NPSS вафлигуудыг дараах байдлаар ашигладаглазер диодууд, LED чийдэн, бафотодетекторуудхаанаөндөр дулаан дамжуулалтмөнмеханик бат бөх чанарудаан хугацааны туршид гүйцэтгэлийг хадгалахад зайлшгүй шаардлагатай.

Өндөр температурын мэдрэгчүүд: Вафли нь хэт халуунд тэсвэртэй тул тохиромжтойтемператур мэдрэгчмөнбайгаль орчны хяналтгэх мэт салбартсансар судлал, автомашины, багазрын тос ба байгалийн хий.

Хагас дамжуулагч сав баглаа боодол: Ашигласан дулаан тараагчмөндулааны удирдлагын давхаргуудсав баглаа боодлын системд хагас дамжуулагчийн найдвартай байдал, үр ашгийг хангах.

Асуулт ба Хариулт

А: AlN-on-NPSS вафли нь цахиур гэх мэт уламжлалт материалаас гол давуу тал нь юу вэ?

А: Гол давуу тал нь AlN-ийнх юмөндөр дулаан дамжуулалт, энэ нь дулааныг үр дүнтэйгээр гадагшлуулах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хамгийн тохиромжтойөндөр хүчин чадалтаймөнөндөр давтамжийн хэрэглээдулааны менежмент чухал ач холбогдолтой. Үүнээс гадна, AlN ньөргөн зурвасын зайбас маш сайнцахилгаан тусгаарлагч, үүнийг ашиглахад илүү тохиромжтой болгож байнаRFмөнбогино долгионы төхөөрөмжүүдуламжлалт цахиуртай харьцуулахад.

А: NPSS вафли дээрх AlN давхаргыг өөрчлөх боломжтой юу?

Х: Тийм ээ, AlN давхаргыг таны хэрэглээний тодорхой хэрэгцээнд нийцүүлэн зузаанаар (2µm-ээс 10µm ба түүнээс дээш) өөрчилж болно. Мөн бид тусгай зориулалтын функцэд зориулсан нэмэлт давхаргууд болон нэмэлт давхаргуудыг санал болгодог.

А: Автомашины үйлдвэрлэлд энэхүү хавтангийн ердийн хэрэглээ юу вэ?

А: Автомашины үйлдвэрлэлд AlN-on-NPSS вафлиг түгээмэл хэрэглэгддэгцахилгаан электроник, LED гэрэлтүүлгийн системүүд, батемператур мэдрэгчЭдгээр нь дулааны менежмент болон цахилгаан тусгаарлалтыг дээд зэргээр хангадаг бөгөөд энэ нь янз бүрийн температурын нөхцөлд ажилладаг өндөр үр ашигтай системд зайлшгүй шаардлагатай.