8 инчийн SiC Үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн өрмөнцөр 4H-N SiC субстрат

8 инчийн SiC Үйлдвэрлэлийн 4H-N SiC субстрат хавтан Онцлох зураг

Богино тайлбар:

8 инчийн SiC субстратуудыг хүчирхэг MOSFETs (метал ислийн хагас дамжуулагч талбарын нөлөөллийн транзисторууд), Schottky диодууд болон бусад цахилгаан хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд гэх мэт өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжүүдэд ашигладаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Дараах хүснэгтэд манай 8 инчийн SiC хавтанцарын үзүүлэлтүүдийг харуулав:

8 инчийн N төрлийн SiC DSP үзүүлэлт
Тоо	Зүйл	Нэгж	Үйлдвэрлэл	Судалгаа	Дамми
1: параметрүүд
1.1	политип	--	4H	4H	4H
1.2	гадаргуугийн чиг баримжаа	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: Цахилгааны параметр
2.1	допант	--	n төрлийн азот	n төрлийн азот	n төрлийн азот
2.2	эсэргүүцэл	ом ·см	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: Механик параметр
3.1	диаметр	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	зузаан	мкм	500±25	500±25	500±25
3.3	Ховилын чиг баримжаа	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Ховилын гүн	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	мкм	≤5(10мм*10мм)	≤5(10мм*10мм)	≤10(10мм*10мм)
3.6	TTV	мкм	≤10	≤10	≤15
3.7	Нум	мкм	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Муухай	мкм	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Бүтэц
4.1	бичил хоолойн нягт	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	металлын агууламж	атом/см2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. Урд талын чанар
5.1	урд	--	Si	Si	Si
5.2	гадаргуугийн өнгөлгөө	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	бөөмс	ea/wafer	≤100(хэмжээ≥0.3μм)	NA	NA
5.4	зураас	ea/wafer	≤5,Нийт урт≤200мм	NA	NA
5.5	Ирмэг чипс / догол / ан цав / толбо / бохирдол	--	Байхгүй	Байхгүй	NA
5.6	Политип талбайнууд	--	Байхгүй	Талбай ≤10%	Талбай ≤30%
5.7	урд талын тэмдэглэгээ	--	Байхгүй	Байхгүй	Байхгүй
6: Буцах чанар
6.1	арын дуусгах	--	С нүүртэй УИХ-ын гишүүн	С нүүртэй УИХ-ын гишүүн	С нүүртэй УИХ-ын гишүүн
6.2	зураас	mm	NA	NA	NA
6.3	Арын гажиг ирмэг чипс/догол	--	Байхгүй	Байхгүй	NA
6.4	Нурууны барзгар байдал	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Буцах тэмдэглэгээ	--	Ховил	Ховил	Ховил
7: ирмэг
7.1	ирмэг	--	Хагархай	Хагархай	Хагархай
8: Багц
8.1	сав баглаа боодол	--	Вакуумаар эпи-бэлэн сав баглаа боодол	Вакуумаар эпи-бэлэн сав баглаа боодол	Вакуумаар эпи-бэлэн сав баглаа боодол
8.2	сав баглаа боодол	--	Олон төрлийн вафель кассет сав баглаа боодол	Олон төрлийн вафель кассет сав баглаа боодол	Олон төрлийн вафель кассет сав баглаа боодол