4 инчийн цахиур хавтан FZ CZ N-Type DSP эсвэл SSP Туршилтын зэрэг
Өрөөний хайрцгийн танилцуулга
Цахиур хавтан нь өнөөгийн өсөн нэмэгдэж буй технологийн салбарын салшгүй хэсэг юм. Хагас дамжуулагч материалын зах зээл нь олон тооны шинэ нэгдсэн хэлхээний төхөөрөмжийг үйлдвэрлэхийн тулд нарийн үзүүлэлт бүхий цахиур хавтан шаарддаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өртөг нэмэгдэхийн хэрээр цахиур хавтан гэх мэт үйлдвэрлэлийн материалын өртөг нэмэгдэж байгааг бид хүлээн зөвшөөрч байна. Бид хэрэглэгчдэдээ хүргэж буй бүтээгдэхүүний чанар, зардлын үр ашгийн чухлыг ойлгодог. Бид зардал хэмнэлттэй, тогтвортой чанартай өргүүрийг санал болгож байна. Бид голчлон цахиур хавтан ба ембүү (CZ), эпитаксиаль хавтан, SOI хавтан үйлдвэрлэдэг.
Диаметр | Диаметр | Өнгөлсөн | Допингтой | Баримтлал | Эсэргүүцэл/Ω.см | Зузаан / um |
2 инч | 50.8±0.5мм | SSP DSP | P/N | 100 | 1-20 | 200-500 |
3 инч | 76.2±0.5мм | SSP DSP | P/B | 100 | NA | 525±20 |
4 инч | 101.6±0.2 101.6±0.3 101.6±0.4 | SSP DSP | P/N | 100 | 0.001-10 | 200-2000 |
6 инч | 152.5±0.3 | SSPDSP | P/N | 100 | 1-10 | 500-650 |
8 инч | 200±0.3 | DSPSSP | P/N | 100 | 0.1-20 | 625 |
Цахиур ялтсын хэрэглээ
Субстрат: PECVD/LPCVD бүрэх, магнетрон цацах
Субстрат: XRD, SEM, атомын хүчний хэт улаан туяаны спектроскопи, дамжуулагч электрон микроскопи, флюресценцийн спектроскопи болон бусад аналитик туршилтууд, молекулын цацрагийн эпитаксиаль өсөлт, болор бичил бүтцийн боловсруулалтын рентген шинжилгээ: сийлбэр, холбох, MEMS төхөөрөмж, цахилгаан төхөөрөмж, MOS төхөөрөмж болон бусад боловсруулах
2010 оноос хойш Шанхай XKH Материал Тех. Co.,Ltd нь хэрэглэгчдэд дибаг хийх түвшний өргүүр, дамми өрмөнцөр, туршилтын түвшний вафель, бүтээгдэхүүний түвшний нимгэн талст ялтсууд, Prime Wafer, мөн тусгай өрөм, оксид өрөм, исэлдүүлэгч оксид зэрэг иж бүрэн шийдлүүдийг хэрэглэгчдэд хүргэхээр зорьж ирсэн. 50мм-300мм хэмжээтэй нитрит өрөм, Si3N4, Хөнгөн цагаан хавтан, Зэсээр бүрсэн цахиур хавтан, SOI Wafer, MEMS Glass шил, захиалгат хэт зузаан, хэт хавтгай өргүүр гэх мэт 50 мм-ээс 300 мм-ийн хэмжээтэй хагас дамжуулагч өргүүрийг нэг талт хавтангаар хангах боломжтой. /хоёр талт өнгөлгөө, сийрэгжүүлэх, шоо зүсэх, MEMS болон бусад боловсруулах, тохируулах үйлчилгээ.