4H/6H-P 6 инчийн SiC хавтан Тэг MPD зэрэглэлийн Үйлдвэрлэлийн зэрэгтэй дамми зэрэг

4H/6H-P 6 инчийн SiC вафель Тэг MPD зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн зэрэг дамми зэрэглэлийн Онцлох зураг

Богино тайлбар:

4H/6H-P төрлийн 6 инчийн SiC хавтанцар нь маш сайн дулаан дамжуулалт, эвдрэлийн өндөр хүчдэл, өндөр температур, зэврэлтэнд тэсвэртэй гэдгээрээ алдартай электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг хагас дамжуулагч материал юм. Үйлдвэрлэлийн түвшний болон Zero MPD (Micro Pipe Defect) зэрэг нь өндөр хүчин чадалтай цахилгаан хэрэгсэлд найдвартай, тогтвортой байдлыг хангадаг. Үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн хавтангуудыг чанарын хатуу хяналттай томоохон хэмжээний төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг бол дамми зэрэглэлийн өрөмийг голчлон процессын алдаа засах, тоног төхөөрөмжийн туршилт хийхэд ашигладаг. SiC-ийн гайхалтай шинж чанарууд нь үүнийг өндөр температур, өндөр хүчдэл, өндөр давтамжийн электрон төхөөрөмж, тухайлбал цахилгаан төхөөрөмж, RF төхөөрөмж зэрэгт өргөнөөр ашигладаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

4H/6H-P Type SiC Composite Substrates Нийтлэг параметрийн хүснэгт

6 инч диаметртэй Цахиурын карбид (SiC) субстрат Тодорхойлолт

Зэрэг			Тэг MPD үйлдвэрлэлАнги (З зэрэг)	Стандарт үйлдвэрлэлЗэрэг (П зэрэг)	Дамми зэрэглэл (D зэрэг)
Диаметр			145.5 мм~150.0 мм
Зузаан			350 мкм ± 25 мкм
Өрөөний баримжаа			-Offтэнхлэг: 4H/6H-P-д 2.0°-4.0° [1120] ± 0.5°, Тэнхлэг дээр: 3C-N-д 〈111〉± 0.5°
Микро хоолойн нягтрал			0 см-2
Эсэргүүцэл	p-төрөл 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏсм		≤0.3 Ωꞏсм
	n-төрөл 3C-N		≤0.8 мΩꞏсм		≤1 м Ωꞏсм
Анхан шатны хавтгай чиг баримжаа		4H/6H-P	-{1010} ± 5.0°
		3С-Н	-{110} ± 5.0°
Үндсэн хавтгай урт			32.5 мм ± 2.0 мм
Хоёрдогч хавтгай урт			18.0 мм ± 2.0 мм
Хоёрдогч хавтгай чиг баримжаа			Цахиур дээшээ: 90° CW. Prime flat-аас ± 5.0°
Ирмэгийг хасах			3 мм		6 мм
LTV/TTV/Нум /Warp			≤2.5 μм/≤5 μм/≤15 μм/≤30 μм		≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Барзгар байдал			Польшийн Ra≤1 нм
			CMP Ra≤0.2 нм		Ra≤0.5 нм
Өндөр эрчимтэй гэрлээр ирмэгийн хагарал			Байхгүй		Хуримтлагдсан урт ≤ 10 мм, нэг урт≤2 мм
Өндөр эрчимтэй гэрлээр зургаан өнцөгт хавтангууд			Хуримтлагдсан талбай ≤0.05%		Хуримтлагдсан талбай ≤0.1%
Өндөр эрчимтэй гэрлээр олон төрлийн талбайнууд			Байхгүй		Хуримтлагдсан талбай≤3%
Харагдах нүүрстөрөгчийн орц			Хуримтлагдсан талбай ≤0.05%		Хуримтлагдсан талбай ≤3%
Өндөр эрчимтэй гэрлээр цахиурын гадаргуу зураас			Байхгүй		Хуримтлагдсан урт≤1 × өрлөгийн диаметр
Ирмэгийн чипс өндөр эрчимтэй гэрлээр			≥0.2мм өргөн ба гүнийг зөвшөөрөхгүй		5 зөвшөөрөгдөх, тус бүр ≤1 мм
Өндөр эрчимтэй цахиурын гадаргуугийн бохирдол			Байхгүй
Сав баглаа боодол			Олон талт өрөмтэй кассет эсвэл нэг ваффер сав

Тэмдэглэл:

※ Согогуудын хязгаар нь ирмэгээс хасагдсан хэсгээс бусад бүхэл талст ялтсын гадаргууд хамаарна. # Си нүүрэн дээрх зураасыг шалгах хэрэгтэй

4H/6H-P төрлийн 6 инчийн SiC хавтан нь Zero MPD зэрэгтэй, үйлдвэрлэлийн эсвэл дамми зэрэглэлийн дэвшилтэт цахим хэрэглээнд өргөн хэрэглэгддэг. Маш сайн дулаан дамжуулалт, эвдрэлийн өндөр хүчдэл, хатуу ширүүн орчинд тэсвэрлэх чадвар нь өндөр хүчдэлийн унтраалга, инвертер зэрэг цахилгаан эрчим хүчний электроникийн хувьд тохиромжтой. Zero MPD зэрэг нь өндөр найдвартай төхөөрөмжүүдэд чухал ач холбогдолтой хамгийн бага согогийг баталгаажуулдаг. Үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн ялтсуудыг эрчим хүчний төхөөрөмж болон RF-ийн хэрэглээнд өргөн цар хүрээтэй үйлдвэрлэлд ашигладаг бөгөөд гүйцэтгэл, нарийвчлал нь чухал байдаг. Нөгөөтэйгүүр, дамми зэрэглэлийн ялтсуудыг процесс тохируулга, тоног төхөөрөмжийн туршилт, загварчлал хийхэд ашигладаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчинд чанарын тогтвортой хяналтыг бий болгодог.

N-төрлийн SiC нийлмэл субстратын давуу талууд орно

Өндөр дулаан дамжуулалт: 4H/6H-P SiC хавтан нь дулааныг үр ашигтайгаар тараадаг тул өндөр температур, өндөр хүчин чадалтай цахим хэрэглээнд тохиромжтой.
Өндөр эвдрэлийн хүчдэл: Өндөр хүчдэлийг ямар ч гэмтэлгүйгээр зохицуулах чадвар нь цахилгаан эрчим хүчний электроник болон өндөр хүчдэлийн сэлгэн залгахад тохиромжтой.
Тэг MPD (Бичил хоолойн гэмтэл) зэрэг: Хамгийн бага согогийн нягтрал нь өндөр найдвартай ажиллагаа, гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг бөгөөд энэ нь эрэлт хэрэгцээтэй электрон төхөөрөмжүүдэд чухал ач холбогдолтой юм.
Масс үйлдвэрлэлд зориулагдсан үйлдвэрлэлийн зэрэг: Чанарын хатуу стандарт бүхий өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг их хэмжээгээр үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
Туршилт, тохируулгын дамми зэрэглэл: Үйлдвэрлэлийн өндөр өртөгтэй хавтан ашиглахгүйгээр процессыг оновчтой болгох, тоног төхөөрөмжийн туршилт, загварчлалыг идэвхжүүлдэг.

Ерөнхийдөө 4H/6H-P 6 инчийн SiC хавтан нь Zero MPD, үйлдвэрлэлийн зэрэг, дамми зэрэг нь өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжүүдийг хөгжүүлэхэд ихээхэн давуу талыг бий болгодог. Эдгээр ялтсууд нь өндөр температурт ажиллах, эрчим хүчний өндөр нягтрал, эрчим хүчний үр ашигтай хувиргалтыг шаарддаг програмуудад ялангуяа ашигтай байдаг. Zero MPD зэрэг нь төхөөрөмжийн найдвартай, тогтвортой ажиллагааг хангахын тулд хамгийн бага согогийг хангадаг бол үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн хавтан нь чанарын хатуу хяналттай томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлийг дэмждэг. Дамми зэрэглэлийн ялтсууд нь процессыг оновчтой болгох, тоног төхөөрөмжийн шалгалт тохируулга хийхэд хэмнэлттэй шийдлийг бий болгож, өндөр нарийвчлалтай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.