6 инчийн цахиурын карбид 4H-SiC хагас тусгаарлагчтай гулдмай, хуурамч зэрэглэлийн

6 инчийн цахиурын карбид 4H-SiC хагас тусгаарлагч гулдмай, хуурамч зэрэглэлийн онцлох зураг

Товч тайлбар:

Цахиурын карбид (SiC) нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд, ялангуяа өндөр хүчин чадалтай, өндөр давтамжтай, цацрагт тэсвэртэй хэрэглээнд хувьсгал хийж байна. Хуурамч зэрэглэлийн 6 инчийн 4H-SiC хагас тусгаарлагч гулдмай нь туршилтын загвар гаргах, судалгаа хийх, тохируулгын процесст зайлшгүй шаардлагатай материал юм. Өргөн зурвасын зай, маш сайн дулаан дамжуулалт, механик бат бөх чанараараа энэхүү гулдмай нь дэвшилтэт хөгжилд шаардлагатай үндсэн чанарыг алдагдуулахгүйгээр туршилт, процессыг оновчтой болгох зардал багатай сонголт болж өгдөг. Энэхүү бүтээгдэхүүн нь цахилгаан электроник, радио давтамжийн (RF) төхөөрөмж, оптоэлектроник зэрэг олон төрлийн хэрэглээнд зориулагдсан тул үйлдвэрлэл, судалгааны байгууллагуудад үнэлж баршгүй хэрэгсэл болж өгдөг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Үл хөдлөх хөрөнгө

1. Физик ба бүтцийн шинж чанарууд
●Материалын төрөл: Цахиурын карбид (SiC)
●Политип: 4H-SiC, зургаан өнцөгт талст бүтэцтэй
●Диаметр: 6 инч (150 мм)
●Зузаан: Тохируулах боломжтой (хуурамч зэрэглэлийн хувьд 5-15 мм)
●Кристал чиглэл:
oАнхан шатны: [0001] (C хавтгай)
oХоёрдогч сонголтууд: Эпитаксиал өсөлтийг оновчтой болгохын тулд тэнхлэгээс 4° гадуурх
●Үндсэн хавтгай чиглэл: (10-10) ± 5°
●Хоёрдогч хавтгай чиглэл: Анхдагч хавтгайгаас цагийн зүүний эсрэг 90° ± 5°

2. Цахилгаан шинж чанар
● Эсэргүүцэл:
oХагас тусгаарлагчтай (>106^66 Ω·см), паразит багтаамжийг багасгахад тохиромжтой.
●Допинг хийх төрөл:
o Санамсаргүйгээр хольц оруулсан нь янз бүрийн ажиллагааны нөхцөлд өндөр цахилгаан эсэргүүцэл болон тогтвортой байдлыг бий болгодог.

3. Дулааны шинж чанар
●Дулаан дамжуулалт: 3.5-4.9 Вт/см·К, өндөр хүчин чадалтай системд дулааныг үр дүнтэй ялгаруулах боломжийг олгодог.
●Дулааны тэлэлтийн коэффициент: 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K, өндөр температурт боловсруулалтын үед хэмжээст тогтвортой байдлыг хангана.

4. Оптик шинж чанарууд
●Бандын зай: 3.26 эВ өргөн зурвасын зайтай тул өндөр хүчдэл болон температурт ажиллах боломжтой.
●Тунглаг байдал: Хэт ягаан туяа болон харагдах долгионы уртад өндөр тунгалаг байдал нь оптоэлектроник туршилт хийхэд ашигтай.

5. Механик шинж чанарууд
●Хатуулаг: Мохсын 9-р шатлал, алмазын дараа ордог тул боловсруулалтын явцад бат бөх чанарыг хангадаг.
● Согогийн нягтрал:
o Макро согогийг хамгийн бага хэмжээнд хянаж, хуурамч зэрэглэлийн хэрэглээнд хангалттай чанарыг хангана.
●Хавтгай байдал: Хазайлттай жигд байдал

Параметр	Дэлгэрэнгүй мэдээлэл	Нэгж
Зэрэг	Хуурамч зэрэглэл
Диаметр	150.0 ± 0.5	mm
Ваферын чиглэл	Тэнхлэг дээр: <0001> ± 0.5°	зэрэг
Цахилгаан эсэргүүцэл	> 1E5	Ω·см
Анхдагч Хавтгай Чиглэл	{10-10} ± 5.0°	зэрэг
Анхдагч хавтгай урт	Ховил
Хагарал (Өндөр эрчимтэй гэрлийн үзлэг)	<3 мм радиаль	mm
Зургаан өнцөгт хавтан (Өндөр эрчимтэй гэрлийн үзлэг)	Хуримтлагдсан талбай ≤ 5%	%
Политипийн бүсүүд (Өндөр эрчимтэй гэрлийн үзлэг)	Хуримтлагдсан талбай ≤ 10%	%
Микро хоолойн нягтрал	< 50	см−2^-2−2
Ирмэгийн зүсэлт	3 ширхэг зөвшөөрөгдсөн, тус бүр нь ≤ 3 мм	mm
Тэмдэглэл	Зүсэх вафлийн зузаан < 1 мм, > 70% (хоёр үзүүрийг оруулаагүй) нь дээрх шаардлагыг хангасан

Аппликейшнүүд

1. Туршилтын загвар гаргах ба судалгаа
Хуурамч зэрэглэлийн 6 инчийн 4H-SiC гулдмай нь туршилтын загвар гаргах, судалгаа хийхэд тохиромжтой материал бөгөөд үйлдвэрлэгчид болон лабораториудад дараахь боломжийг олгодог:
●Химийн уурын тунадасжилт (CVD) эсвэл Физик уурын тунадасжилт (PVD)-д процессын параметрүүдийг туршина.
●Сийлбэр, өнгөлгөө, вафли зүсэх техникийг хөгжүүлж, сайжруулах.
●Үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн материал руу шилжихээсээ өмнө төхөөрөмжийн шинэ загваруудыг судлаарай.

2. Төхөөрөмжийн тохируулга ба туршилт
Хагас дулаалгын шинж чанар нь энэхүү гулдмайг дараахь зүйлд үнэлж баршгүй болгодог:
●Өндөр хүчин чадалтай болон өндөр давтамжтай төхөөрөмжийн цахилгаан шинж чанарыг үнэлэх, тохируулах.
● Туршилтын орчинд MOSFET, IGBT эсвэл диодын ажиллагааны нөхцлийг дуурайлган хийх.
●Хөгжлийн эхэн үе шатанд өндөр цэвэршилттэй субстратыг өртөг хэмнэлттэй орлуулагч болгон ашиглах.

3. Цахилгаан электроник
4H-SiC-ийн өндөр дулаан дамжуулалт болон өргөн зурвасын зайтай шинж чанарууд нь цахилгаан электроникийн салбарт үр ашигтай ажиллах боломжийг олгодог бөгөөд үүнд:
●Өндөр хүчдэлийн цахилгаан хангамж.
●Цахилгаан тээврийн хэрэгслийн (EV) инвертерүүд.
●Нарны инвертер болон салхин турбин зэрэг сэргээгдэх эрчим хүчний системүүд.

4. Радио давтамжийн (RF) хэрэглээ
4H-SiC-ийн диэлектрик алдагдал бага, электроны хөдөлгөөн өндөр тул дараах зүйлсэд тохиромжтой.
●Холбооны дэд бүтцэд RF өсгөгч болон транзисторууд.
●Агаарын сансар судлал болон батлан хамгаалахын хэрэглээнд зориулсан өндөр давтамжийн радарын системүүд.
●Шинээр гарч ирж буй 5G технологийн утасгүй сүлжээний бүрэлдэхүүн хэсгүүд.

5. Цацраг туяанд тэсвэртэй төхөөрөмжүүд
Цацраг туяанаас үүдэлтэй согогт тэсвэртэй тул хагас тусгаарлагч 4H-SiC нь дараахь зүйлд тохиромжтой.
●Сансрын хайгуулын тоног төхөөрөмж, түүний дотор хиймэл дагуулын электроник болон эрчим хүчний систем.
●Цөмийн хяналт болон хяналтын зориулалттай цацраг идэвхт бодисоор хатууруулсан электроник.
●Эрс тэс орчинд бат бөх чанар шаарддаг хамгаалалтын програмууд.

6. Оптоэлектроник
4H-SiC-ийн оптик тунгалаг байдал болон өргөн зурвасын зай нь үүнийг дараах зорилгоор ашиглах боломжийг олгодог:
●Хэт ягаан туяаны фотодетектор болон өндөр хүчин чадалтай LED гэрэл.
●Оптик бүрхүүл болон гадаргуугийн боловсруулалтыг турших.
●Дэвшилтэт мэдрэгчийн оптик эд ангиудын туршилтын загвар гаргах.

Хуурамч материалын давуу талууд

Зардлын үр ашиг:
Хуурамч зэрэг нь судалгааны эсвэл үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн материалын илүү хямд хувилбар тул ердийн туршилт, процессыг боловсронгуй болгоход тохиромжтой.

Тохируулж болох байдал:
Тохируулах боломжтой хэмжээсүүд болон талстын чиглэлүүд нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй нийцтэй байдлыг хангадаг.

Өргөтгөх боломжтой байдал:
6 инчийн диаметр нь салбарын стандартад нийцсэн тул үйлдвэрлэлийн түвшний процессуудад жигд өргөжүүлэх боломжийг олгодог.

Бат бөх чанар:
Өндөр механик бат бөх чанар болон дулааны тогтвортой байдал нь янз бүрийн туршилтын нөхцөлд гулдмайг бат бөх, найдвартай болгодог.

Олон талт байдал:
Эрчим хүчний системээс эхлээд харилцаа холбоо, оптоэлектроник хүртэл олон салбарт тохиромжтой.

Дүгнэлт

6 инчийн цахиурын карбид (4H-SiC) хагас дулаалгатай гулдмай нь дэвшилтэт технологийн салбарт судалгаа, туршилтын загвар гаргах, туршилт хийхэд найдвартай, олон талын платформ юм. Түүний онцгой дулааны, цахилгааны болон механик шинж чанарууд нь боломжийн үнэ болон тохируулга хийх боломжтой байдалтай хосолсноор эрдэм шинжилгээний болон үйлдвэрлэлийн аль алинд нь зайлшгүй шаардлагатай материал болдог. Цахилгаан электроникоос эхлээд радио давтамжийн систем болон цацраг туяагаар хатуурсан төхөөрөмж хүртэл энэхүү гулдмай нь хөгжлийн бүх үе шатанд инновацийг дэмждэг.
Илүү дэлгэрэнгүй тодорхойлолт авах эсвэл үнийн санал авахыг хүсвэл бидэнтэй шууд холбогдоно уу. Манай техникийн баг таны шаардлагад нийцүүлэн захиалгат шийдлүүдийг гаргахад бэлэн байна.