6 инчийн SiC Epitaxiy өрмөнцөр N/P төрлийн захиалгаар хүлээн авна

Цахиурын карбидын эпитаксиаль хавтанг бэлтгэх үйл явц нь химийн уурын хуримтлал (CVD) технологийг ашигладаг арга юм.Холбогдох техникийн зарчмууд болон бэлтгэлийн үйл явцын үе шатууд нь дараах байдалтай байна.

Техникийн зарчим:

Химийн уурын хуримтлал: Түүхий эдийг хийн үе шатанд ашиглан тодорхой урвалын нөхцөлд задалж, субстрат дээр буулгаж, хүссэн нимгэн хальс үүсгэдэг.

Хийн фазын урвал: Пиролиз эсвэл хагарлын урвалаар хийн үе дэх төрөл бүрийн түүхий эдийн хий нь урвалын камерт химийн хувьд өөрчлөгддөг.

Бэлтгэл ажлын үе шатууд:

Субстратын боловсруулалт: Эпитаксиаль хавтангийн чанар, талст чанарыг хангахын тулд гадаргууг цэвэрлэх, урьдчилан боловсруулалтанд хамруулна.

Урвалын камерын дибаг хийх: урвалын нөхцлийн тогтвортой байдал, хяналтыг хангахын тулд урвалын камерын температур, даралт, урсгалын хурд болон бусад параметрүүдийг тохируулна.

Түүхий эдийн нийлүүлэлт: шаардлагатай хийн түүхий эдийг урвалын камерт нийлүүлэх, шаардлагатай бол холих, урсгалын хурдыг хянах.

Урвалын үйл явц: Урвалын камерыг халааснаар хийн түүхий эд нь камерт химийн урвалд орж, хүссэн орд, өөрөөр хэлбэл цахиурын карбидын хальс үүсгэдэг.

Хөргөх ба буулгах: Урвалын төгсгөлд температурыг аажмаар бууруулж, урвалын камер дахь ордуудыг хөргөж, хатууруулна.

Эпитаксиаль хавтанцарыг зөөлрүүлэх ба дараах боловсруулалт: хадгалсан эпитаксиаль хавтанцарыг цахилгаан болон оптик шинж чанарыг сайжруулахын тулд боловсруулалт хийж, дараа нь боловсруулдаг.

Цахиурын карбидын эпитаксиаль хавтан бэлтгэх үйл явцын тодорхой үе шат, нөхцөл нь тодорхой тоног төхөөрөмж, шаардлагаас хамаарч өөр өөр байж болно.Дээрх нь зөвхөн ерөнхий үйл явц, зарчим бөгөөд тодорхой үйл ажиллагааг бодит нөхцөл байдлын дагуу тохируулах, оновчтой болгох шаардлагатай.