6 инчийн N хэлбэрийн эсвэл P хэлбэрийн силикон вафли CZ Si вафли

Товч тайлбар:

6 инчийн цахиурын хавтангууд нь интеграл хэлхээ үйлдвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг нийтлэг цахиурын суурь материал юм. Эдгээр хавтангуудыг боловсруулж, цэвэрлэж, микропроцессор, санах ойн чип, мэдрэгч болон бусад электрон төхөөрөмж зэрэг янз бүрийн төрлийн интеграл хэлхээг үүсгэдэг. 6 инчийн цахиурын хавтангуудын давуу талууд нь тэдгээрийн том гадаргуугийн талбай, сайн дулаан дамжуулалт, харьцангуй хямд өртөг юм. Эдгээр шинж чанарууд нь 6 инчийн цахиурын хавтангуудыг интеграл хэлхээ үйлдвэрлэхэд хамгийн тохиромжтой сонголтуудын нэг болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Вафли хайрцагны танилцуулга

Силикон хавтангийн техникийн үзүүлэлтүүд:

6 инчийн цахиурын нимгэн талст: CZ, MCZ, FZ.

6 Цахиурын нимгэн талст зэрэг: Прайм, Туршилт, Дамми гэх мэт

6 инчийн цахиурын вафлийн диаметр: 6 инч/150 мм.

6 инчийн цахиурын нимгэн хавтангийн зузаан: 200~ 3000мкм.

6 инчийн силикон нимгэн талст өнгөлгөө: Зүссэн, давхцуулсан, сийлсэн, SSP, DSP гэх мэт.

6 инчийн цахиурын нимгэн хавтангийн чиглэл: (100) (111) (110) (531) (553) гэх мэт.

6 инчийн силикон өрлөг, тайралт: 4 хэм хүртэл.

6 инчийн цахиурын нимгэн талст Төрөл/Нийлмэл: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Дотоод.

6 инчийн цахиурын хавтангийн эсэргүүцэл: CZ/MCZ: 0.001-ээс 1000 ом-см хүртэл. FZ: 20к ом-см хүртэл.

6 инчийн цахиурын нимгэн хальс: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo гэх мэт, 20.000A/5% хүртэл зузаантай.

(b)LPCVD/PECVD: Исэл, Нитрид, siC гэх мэт, Бүрхүүлийн зузаан нь 200.000A/3% хүртэл.

(в) Цахиурын эпитаксиаль ваферууд болон эпитаксиаль үйлчилгээ (SOS, GaN, GOI гэх мэт).

6 инчийн цахиурын нимгэн хавтангийн процессууд: a.DSP, хэт нимгэн, хэт хавтгай гэх мэт.

b.Ажлын байрыг цомхотгох, буцааж нунтаглах, жижиглэх гэх мэт.c. MEMS.

2010 оноос хойш Шанхай XKH Material Tech. ХХК нь үйлчлүүлэгчдэдээ 4 инчийн цахиурын вафлийн цогц шийдлүүдийг санал болгож байна. Үүнд дибаг хийх түвшний вафли Dummy Wafer, туршилтын түвшний вафли Test Wafer, бүтээгдэхүүний түвшний Prime Wafer, мөн тусгай вафли, Oxide Oxide Isol вафли, Si3N4 Nitride вафли, хөнгөн цагаан бүрсэн вафли, зэс бүрсэн цахиурын вафли, SOI вафли, MEMS Glass, захиалгат хэт зузаан болон хэт хавтгай вафли гэх мэт 50мм-300мм хэмжээтэй, нэг талт/хоёр талт өнгөлгөө, нимгэрүүлэх, жижиглэх, MEMS болон бусад боловсруулалт, тохируулгын үйлчилгээ багтаж байна.