8 инчийн цахиурын хавтан P/N төрлийн (100) 1-100Ω дамми нөхөн сэргээх субстрат
Өрөөний хайрцгийн танилцуулга
8 инчийн цахиур хавтан нь өргөн хэрэглэгддэг цахиур субстратын материал бөгөөд нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн процесст өргөн хэрэглэгддэг. Ийм цахиур хавтан нь микропроцессор, санах ойн чип, мэдрэгч болон бусад электрон төхөөрөмж зэрэг олон төрлийн нэгдсэн хэлхээг хийхэд ашиглагддаг. 8 инчийн цахиур хавтан нь харьцангуй том хэмжээтэй чипс хийхэд ихэвчлэн ашиглагддаг ба давуу тал нь илүү том гадаргуутай, нэг цахиур хавтан дээр илүү олон чипс хийх чадвартай байдаг нь үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг. 8 инчийн цахиур хавтан нь механик болон химийн сайн шинж чанартай тул их хэмжээний нэгдсэн схем үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
Бүтээгдэхүүний онцлог
8" P/N төрөл, өнгөлсөн цахиур хавтан (25 ширхэг)
Чиглэл: 200
Эсэргүүцэл: 0.1 - 40 ом•см (Багц бүрээс хамаарч өөр өөр байж болно)
Зузаан: 725+/-20um
Prime/Monitor/Тестийн зэрэг
МАТЕРИАЛ ӨМЧ
Параметр | Онцлог шинж чанартай |
Төрөл/Допант | P, Бор N, Фосфор N, Сурьма N, Арсеник |
Баримтлал | <100>, <111> чиг баримжааг хэрэглэгчийн тодорхойлолтын дагуу зүснэ |
Хүчилтөрөгчийн агууламж | 1019ppmA хэрэглэгчийн тодорхойлолтын дагуу өөрчлөн хүлцэл |
Нүүрстөрөгчийн агууламж | < 0.6 ppmA |
МЕХАНИК ҮНДЭСЛЭЛ
Параметр | Ерөнхий | Хяналт/ Туршилт А | Туршилт |
Диаметр | 200±0.2мм | 200 ± 0.2 мм | 200 ± 0.5 мм |
Зузаан | 725±20µm (стандарт) | 725±25µm(стандарт) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 мкм | 725±50µm (стандарт) |
TTV | < 5 микрон | < 10 микрон | < 15 микрон |
Нум | < 30 микрон | < 30 микрон | < 50 микрон |
Боодог | < 30 микрон | < 30 микрон | < 50 микрон |
Ирмэгийг дугуйлах | Хагас БЗДХ | ||
Тэмдэглэгээ | Зөвхөн анхдагч SEMI-Flat, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Параметр | Ерөнхий | Хяналт/ Туршилт А | Туршилт |
Урд талын шалгуур | |||
Гадаргуугийн байдал | Химийн механик өнгөлсөн | Химийн механик өнгөлсөн | Химийн механик өнгөлсөн |
Гадаргуугийн барзгар байдал | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Бохирдол Бөөм @ >0.3 μм | = 20 | = 20 | = 30 |
Манан, Питс Жүржийн хальс | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
Харсан, Марк Стриацууд | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
Ар талын шалгуур | |||
Хагарал, хөл, хөрөөний тэмдэг, толбо | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
Гадаргуугийн байдал | Идэмхий сийлбэртэй |