8 инчийн SiC үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн вафли 4H-N SiC суурь
Дараах хүснэгтэд манай 8 инчийн SiC вафлины үзүүлэлтүүдийг харуулав:
| 8 инчийн N хэлбэрийн SiC DSP үзүүлэлтүүд | |||||
| Дугаар | Зүйл | Нэгж | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Хуурамч |
| 1: параметрүүд | |||||
| 1.1 | олон төрөл | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | гадаргуугийн чиглэл | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Цахилгаан параметр | |||||
| 2.1 | хольц | -- | n төрлийн азот | n төрлийн азот | n төрлийн азот |
| 2.2 | эсэргүүцэл | ом ·см | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Механик параметр | |||||
| 3.1 | диаметр | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | зузаан | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Ховилын чиглэл | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Ховилын гүн | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | мкм | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤10(10мм*10мм) |
| 3.6 | TTV | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Нум | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Гажуудал | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Бүтэц | |||||
| 4.1 | микро хоолойн нягтрал | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | металлын агууламж | атом/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ХБД | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Урд талын чанар | |||||
| 5.1 | урд тал | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | гадаргуугийн өнгөлгөө | -- | Si нүүртэй CMP | Si нүүртэй CMP | Si нүүртэй CMP |
| 5.3 | бөөмс | ea/wafer | ≤100 (хэмжээ ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | маажих | ea/wafer | ≤5, Нийт урт ≤200мм | NA | NA |
| 5.5 | Ирмэг хагарал/зураас/хагарал/толбо/бохирдол | -- | Байхгүй | Байхгүй | NA |
| 5.6 | Олон төрлийн бүсүүд | -- | Байхгүй | Талбай ≤10% | Талбай ≤30% |
| 5.7 | урд талын тэмдэглэгээ | -- | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
| 6: Арын чанар | |||||
| 6.1 | арын өнгөлгөө | -- | C нүүртэй MP | C нүүртэй MP | C нүүртэй MP |
| 6.2 | маажих | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Нурууны согогийн ирмэг чипс/индентүүд | -- | Байхгүй | Байхгүй | NA |
| 6.4 | Нурууны барзгар байдал | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Арын тэмдэглэгээ | -- | Ховил | Ховил | Ховил |
| 7:ирмэг | |||||
| 7.1 | ирмэг | -- | Хавхлаг | Хавхлаг | Хавхлаг |
| 8: Багц | |||||
| 8.1 | сав баглаа боодол | -- | Вакуумтай Epi-ready сав баглаа боодол | Вакуумтай Epi-ready сав баглаа боодол | Вакуумтай Epi-ready сав баглаа боодол |
| 8.2 | сав баглаа боодол | -- | Олон талт вафли кассет сав баглаа боодол | Олон талт вафли кассет сав баглаа боодол | Олон талт вафли кассет сав баглаа боодол |
Дэлгэрэнгүй диаграмм
Холбоотой бүтээгдэхүүнүүд
Зурвасаа энд бичээд бидэнд илгээнэ үү