GaN материалыг ургуулсан 2 инчийн 4 инчийн 6 инчийн хээтэй индранил субстрат (PSS)-ийг LED гэрэлтүүлэгт ашиглаж болно.

Товч тайлбар:

Хээтэй индранил суурь (PSS) нь индранил суурь дээр хуурай сийлбэр хийх зориулалттай маск бөгөөд маск дээр стандарт литографийн процессоор хээ сийлж, дараа нь индранил чулууг ICP сийлбэрийн технологиор сийлж, маскыг авч, эцэст нь GaN материалыг түүн дээр ургуулж, GaN материалын уртааш эпитакси нь хэвтээ эпитакси болдог. Энэ үйл явц нь фоторезист бүрхүүл, шаталсан өртөлт, өртөлтийн хэв маягийг хөгжүүлэх, ICP хуурай сийлбэр, цэвэрлэгээ зэрэг хэд хэдэн үе шатыг хамардаг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Үндсэн онцлогууд

1. Бүтцийн шинж чанарууд:
PSS гадаргуу нь эмх цэгцтэй конус эсвэл гурвалжин конус хэлбэртэй хээтэй бөгөөд хэлбэр, хэмжээ, тархалтыг сийлбэрийн процессын параметрүүдийг тохируулах замаар хянаж болно.
Эдгээр график бүтэц нь гэрлийн тархалтын замыг өөрчлөх, гэрлийн нийт ойлтыг бууруулахад тусалдаг бөгөөд ингэснээр гэрлийг ялгах үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.

2. Материалын шинж чанар:
PSS нь өндөр хатуулаг, өндөр дулаан дамжуулалт, сайн химийн тогтвортой байдал, оптик тунгалаг чанар зэрэг шинж чанартай өндөр чанартай индранил чулууг суурь материал болгон ашигладаг.
Эдгээр шинж чанарууд нь PSS-ийг өндөр температур, даралт зэрэг хатуу ширүүн орчинд тэсвэртэй байлгахын зэрэгцээ маш сайн оптик гүйцэтгэлийг хадгалах боломжийг олгодог.

3. Оптик гүйцэтгэл:
GaN болон индранил субстратын хоорондох интерфэйс дэх олон тархалтыг өөрчилснөөр PSS нь GaN давхарга дотор бүрэн туссан фотонуудыг индранил субстратаас гарах боломжийг олгодог.
Энэ функц нь LED-ийн гэрлийг ялгах үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, LED-ийн гэрэлтэлтийн эрчмийг нэмэгдүүлдэг.

4. Үйл явцын шинж чанарууд:
PSS-ийн үйлдвэрлэлийн процесс нь харьцангуй нарийн төвөгтэй бөгөөд литографи, сийлбэр зэрэг олон үе шатыг хамардаг бөгөөд өндөр нарийвчлалтай тоног төхөөрөмж, үйл явцын хяналтыг шаарддаг.
Гэсэн хэдий ч технологийн тасралтгүй дэвшил, зардлыг бууруулахын хэрээр PSS-ийн үйлдвэрлэлийн процесс аажмаар оновчтой болж, сайжирч байна.

Гол давуу тал

1. Гэрэл ялгаруулах үр ашгийг сайжруулах: PSS нь гэрлийн тархалтын замыг өөрчилж, нийт ойлтыг бууруулснаар LED-ийн гэрлийн ялгаруулах үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг.

2. LED-ийн ашиглалтын хугацааг уртасгах: PSS нь GaN эпитаксиал материалын дислокацийн нягтралыг бууруулж, улмаар идэвхтэй бүс дэх цацраг идэвхт бус рекомбинаци болон урвуу алдагдлын гүйдлийг бууруулж, LED-ийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

3. LED гэрлийн тод байдлыг сайжруулах: Гэрэл ялгаруулах үр ашгийг сайжруулж, LED-ийн ашиглалтын хугацааг уртасгаснаар PSS дээрх LED гэрлийн эрчим мэдэгдэхүйц нэмэгддэг.

4. Үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах: PSS-ийн үйлдвэрлэлийн процесс харьцангуй нарийн төвөгтэй боловч LED-ийн гэрэлтүүлгийн үр ашиг, ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц сайжруулж, улмаар үйлдвэрлэлийн зардлыг тодорхой хэмжээгээр бууруулж, бүтээгдэхүүний өрсөлдөх чадварыг сайжруулж чадна.

Үндсэн хэрэглээний чиглэлүүд

1. LED гэрэлтүүлэг: LED чипний суурь материал болох PSS нь LED-ийн гэрэлтэлтийн үр ашиг болон ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц сайжруулж чадна.
LED гэрэлтүүлгийн салбарт PSS нь гудамжны гэрэл, ширээний гэрэл, машины гэрэл гэх мэт янз бүрийн гэрэлтүүлгийн бүтээгдэхүүнд өргөн хэрэглэгддэг.

2. Хагас дамжуулагч төхөөрөмж: LED гэрэлтүүлгээс гадна PSS-ийг гэрэл мэдрэгч, лазер гэх мэт бусад хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашиглаж болно. Эдгээр төхөөрөмж нь харилцаа холбоо, анагаах ухаан, цэргийн болон бусад салбарт өргөн хүрээний хэрэглээтэй.

3. Оптоэлектроник интеграци: PSS-ийн оптик шинж чанар болон тогтвортой байдал нь оптоэлектроник интеграцийн салбарт хамгийн тохиромжтой материалуудын нэг болгодог. Оптоэлектроник интеграцид PSS-ийг оптик долгион хөтлүүр, оптик унтраалга болон бусад эд ангиудыг хийж, оптик дохио дамжуулах, боловсруулахад ашиглаж болно.

Техникийн үзүүлэлтүүд

Зүйл	Хээтэй индранил субстрат (2~6 инч)
Диаметр	50.8 ± 0.1 мм	100.0 ± 0.2 мм	150.0 ± 0.3 мм
Зузаан	430 ± 25μm	650 ± 25μm	1000 ± 25μm
Гадаргуугийн чиглэл	C хавтгай (0001) нь М тэнхлэг рүү чиглэсэн өнцөг (10-10) 0.2 ± 0.1°
	C хавтгай (0001) А тэнхлэг рүү чиглэсэн өнцөг (11-20) 0 ± 0.1°
Анхдагч Хавтгай Чиглэл	А хэлбэрийн хавтгай (11-20) ± 1.0°
Анхдагч хавтгай урт	16.0 ± 1.0 мм	30.0 ± 1.0 мм	47.5 ± 2.0 мм
R-хавтгай	9 цаг
Урд талын гадаргуугийн өнгөлгөө	Хээтэй
Арын гадаргуугийн өнгөлгөө	SSP: Нарийн нунтагласан, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi өнгөлсөн, Ra<0.3nm
Лазерын тэмдэглэгээ	Ар тал
TTV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
БУМ	≤10μm	≤15μm	≤25μm
WARP	≤12μm	≤20μm	≤30μm
Ирмэгийн хасалт	≤2 мм
Хээ тодорхойлолт	Хэлбэрийн бүтэц	Бөмбөгөр, Конус, Пирамид
	Хээний өндөр	1.6~1.8μm
	Хээний диаметр	2.75~2.85μm
	Хээний орон зай	0.1~0.3μm

XKH нь хээтэй индранил суурь (PSS)-ийг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэх, борлуулах чиглэлээр мэргэшсэн бөгөөд дэлхий даяарх хэрэглэгчдэд өндөр чанартай, өндөр хүчин чадалтай PSS бүтээгдэхүүн нийлүүлэх үүрэг хүлээдэг. XKH нь дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн технологи, мэргэжлийн техникийн багтай бөгөөд PSS бүтээгдэхүүнийг хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн өөр өөр үзүүлэлт, өөр өөр хэв маягийн бүтэцтэй болгож өөрчлөх боломжтой. Үүний зэрэгцээ XKH нь бүтээгдэхүүний чанар, үйлчилгээний чанарт анхаарлаа хандуулж, хэрэглэгчдэд бүрэн хэмжээний техникийн дэмжлэг, шийдлүүдийг үзүүлэх үүрэг хүлээдэг. PSS-ийн салбарт XKH нь баялаг туршлага, давуу талыг хуримтлуулсан бөгөөд LED гэрэлтүүлэг, хагас дамжуулагч төхөөрөмж болон бусад салбарын инновацийн хөгжлийг хамтран дэмжихийн тулд дэлхийн түншүүдтэй хамтран ажиллахыг тэсэн ядан хүлээж байна.