6 инчийн HPSI SiC субстрат хавтанцар Цахиурын карбид хагас доромжилсон SiC хавтанцар
PVT цахиурын карбидын болор SiC өсөлтийн технологи
SiC нэг талстыг ургуулах одоогийн аргууд нь шингэн фазын арга, өндөр температурт химийн уурын хуримтлуулах арга, физик уурын фазын тээвэрлэлт (PVT) гэсэн гурван аргыг голчлон агуулдаг. Тэдгээрийн дотроос PVT арга нь SiC дан кристалл өсөлтийн хамгийн их судлагдсан, боловсорсон технологи бөгөөд түүний техникийн хүндрэлүүд нь:
(1) "Хатуу - хий - хатуу" хувиргах дахин талстжих процессыг дуусгахын тулд хаалттай бал чулууны камерын дээгүүр 2300 ° C-ийн өндөр температурт SiC дан болор, өсөлтийн мөчлөг нь урт, хянахад хэцүү, бичил гуурсан хоолой, оруулга болон бусад согогуудад өртөмтгий байдаг.
(2) Цахиурын карбидын дан болор, үүнд 200 гаруй төрлийн талстыг багтаасан боловч ерөнхийдөө нэг талст төрлийг үйлдвэрлэх, өсөлтийн явцад талст хэлбэрийн өөрчлөлтийг бий болгоход хялбар, олон төрлийн орцын согогийг үүсгэдэг, нэг төрлийн болор бэлтгэх үйл явц нь процессын тогтвортой байдлыг хянахад хэцүү байдаг, жишээлбэл, одоогийн 4H-ийн үндсэн урсгал.
(3) Цахиурын карбидын нэг талст өсөлтийн дулааны талбарт температурын градиент байдаг бөгөөд үүний үр дүнд болор өсөлтийн процесст дотоод дотоод стресс үүсч, улмаар мултрал, гэмтэл болон бусад согогууд үүсдэг.
(4) Цахиурын карбидын нэг талст ургах процесс нь маш өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч талст эсвэл чиглүүлсэн дамжуулагч талстыг олж авахын тулд гадны хольцыг нэвтрүүлэхийг хатуу хянах шаардлагатай. RF төхөөрөмжид ашигладаг хагас тусгаарлагч цахиурын карбидын субстратын хувьд болор дахь маш бага хольцын концентраци болон тодорхой төрлийн цэгийн согогийг хянах замаар цахилгаан шинж чанарыг олж авах шаардлагатай.
Нарийвчилсан диаграмм
