3 инчийн өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч (HPSI)SiC өрмөнцөр 350um дамми зэрэглэлийн үндсэн зэрэг
Өргөдөл
HPSI SiC хавтангууд нь төрөл бүрийн өндөр хүчин чадалтай хэрэглээнд ашиглагддаг дараагийн үеийн цахилгаан төхөөрөмжүүдийг идэвхжүүлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Эрчим хүч хувиргах систем: SiC хавтан нь цахилгаан хэлхээн дэх эрчим хүчийг үр ашигтай хувиргахад чухал ач холбогдолтой MOSFET, диод, IGBT гэх мэт тэжээлийн төхөөрөмжүүдийн үндсэн материал болдог. Эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь өндөр үр ашигтай цахилгаан хангамж, мотор хөтчүүд, үйлдвэрлэлийн инвертерүүдээс олддог.
Цахилгаан тээврийн хэрэгсэл (EV):Цахилгаан тээврийн хэрэгслийн өсөн нэмэгдэж буй эрэлт хэрэгцээ нь илүү үр ашигтай цахилгаан хэрэгсэл ашиглах шаардлагатай болж байгаа бөгөөд SiC хавтан нь энэхүү өөрчлөлтийн тэргүүн эгнээнд явж байна. Цахилгаан хөдөлгүүрт эдгээр хавтан нь өндөр үр ашигтай, хурдан солих чадварыг хангадаг бөгөөд энэ нь илүү хурдан цэнэглэх хугацаа, урт зай, тээврийн хэрэгслийн гүйцэтгэлийг сайжруулахад хувь нэмэр оруулдаг.
Сэргээгдэх эрчим хүч:Нар, салхины эрчим хүч зэрэг сэргээгдэх эрчим хүчний системд SiC хавтангуудыг инвертер болон хувиргагчид ашигладаг бөгөөд энэ нь эрчим хүчийг илүү үр ашигтайгаар цуглуулах, түгээх боломжийг олгодог. SiC-ийн өндөр дулаан дамжуулалт ба эвдрэлийн дээд хүчдэл нь эдгээр системүүд байгаль орчны эрс тэс нөхцөлд ч найдвартай ажиллах боломжийг олгодог.
Аж үйлдвэрийн автоматжуулалт ба робот техник:Аж үйлдвэрийн автоматжуулалтын систем, робот техникийн өндөр хүчин чадалтай цахилгаан хэрэгсэлд хурдан шилжих, их хэмжээний эрчим хүчний ачааллыг зохицуулах, өндөр ачаалалтай ажиллах чадвартай төхөөрөмжүүд шаардлагатай. SiC-д суурилсан хагас дамжуулагч нь хатуу ширүүн орчинд ч өндөр үр ашигтай, бат бөх байдлыг хангаснаар эдгээр шаардлагыг хангадаг.
Харилцаа холбооны системүүд:Өндөр найдвартай, үр ашигтай эрчим хүчний хувиргалт чухал байдаг харилцаа холбооны дэд бүтцэд SiC хавтанцарыг цахилгаан хангамж болон DC-DC хувиргагчид ашигладаг. SiC төхөөрөмжүүд нь эрчим хүчний хэрэглээг бууруулж, дата төв болон холбооны сүлжээн дэх системийн ажиллагааг сайжруулахад тусалдаг.
HPSI SiC хавтан нь өндөр хүчин чадалтай хэрэглээний бат бөх суурийг бий болгосноор эрчим хүчний хэмнэлттэй төхөөрөмжүүдийг хөгжүүлэх боломжийг олгож, салбаруудыг илүү ногоон, илүү тогтвортой шийдэлд шилжүүлэхэд тусалдаг.
Үл хөдлөх хөрөнгө
үйл ажиллагаа | Үйлдвэрлэлийн зэрэг | Судалгааны зэрэг | Дамми зэрэглэл |
Диаметр | 75.0 мм ± 0.5 мм | 75.0 мм ± 0.5 мм | 75.0 мм ± 0.5 мм |
Зузаан | 350 мкм ± 25 мкм | 350 мкм ± 25 мкм | 350 мкм ± 25 мкм |
Өрөөний баримжаа | Тэнхлэг дээр: <0001> ± 0.5° | Тэнхлэг дээр: <0001> ± 2.0° | Тэнхлэг дээр: <0001> ± 2.0° |
Өрөөний 95%-д зориулсан бичил хоолойн нягтрал (MPD) | ≤ 1 см⁻² | ≤ 5 см⁻² | ≤ 15 см⁻² |
Цахилгаан эсэргүүцэл | ≥ 1E7 Ω·см | ≥ 1E6 Ом·см | ≥ 1E5 Ω·см |
Допант | Хориогүй | Хориогүй | Хориогүй |
Анхан шатны хавтгай чиг баримжаа | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° |
Үндсэн хавтгай урт | 32.5 мм ± 3.0 мм | 32.5 мм ± 3.0 мм | 32.5 мм ± 3.0 мм |
Хоёрдогч хавтгай урт | 18.0 мм ± 2.0 мм | 18.0 мм ± 2.0 мм | 18.0 мм ± 2.0 мм |
Хоёрдогч хавтгай чиг баримжаа | Si дээш харсан: үндсэн хавтгайгаас 90° CW ± 5.0° | Si дээш харсан: үндсэн хавтгайгаас 90° CW ± 5.0° | Si дээш харсан: үндсэн хавтгайгаас 90° CW ± 5.0° |
Ирмэгийг хасах | 3 мм | 3 мм | 3 мм |
LTV/TTV/Num/Warp | 3 мкм / 10 мкм / ±30 μм / 40 μм | 3 мкм / 10 мкм / ±30 μм / 40 μм | 5 µm / 15 µm / ±40 μm / 45 µm |
Гадаргуугийн барзгар байдал | C нүүр: Өнгөлсөн, Si нүүр: CMP | C нүүр: Өнгөлсөн, Si нүүр: CMP | C нүүр: Өнгөлсөн, Si нүүр: CMP |
Хагарал (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгана) | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
Hex хавтан (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | Байхгүй | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай 10% |
Политипийн талбай (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | Хуримтлагдсан талбай 5% | Хуримтлагдсан талбай 5% | Хуримтлагдсан талбай 10% |
Зураас (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | ≤ 5 зураас, хуримтлагдсан урт ≤ 150 мм | ≤ 10 зураас, хуримтлагдсан урт ≤ 200 мм | ≤ 10 зураас, хуримтлагдсан урт ≤ 200 мм |
Ирмэгийн зүсэлт | ≥ 0.5 мм өргөн ба гүнийг зөвшөөрөхгүй | 2 зөвшөөрөгдөх, ≤ 1 мм өргөн ба гүн | 5 зөвшөөрөгдөх, ≤ 5 мм өргөн ба гүн |
Гадаргуугийн бохирдол (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
Гол давуу тал
Дээд зэргийн дулааны гүйцэтгэл: SiC-ийн өндөр дулаан дамжуулалт нь эрчим хүчний төхөөрөмжүүдийн дулааныг үр ашигтайгаар тарааж, хэт халалтгүйгээр илүү өндөр чадлын түвшин, давтамжтайгаар ажиллах боломжийг олгодог. Энэ нь жижиг, илүү үр ашигтай систем, ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
Өндөр эвдрэлийн хүчдэл: Цахиуртай харьцуулахад илүү өргөн зурвасын зайтай, SiC хавтан нь өндөр хүчдэлийн хэрэглээг дэмждэг тул цахилгаан машин, цахилгаан эрчим хүчний систем, сэргээгдэх эрчим хүчний систем зэрэг өндөр эвдрэлийн хүчдэлийг тэсвэрлэх шаардлагатай цахилгаан эрчим хүчний электрон эд ангиудад тохиромжтой.
Эрчим хүчний алдагдлыг бууруулсан: SiC төхөөрөмжүүдийн бага эсэргүүцэл, хурдан шилжих хурд нь ашиглалтын явцад эрчим хүчний алдагдлыг бууруулдаг. Энэ нь зөвхөн үр ашгийг дээшлүүлж зогсохгүй тэдгээрийг ашиглаж байгаа системийн нийт эрчим хүчний хэмнэлтийг сайжруулдаг.
Хүчтэй орчинд найдвартай байдлыг нэмэгдүүлсэн: SiC-ийн бат бөх материалын шинж чанар нь өндөр температур (600 ° C хүртэл), өндөр хүчдэл, өндөр давтамж зэрэг эрс тэс нөхцөлд ажиллах боломжийг олгодог. Энэ нь SiC хавтангуудыг үйлдвэрлэл, автомашин, эрчим хүчний хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
Эрчим хүчний хэмнэлт: SiC төхөөрөмжүүд нь цахиурт суурилсан уламжлалт төхөөрөмжүүдээс илүү эрчим хүчний нягтралыг санал болгодог бөгөөд цахилгаан электрон системийн хэмжээ, жинг багасгаж, ерөнхий үр ашгийг нь сайжруулдаг. Энэ нь сэргээгдэх эрчим хүч, цахилгаан тээврийн хэрэгсэл зэрэг хэрэглээнд зардал хэмнэж, байгаль орчны ул мөрийг багасгахад хүргэдэг.
Өргөтгөх чадвар: HPSI SiC хавтангийн 3 инчийн диаметртэй, үйлдвэрлэлийн нарийн хүлцэл нь судалгааны болон арилжааны үйлдвэрлэлийн шаардлагыг хангаж, масс үйлдвэрлэлд өргөжүүлэх боломжтой болгодог.
Дүгнэлт
HPSI SiC хавтан нь 3 инчийн диаметртэй, 350 μм ± 25 μм зузаантай, өндөр хүчин чадалтай цахилгаан төхөөрөмжүүдийн дараагийн үеийн хамгийн оновчтой материал юм. Дулаан дамжуулалт, эвдрэлийн өндөр хүчдэл, эрчим хүчний алдагдал бага, эрс тэс нөхцөлд найдвартай байдлын өвөрмөц хослол нь түүнийг эрчим хүч хувиргах, сэргээгдэх эрчим хүч, цахилгаан машин, үйлдвэрлэлийн систем, харилцаа холбооны төрөл бүрийн хэрэглээнд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
Энэхүү SiC хавтан нь өндөр үр ашигтай, илүү их эрчим хүч хэмнэж, системийн найдвартай байдлыг сайжруулахыг эрэлхийлж буй үйлдвэрүүдэд ялангуяа тохиромжтой. Эрчим хүчний электроникийн технологи үргэлжлэн хөгжиж байгаа тул HPSI SiC хавтан нь шинэ үеийн, эрчим хүчний хэмнэлттэй шийдлүүдийг хөгжүүлэх үндэс суурь болж, илүү тогтвортой, нүүрстөрөгч багатай ирээдүйд шилжихэд түлхэц өгч байна.