4 инчийн цахиурын нимгэн талст FZ CZ N хэлбэрийн DSP эсвэл SSP туршилтын зэрэг

4 инчийн силикон нимгэн хавтан FZ CZ N хэлбэрийн DSP эсвэл SSP Туршилтын зэрэг Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Цахиурын хавтангууд нь дан талст цахиураар хайчилж авсан нимгэн хуудас юм. Цахиурын хавтангууд нь 2 инч, 3 инч, 4 инч, 6 инч, 8 инчийн диаметртэй байдаг бөгөөд голчлон интеграл хэлхээ үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг. Цахиурын хавтангууд нь зөвхөн түүхий эд, чипүүд нь эцсийн бүтээгдэхүүн юм. Цахиурын хавтангууд нь интеграл хэлхээ хийхэд чухал материал бөгөөд янз бүрийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг цахиурын хавтангууд дээр фотолитографи, ион суулгацаар хийж болно.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Вафли хайрцагны танилцуулга

Цахиурын вафли нь өнөөгийн өсөн нэмэгдэж буй технологийн салбарын салшгүй хэсэг юм. Хагас дамжуулагч материалын зах зээл нь олон тооны шинэ интеграл хэлхээний төхөөрөмж үйлдвэрлэхийн тулд нарийн үзүүлэлттэй цахиурын вафли шаарддаг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өртөг нэмэгдэхийн хэрээр цахиурын вафли гэх мэт үйлдвэрлэлийн материалын өртөг ч мөн нэмэгддэг гэдгийг бид хүлээн зөвшөөрч байна. Бид үйлчлүүлэгчиддээ нийлүүлдэг бүтээгдэхүүний чанар, өртгийн үр ашгийн ач холбогдлыг ойлгодог. Бид өртөг хэмнэлттэй, тогтвортой чанартай вафли санал болгодог. Бид голчлон цахиурын вафли болон гулдмай (CZ), эпитаксиаль вафли, SOI вафли үйлдвэрлэдэг.

Диаметр	Диаметр	Өнгөлсөн	Доп хэрэглэсэн	Чиглэл	Эсэргүүцэл/Ω.cm	Зузаан/мм
2 инч	50.8±0.5мм	SSP DSP	P/N	100	1-20	200-500
3 инч	76.2±0.5мм	SSP DSP	P/B	100	NA	525±20
4 инч	101.6±0.2 101.6±0.3 101.6±0.4	SSP DSP	P/N	100	0.001-10	200-2000
6 инч	152.5±0.3	SSPDSP	P/N	100	1-10	500-650
8 инч	200±0.3	DSPSSP	P/N	100	0.1-20	625

Цахиурын вафлины хэрэглээ

Суурь: PECVD/LPCVD бүрхүүл, магнетрон цацалт

Субстрат: XRD, SEM, атомын хүчний хэт улаан туяаны спектроскопи, дамжуулалтын электрон микроскоп, флуоресценцийн спектроскопи болон бусад аналитик туршилтууд, молекулын цацрагийн эпитаксиал өсөлт, талстын бичил бүтцийн рентген шинжилгээ боловсруулалт: сийлбэр, холбоо, MEMS төхөөрөмж, цахилгаан төхөөрөмж, MOS төхөөрөмж болон бусад боловсруулалт

2010 оноос хойш Шанхай XKH Material Tech. ХХК нь үйлчлүүлэгчдэдээ 4 инчийн цахиурын вафлийн цогц шийдлүүдийг санал болгож байна. Үүнд дибаг хийх түвшний вафли Dummy Wafer, туршилтын түвшний вафли Test Wafer, бүтээгдэхүүний түвшний Prime Wafer, мөн тусгай вафли, Oxide Oxide Isol вафли, Si3N4 Nitride вафли, хөнгөн цагаан бүрсэн вафли, зэс бүрсэн цахиурын вафли, SOI вафли, MEMS Glass, захиалгат хэт зузаан болон хэт хавтгай вафли гэх мэт 50мм-300мм хэмжээтэй, нэг талт/хоёр талт өнгөлгөө, нимгэрүүлэх, жижиглэх, MEMS болон бусад боловсруулалт, тохируулгын үйлчилгээ багтаж байна.