3 инчийн SiC субстрат үйлдвэрлэл Dia76.2mm 4H-N

3 инчийн цахиурын карбидын мосфет өргүүрийн үндсэн шинж чанарууд нь дараах байдалтай байна;

Цахиурын карбид (SiC) нь өндөр дулаан дамжуулалт, электронуудын хөдөлгөөн ихтэй, задралын цахилгаан талбайн хүч чадал зэргээрээ онцлогтой, өргөн зурвасын хагас дамжуулагч материал юм. Эдгээр шинж чанарууд нь SiC хавтангуудыг өндөр хүчин чадал, өндөр давтамж, өндөр температурт ашиглахад онцгой болгодог. Ялангуяа 4H-SiC политипт түүний болор бүтэц нь электроникийн маш сайн гүйцэтгэлийг хангадаг тул цахилгаан эрчим хүчний электрон төхөөрөмжүүдийн сонголт болдог.

3 инчийн цахиурын карбидын 4H-N хавтан нь N төрлийн цахилгаан дамжуулах чанар бүхий азотоор баяжуулсан хавтан юм. Энэхүү допингийн арга нь вафельд илүү их электрон концентрацийг өгч, улмаар төхөөрөмжийн дамжуулалтын ажиллагааг сайжруулдаг. 3 инч (диаметр нь 76.2 мм) хэмжээтэй вафрайны хэмжээ нь янз бүрийн үйлдвэрлэлийн процесст тохиромжтой, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг хэмжээс юм.

3 инчийн цахиурын карбид 4H-N хавтанцар нь физик уурын тээвэрлэлт (PVT) аргыг ашиглан үйлдвэрлэгддэг. Энэ процесс нь SiC нунтагыг өндөр температурт дан талст болгон хувиргаж, талст чанарын болон ваферийн жигд байдлыг баталгаажуулдаг. Нэмж дурдахад, вафельний зузаан нь ихэвчлэн 0.35 мм орчим байдаг бөгөөд түүний гадаргуу нь маш өндөр тэгш, гөлгөр байдлыг бий болгохын тулд хоёр талт өнгөлгөөнд өртдөг бөгөөд энэ нь дараагийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

3 инчийн цахиурын карбидын 4H-N хавтангийн хэрэглээний хүрээ өргөн бөгөөд үүнд өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмж, өндөр температур мэдрэгч, RF төхөөрөмж, оптоэлектроник төхөөрөмж орно. Маш сайн гүйцэтгэл, найдвартай байдал нь эдгээр төхөөрөмжүүдийг эрс тэс нөхцөлд тогтвортой ажиллуулах боломжийг олгодог бөгөөд орчин үеийн электроникийн үйлдвэрлэлийн өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч материалын эрэлт хэрэгцээг хангадаг.

Бид 4H-N 3 инчийн SiC субстрат, янз бүрийн зэрэглэлийн субстратын вафлигаар хангаж чадна. Бид мөн таны хэрэгцээнд нийцүүлэн тохируулах боломжтой. Асуулга тавтай морилно уу!