8 инчийн цахиурын вафли P/N төрлийн (100) 1-100Ω хуурамч нөхөн сэргээх суурь
Вафли хайрцагны танилцуулга
8 инчийн цахиурын хавтангууд нь түгээмэл хэрэглэгддэг цахиурын суурь материал бөгөөд интеграл хэлхээний үйлдвэрлэлийн процесст өргөн хэрэглэгддэг. Ийм цахиурын хавтангуудыг микропроцессор, санах ойн чип, мэдрэгч болон бусад электрон төхөөрөмж зэрэг янз бүрийн төрлийн интеграл хэлхээ хийхэд түгээмэл ашигладаг. 8 инчийн цахиурын хавтангуудыг харьцангуй том хэмжээтэй чип хийхэд түгээмэл ашигладаг бөгөөд гадаргуугийн талбай том, нэг цахиурын хавтангаар илүү олон чип хийх боломжтой тул үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлдэг давуу талуудтай. 8 инчийн цахиурын хавтангууд нь механик болон химийн сайн шинж чанартай тул том хэмжээний интеграл хэлхээний үйлдвэрлэлд тохиромжтой.
Бүтээгдэхүүний онцлогууд
8" P/N төрлийн, өнгөлсөн силикон өрлөг (25 ширхэг)
Чиглэл: 200
Эсэргүүцэл: 0.1 - 40 ом•см (Энэ нь багцаас багцад өөр байж болно)
Зузаан: 725+/-20ум
Прайм/Хяналт/Туршилтын зэрэг
МАТЕРИАЛЫН ШИНЖ ЧАНАР
| Параметр | Онцлог шинж чанар |
| Төрөл/Допант | P, Бор N, Фосфор N, Сурьма N, Хүнцэл |
| Чиглэл | <100>, <111> хэрэглэгчийн техникийн шаардлагын дагуу чиглэлийг таслах |
| Хүчилтөрөгчийн агууламж | 1019ppmA Үйлчлүүлэгчийн тодорхойлолтын дагуу өөрчлөн тохируулсан хүлцэл |
| Нүүрстөрөгчийн агууламж | < 0.6 ppmA |
МЕХАНИК ШИНЖ ЧАНАР
| Параметр | Прайм | А-г хянах/туршилт хийх | Тест |
| Диаметр | 200±0.2мм | 200 ± 0.2 мм | 200 ± 0.5 мм |
| Зузаан | 725±20µm (стандарт) | 725±25µm (стандарт) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (стандарт) |
| TTV | < 5 µm | < 10 µм | < 15 µm |
| Нум | < 30 µм | < 30 µм | < 50 µм |
| Боолт | < 30 µм | < 30 µм | < 50 µм |
| Ирмэгийг тойруулан тоймлох | ХАГАС БЗХӨ | ||
| Тэмдэглэгээ | Зөвхөн анхан шатны хагас хавтгай, хагас тогтмол хавтгай Жейда хавтгай, ховилтой | ||
| Параметр | Прайм | А-г хянах/туршилт хийх | Тест |
| Урд талын шалгуур | |||
| Гадаргуугийн байдал | Химийн механик өнгөлгөөтэй | Химийн механик өнгөлгөөтэй | Химийн механик өнгөлгөөтэй |
| Гадаргуугийн барзгар байдал | < 2 А° | < 2 А° | < 2 А° |
| Бохирдол >0.3 µm хэмжээтэй хэсгүүд | = 20 | = 20 | = 30 |
| Манан, нүхнүүд Жүржийн хальс | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
| Хар, Маркс Судал | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
| Ар талын шалгуур | |||
| Хагарал, хэрээний хөл, хөрөөний ул мөр, толбо | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
| Гадаргуугийн байдал | Каустик сийлбэр | ||
Дэлгэрэнгүй диаграмм





