6 инчийн N-Type эсвэл P-type Silicon өрмөнцөр CZ Si вафер
Өрөөний хайрцгийн танилцуулга
Цахиур ялтсын техникийн үзүүлэлтүүд:
6 инчийн цахиурын хавтанцар өсөлт: CZ, MCZ, FZ.
6 Цахиур ялтсын зэрэглэл: Ерөнхий, Туршилт, дамми гэх мэт
6 инчийн цахиурын хавтан Диаметр: 6 инч/150 мм.
6 инчийн Цахиур хавтан Зузаан: 200~3000um。
6 инчийн цахиурын хавтанцар: Зүссэн, наасан, сийлсэн, SSP, DSP гэх мэт.
6 инчийн Цахиур ялтсын чиг баримжаа: (100) (111) (110) (531) (553) гэх мэт.
6 инчийн цахиурын зүсмэл хавтан: 4 градус хүртэл.
6 инчийн Цахиур хавтан төрөл/Допант: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic。
6 инчийн Цахиур хавтан Эсэргүүцэл: CZ/MCZ: 0.001-ээс 1000 ом-см хүртэл. FZ: 20к ом-см хүртэл.
6 инчийн Цахиур хавтан Нимгэн хальс: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. гэх мэт. Бүрхүүлгийн зузаан нь 20.000А/5% хүртэл.
(б)LPCVD/PECVD: Оксид, Нитрид, siC, гэх мэт, Бүрээсний зузаан 200.000А/3% хүртэл.
(в) Цахиурын эпитаксиаль хавтан ба эпитаксиал үйлчилгээ (SOS, GaN, GOI гэх мэт).
6 инчийн цахиурын ялтсууд: a.DSP, хэт нимгэн, хэт хавтгай гэх мэт.
b.Цомоглох, араар нь нунтаглах, шоо дөрвөлжин хэрчих гэх мэт.c. MEMS.
2010 оноос хойш Шанхай XKH Материал Тех. Co.,Ltd нь хэрэглэгчдэд дибаг хийх түвшний өргүүр, дамми өрмөнцөр, туршилтын түвшний вафель, бүтээгдэхүүний түвшний нимгэн талст ялтсууд, Prime Wafer, мөн тусгай өрөм, оксид өрөм, исэлдүүлэгч оксид зэрэг иж бүрэн шийдлүүдийг хэрэглэгчдэд хүргэхээр зорьж ирсэн. Nitride өрмөнцөр Si3N4, Хөнгөн цагаан бүрсэн өрөм, Зэс бүрсэн цахиур хавтан, SOI Wafer, MEMS Glass, 50 мм-ээс 300 мм хүртэлх хэмжээтэй хэт зузаан, хэт хавтгай хавтан гэх мэт, бид хагас дамжуулагч өргүүрийг нэг талт / хоёр талт өнгөлгөө, сийрэгжүүлэх, зүсэх, MEMS болон бусад зүйлээр хангах боломжтой. боловсруулах, тохируулах үйлчилгээ.