SiC керамик тавиурын төгсгөлийн эффектийн вафель нь захиалгаар хийсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдтэй харьцдаг
SiC керамик ба хөнгөн цагаан керамикийн захиалгат бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн товч мэдээлэл
Цахиурын карбид (SiC) керамик захиалгат бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Цахиурын карбид (SiC) керамикийн захиалгат эд ангиуд нь өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлийн керамик материал юм.маш өндөр хатуулаг, маш сайн дулааны тогтвортой байдал, онцгой зэврэлтэнд тэсвэртэй, өндөр дулаан дамжуулалт. Цахиурын карбид (SiC) керамик тусгай бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь бүтцийн тогтвортой байдлыг хадгалах боломжийг олгодогхүчтэй хүчил, шүлт, хайлсан металлын элэгдэлд тэсвэртэй өндөр температурт орчинд. зэрэг процессоор SiC керамик үйлдвэрлэдэгдаралтгүй агломержуулалт, урвалын агломержуулалт, эсвэл халуун даралтаар шингэлэхмеханик битүүмжлэх цагираг, босоо амны ханцуй, хушуу, зуухны хоолой, вафель завь, элэгдэлд тэсвэртэй доторлогооны хавтан зэрэг нарийн төвөгтэй хэлбэрт тохируулж болно.
Хөнгөн цагааны керамик захиалгат бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) керамик захиалгат бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг онцлон тэмдэглэвөндөр тусгаарлагч, сайн механик бат бөх, элэгдэлд тэсвэртэй. Цэвэр байдлын зэрэглэлээр (жишээ нь: 95%, 99%) ангилсан, хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) керамикийн захиалгат эд ангиуд нь нарийн боловсруулалт хийж, тэдгээрийг тусгаарлагч, холхивч, зүсэх хэрэгсэл, эмнэлгийн суулгац болгон урлах боломжийг олгодог. Хөнгөн цагааны керамикийг үндсэндээ дамжуулан үйлдвэрлэдэгхуурай шахах, шахах хэлбэр, эсвэл изостатик шахах үйл явц, гадаргуу нь толин тусгал хүртэл өнгөлдөг.
XKH нь R&D болон захиалгаар үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэнцахиурын карбид (SiC) ба хөнгөн цагаан (Al₂O₃) керамик. SiC керамик бүтээгдэхүүнүүд нь өндөр температурт, элэгдэлд тэсвэртэй, идэмхий орчинд төвлөрч, хагас дамжуулагчийн хэрэглээ (жишээ нь, өрлөгийн завь, консол сэлүүр, зуухны хоолой), түүнчлэн дулааны талбайн бүрэлдэхүүн хэсгүүд, эрчим хүчний шинэ салбаруудад зориулсан өндөр чанартай лацыг хамардаг. Хөнгөн цагааны керамик бүтээгдэхүүн нь электрон субстрат, механик битүүмжлэлийн цагираг, эмнэлгийн суулгац зэрэг тусгаарлагч, битүүмжлэл, биоанагаахын шинж чанарыг онцолдог. зэрэг технологиудыг ашиглахизостатик шахалт, даралтгүй агломержуулалт, нарийн боловсруулалт, бид хагас дамжуулагч, фотоволтайк, сансар судлал, анагаах ухаан, химийн боловсруулалт зэрэг салбаруудад тохируулсан өндөр хүчин чадалтай шийдлүүдийг гаргаж, бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг эрс тэс нөхцөлд нарийвчлал, урт наслалт, найдвартай байдлын хатуу шаардлагыг хангадаг.
SiC керамик функциональ чакс ба CMP нунтаглах дискний танилцуулга
SiC керамик вакуум сав
Цахиурын карбид (SiC) керамик вакуум чакс нь өндөр үзүүлэлттэй цахиур карбид (SiC) керамик материалаар хийгдсэн өндөр нарийвчлалтай шингээх хэрэгсэл юм. Эдгээр нь хагас дамжуулагч, фотоволтайк, нарийн үйлдвэрлэлийн зэрэг маш цэвэр, тогтвортой байдлыг шаарддаг хэрэглээнд зориулагдсан болно. Тэдний гол давуу талууд нь: толин тусгал түвшний өнгөлсөн гадаргуу (хавтгай байдал нь 0.3-0.5 μм дотор хянагддаг), хэт өндөр хөшүүн чанар, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент (нано түвшний хэлбэр, байрлалын тогтвортой байдлыг хангадаг), маш хөнгөн бүтэцтэй (хөдөлгөөний эсэргүүцлийг мэдэгдэхүйц бууруулдаг), (Mohs хатуулаг нь 9.5 хүртэл, металл патронуудын ашиглалтын хугацаанаас хол давсан) . Эдгээр шинж чанарууд нь өндөр ба бага температур, хүчтэй зэврэлт, өндөр хурдтай харьцах орчинд тогтвортой ажиллах боломжийг олгож, вафель болон оптик элементүүд зэрэг нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн боловсруулалтын гарц, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг эрс сайжруулдаг.
Хэмжил зүй, хяналтын зориулалттай цахиурын карбид (SiC) овойлттой вакуум чак
Өргөст хальсны согогийг шалгах процесст зориулагдсан бөгөөд өндөр нарийвчлалтай шингээх хэрэгсэл нь цахиурын карбид (SiC) керамик материалаар хийгдсэн. Түүний өвөрмөц гадаргуугийн овойлт бүтэц нь вакуум шингээх хүчийг өгч, вакуумтай харьцах хэсгийг багасгаж, хавтангийн гадаргууг гэмтээх, бохирдуулахаас сэргийлж, шалгалтын явцад тогтвортой байдал, нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Чак нь онцгой тэгш байдал (0.3-0.5 мкм) ба толин тусгал өнгөлсөн гадаргуутай бөгөөд өндөр хурдны хөдөлгөөний үед тогтвортой байдлыг хангахын тулд хэт хөнгөн жинтэй, өндөр хөшүүн чанартай хослуулсан. Түүний дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент нь температурын хэлбэлзэлд хэмжээсийн тогтвортой байдлыг баталгаажуулдаг бол элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь үйлчилгээний хугацааг уртасгадаг. Энэхүү бүтээгдэхүүн нь янз бүрийн хэмжээтэй валютын хяналтын хэрэгцээг хангахын тулд 6, 8, 12 инчийн техникийн үзүүлэлтүүдэд тохируулгыг дэмждэг.
Flip Chip Bonding Chuck
Flip чип холбох чак нь өндөр хурдтай, өндөр нарийвчлалтай холбох үйл ажиллагааны явцад тогтвортой байдлыг хангахын тулд өрөмийг нарийн шингээхэд зориулагдсан, чиптэй чип холбох процессын үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь толин тусгалаар өнгөлсөн гадаргуу (хавтгай/зэрэгцээ байдал ≤1 μм) ба нарийн хийн сувгийн ховилтой бөгөөд вакуум шингээх хүчийг жигд болгож, хавтанцар шилжилт, эвдрэлээс сэргийлдэг. Түүний өндөр хөшүүн чанар, хэт бага дулааны тэлэлтийн коэффициент (цахиур материалтай ойролцоо) нь өндөр температурт наалддаг орчинд хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хангадаг бол өндөр нягтралтай материал (жишээлбэл, цахиурын карбид эсвэл тусгай керамик) нь хий нэвчихээс үр дүнтэй сэргийлж, вакуумыг удаан хугацаанд хадгалдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь микроны түвшний холболтын нарийвчлалыг хамтдаа дэмжиж, чипний савлагааны гарцыг ихээхэн нэмэгдүүлдэг.
SiC холбох Чак
Цахиурын карбид (SiC) холбох патрон нь чип холбох процессын үндсэн бэхэлгээ бөгөөд өрөмийг нарийн шингээж, бэхлэх зориулалттай бөгөөд өндөр температур, өндөр даралтын нөхцөлд хэт тогтвортой ажиллагааг хангадаг. Өндөр нягтралтай цахиур карбидын керамикаар (сүвэрхэг чанар <0.1%) үйлдвэрлэсэн, нанометрийн түвшний толин тусгал өнгөлгөө (гадаргуугийн барзгар байдал Ra<0.1 мкм) ба хийн сувгийн нарийн ховилын диаметр буюу сүвэрхэг нүхжилт:μ гадаргуугийн гэмтэл. Түүний дулааны тэлэлтийн хэт бага коэффициент (4.5×10⁻⁶/℃) нь цахиур хавтантай яг таарч, дулааны стрессээс үүдэлтэй эвдрэлийг багасгадаг. Өндөр хөшүүн чанар (уян уян хатан модуль >400 GPa) ба ≤1 μм тэгш байдал/параллелизмтэй хослуулсан нь холболтын тэгш байдлын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Хагас дамжуулагч сав баглаа боодол, 3D овоолго, чиплет интеграцчилалд өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд нано хэмжээст нарийвчлал, дулааны тогтвортой байдлыг шаарддаг өндөр чанартай үйлдвэрлэлийн програмуудыг дэмждэг.
CMP нунтаглах диск
CMP нунтаглах диск нь химийн механик өнгөлгөөний (CMP) төхөөрөмжийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд өндөр хурдны өнгөлгөөний явцад өрөмийг найдвартай барьж, тогтворжуулах зорилгоор тусгайлан бүтээгдсэн бөгөөд нанометрийн түвшний дэлхийн хавтгайжилтыг идэвхжүүлдэг. Өндөр хатуулагтай, өндөр нягтралтай материалаар (жишээлбэл, цахиурын карбидын керамик эсвэл тусгай хайлш) бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь нарийн боловсруулсан хийн сувгийн ховилоор жигд вакуум шингээх боломжийг олгодог. Түүний толин тусгалаар өнгөлсөн гадаргуу (хавтгай байдал / параллелизм ≤3 мкм) нь вафельтай стрессгүй харьцах боломжийг олгодог бөгөөд дулааны тэлэлтийн хэт бага коэффициент (цахиурт тохирсон) болон дотоод хөргөлтийн суваг нь дулааны хэв гажилтыг үр дүнтэй дардаг. 12 инчийн (750 мм-ийн диаметртэй) ялтсан хавтантай нийцтэй, уг диск нь өндөр температур, даралтын дор олон давхаргат бүтцийг тасралтгүй нэгтгэх, урт хугацааны найдвартай байдлыг хангахын тулд диффузийн холболтын технологийг хөшүүрэг болгож, CMP процессын жигд байдал, гарцыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг.
Өөрчлөн тохируулсан төрөл бүрийн SiC керамик эд ангиудын танилцуулга
Цахиурын карбид (SiC) дөрвөлжин толь
Цахиурын карбид (SiC) дөрвөлжин толин тусгал нь литографийн машин зэрэг өндөр зэрэглэлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид тусгайлан зориулсан дэвшилтэт цахиур карбидын керамик материалаар хийгдсэн өндөр нарийвчлалтай оптик бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь оновчтой хөнгөн хийц (жишээ нь, арын зөгийн сархинаг хөндий) тусламжтайгаар хэт хөнгөн жинтэй ба өндөр хөшүүн чанарыг (уян модуль > 400 GPa) олж авдаг бол түүний хэт бага дулааны тэлэлтийн коэффициент (≈4.5×10⁻⁶) хэмжигдэхүүний температурын тогтворжилтыг хангадаг. Толин тусгал гадаргуу нь нарийн өнгөлгөөний дараа ≤1 мкм тэгш/зэрэгцээ байдалд хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй (Mohs хатуулаг 9.5) нь ашиглалтын хугацааг уртасгадаг. Энэ нь хэт өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдал чухал байдаг литографийн машины ажлын станц, лазер тусгал, сансрын телескопуудад өргөн хэрэглэгддэг.
Цахиурын карбидын (SiC) агаарт хөвүүлэх хөтөч
Цахиурын карбидын (SiC) агаарт хөвөх хөтөч нь контактгүй аэростатик холхивчийн технологийг ашигладаг бөгөөд шахсан хий нь микроны түвшний агаарын хальс үүсгэдэг (ихэвчлэн 3-20μm) үрэлтгүй, чичиргээгүй жигд хөдөлгөөнийг бий болгодог. Тэд нанометрийн хөдөлгөөний нарийвчлал (±75 нм хүртэл давтагдсан байршлын нарийвчлал) ба микрон геометрийн нарийвчлалыг (шулуун байдал ±0.1-0.5μm, тэгш байдал ≤1μm) санал болгодог бөгөөд энэ нь нарийн сараалжтай масштаб эсвэл ферометрийн интервалын тусламжтайгаар хаалттай хүрдтэй санал хүсэлтийн хяналтыг идэвхжүүлдэг. Үндсэн цахиур карбидын керамик материал (сонголтуудад Coresic® SP/Marvel Sic цуврал багтана) нь хэт өндөр хөшүүн чанар (уян хатан модуль >400 GPa), хэт бага дулааны тэлэлтийн коэффициент (4.0–4.5×10⁻⁶/K, тохирох цахиур, нягтрал) өгдөг. <0.1%). Түүний хөнгөн хийц (нягтрал нь 3.1г/см³, хөнгөн цагааны дараа ордог) хөдөлгөөний инерцийг бууруулдаг бол онцгой элэгдэлд тэсвэртэй (Mohs хатуулаг 9.5) болон дулааны тогтвортой байдал нь өндөр хурд (1м/с) болон өндөр хурдатгал (4G) нөхцөлд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг. Эдгээр гарын авлагууд нь хагас дамжуулагч литографи, вафель шалгалт, хэт нарийн боловсруулалтад өргөн хэрэглэгддэг.
Цахиурын карбид (SiC) хөндлөн дам нуруу
Цахиурын карбид (SiC) хөндлөн гулдмай нь хагас дамжуулагч төхөөрөмж болон дээд зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд зориулагдсан үндсэн хөдөлгөөний бүрэлдэхүүн хэсгүүд бөгөөд голчлон хавтанцарын үе шатуудыг зөөвөрлөх, тэдгээрийг тодорхой траекторын дагуу өндөр хурдтай, хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнд чиглүүлэх үүрэгтэй. Өндөр хүчин чадалтай цахиур карбидын керамик (сонголтууд нь Coresic® SP эсвэл Marvel Sic цувралууд багтана) болон хөнгөн жинтэй бүтцийн дизайныг ашиглан өндөр хөшүүн чанар (уян хатан модуль > 400 GPa), хэт бага дулааны тэлэлтийн коэффициентийн хамт хэт хөнгөн жинтэй болдог. өндөр нягтралтай (сүвэрхэг чанар <0.1%), дулааны болон механик стрессийн үед нанометрийн тогтвортой байдлыг (хавтгай/зэрэгцээ байдал ≤1μm) хангана. Тэдгээрийн нэгдмэл шинж чанарууд нь өндөр хурдтай, өндөр хурдатгалтай (жишээ нь, 1м/с, 4G) үйлдлийг дэмждэг бөгөөд энэ нь литографийн машин, өрөм шалгах систем, нарийн үйлдвэрлэлд хамгийн тохиромжтой болгож, хөдөлгөөний нарийвчлал, динамик хариу үйлдэл үзүүлэх үр ашгийг ихээхэн нэмэгдүүлдэг.
Цахиурын карбидын (SiC) хөдөлгөөний бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Цахиурын карбид (SiC) Хөдөлгөөний бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь өндөр нягтралтай SiC материалыг (жишээ нь, Coresic® SP эсвэл Marvel Sic цуврал, сүвэрхэг чанар <0.1%), хэт хөнгөн жинтэй (G Pa > 40) хүрэхийн тулд хөнгөн бүтэцтэй дизайн бүхий өндөр нарийвчлалтай хагас дамжуулагч хөдөлгөөний системд зориулагдсан чухал хэсгүүд юм. Дулааны тэлэлтийн хэт бага коэффициенттэй (≈4.5×10⁻⁶/℃) тэдгээр нь дулааны хэлбэлзлийн дор нанометрийн тогтвортой байдлыг (хавтгай / параллелизм ≤1μm) хангадаг. Эдгээр нэгдмэл шинж чанарууд нь өндөр хурдтай, өндөр хурдатгалтай (жишээ нь, 1м/с, 4G) үйл ажиллагааг дэмжиж, литографийн машин, өрөм шалгах систем, нарийн үйлдвэрлэлд хамгийн тохиромжтой болгож, хөдөлгөөний нарийвчлал, динамик хариу үйлдэл үзүүлэх үр ашгийг ихээхэн нэмэгдүүлдэг.
Цахиурын карбид (SiC) оптик замын хавтан
Цахиурын карбид (SiC) оптик замын хавтан нь вафель шалгах төхөөрөмжид хос оптик замтай системд зориулагдсан үндсэн суурь платформ юм. Өндөр хүчин чадалтай цахиур карбидын керамикаар үйлдвэрлэсэн, энэ нь хөнгөн бүтцийн хийцээр хэт хөнгөн (нягт ≈3.1 г/см³) болон өндөр хөшүүн чанар (уян хатан модуль >400 GPa) бөгөөд хэт бага тэлэлтийн коэффициенттэй байдаг. (≈4.5×10⁻⁶/℃) ба өндөр нягттай (сүвэрхэг чанар <0.1%), дулааны болон механик хэлбэлзлийн дор нанометрийн тогтвортой байдлыг (хавтгай/зэрэгцээ байдал ≤0.02мм) хангана. Хамгийн том хэмжээтэй (900×900мм) ба онцгой цогц гүйцэтгэлээрээ энэ нь оптик системд урт хугацааны тогтвортой бэхэлгээний суурь шугамыг хангаж, хяналтын нарийвчлал, найдвартай байдлыг ихээхэн нэмэгдүүлдэг. Энэ нь хагас дамжуулагч хэмжил зүй, оптик тохируулга, өндөр нарийвчлалтай дүрслэлийн системд өргөн хэрэглэгддэг.
Графит + Тантал карбид бүрсэн хөтөч бөгж
Графит + Тантал карбидаар бүрсэн гарын авлагын цагираг нь цахиурын карбидын (SiC) дан болор ургуулах төхөөрөмжид тусгайлан зориулсан чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Үүний үндсэн үүрэг нь өндөр температурт хийн урсгалыг нарийн чиглүүлж, урвалын камер доторх температур, урсгалын талбайн жигд, тогтвортой байдлыг хангах явдал юм. CVD-д хадгалсан тантал карбидын (TaC) давхаргаар бүрсэн өндөр цэвэршилттэй бал чулуун субстратаар (цэвэршил >99.99%) үйлдвэрлэсэн (бүрхүүлгийн хольцын агууламж <5 ppm), онцгой дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (≈120 Вт/м·К) ба 2200°С хүртэл), цахиурын уурын зэврэлтээс үр дүнтэй сэргийлж, бохирдлын тархалтыг дарна. Бүрхүүлийн өндөр жигд байдал (хазайлт<3%, бүтэн талбайг хамарсан) нь хийн чиглүүлэлт болон урт хугацааны үйлчилгээний найдвартай байдлыг хангаж, SiC нэг талст өсөлтийн чанар, гарцыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг.
Цахиурын карбид (SiC) зуухны хоолойн хураангуй
Цахиурын карбид (SiC) босоо зуухны хоолой
Цахиурын карбид (SiC) босоо зуухны хоолой нь өндөр температурт үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид зориулагдсан чухал бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд үндсэндээ 1200 ° C-ийн ердийн ажлын температуртай, агаар мандлын дор зуухны дулааны жигд тархалтыг хангах гаднах хамгаалалтын хоолойн үүрэг гүйцэтгэдэг. 3D хэвлэх нэгдсэн хэлбэржүүлэх технологиор үйлдвэрлэсэн, үндсэн материалын хольцын агууламж <300 ppm бөгөөд сонголтоор CVD цахиурын карбидын бүрээстэй (бүрэх хольц<5 ppm) тоноглогдсон байж болно. Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (≈20 Вт/м·К) ба дулааны цочролын онцгой тогтвортой байдал (>800°С-ийн дулааны градиентийг тэсвэрлэх) зэргийг хослуулан хагас дамжуулагчийн дулааны боловсруулалт, фотоволтайк материалыг шингэлэх, керамикийн үйлдвэрлэлийн нарийвчлал, урт хугацааны туршид нэгдмэл чанарыг нэмэгдүүлэх зэрэг өндөр температурт үйл ажиллагаанд өргөн хэрэглэгддэг.
Цахиурын карбид (SiC) хэвтээ зуухны хоолой
Цахиурын карбид (SiC) хэвтээ зуухны хоолой нь хүчилтөрөгч (реактив хий), азот (хамгаалалтын хий) болон ул мөр устөрөгчийн хлорид агуулсан агаар мандалд ажиллах процессын хоолойн үүрэг гүйцэтгэдэг өндөр температурт процесст зориулагдсан үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд ердийн ажлын температур нь ойролцоогоор 12.0 ° C байна. 3D хэвлэх нэгдсэн хэлбэржүүлэх технологиор үйлдвэрлэсэн, үндсэн материалын хольцын агууламж <300 ppm бөгөөд сонголтоор CVD цахиурын карбидын бүрээстэй (бүрэх хольц<5 ppm) тоноглогдсон байж болно. Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (≈20 Вт/м·К) ба дулааны цочролын онцгой тогтвортой байдал (>800°C дулааны градиентийг тэсвэрлэх) зэргийг хослуулсан нь исэлдэлт, тархалт, нимгэн хальсан бүрхүүл зэрэг хагас дамжуулагчийн хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн, агаар мандалд цэвэр, урт хугацааны тогтвортой байдал, бүтцийн тогтвортой байдлыг хангахад тохиромжтой. эрс тэс нөхцөл.
SiC керамик сэрээний гарны танилцуулга
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
Хагас дамжуулагч вааран хавтан үйлдвэрлэхэд SiC керамик салаа гарыг голчлон хавтанцарыг шилжүүлэх, байрлуулахад ашигладаг бөгөөд ихэвчлэн дараахь зүйлүүд байдаг.
- Өргөст цаас боловсруулах төхөөрөмж: Өндөр температур, идэмхий процессын орчинд тогтвортой ажилладаг хавтанцар кассет, технологийн завь зэрэг.
- Литографийн машин: Шат, хөтөч, робот гар зэрэг нарийн эд ангиудад ашигладаг бөгөөд тэдгээрийн өндөр хатуулаг, бага дулааны хэв гажилт нь нанометрийн түвшний хөдөлгөөний нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
- Сийлбэр ба диффузийн процессууд: Хагас дамжуулагчийн тархалтын процесст зориулсан ICP сийлбэрийн тавиур болон бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн үүрэг гүйцэтгэдэг, тэдгээрийн өндөр цэвэршилт, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал нь процессын камерт бохирдохоос сэргийлдэг.
Аж үйлдвэрийн автоматжуулалт ба робот техник
SiC керамик сэрээ нь өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлийн робот, автоматжуулсан тоног төхөөрөмжийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм.
- Robotic End Effectors: Харьцах, угсрах, нарийн нарийвчлалтай ажиллахад ашигладаг. Тэдний хөнгөн жингийн шинж чанар (нягтрал ~3.21 г/см³) нь роботын хурд, үр ашгийг дээшлүүлдэг бол өндөр хатуулаг (Виккерсийн хатуулаг ~2500) нь элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг баталгаажуулдаг.
- Үйлдвэрлэлийн автомат шугам: Өндөр давтамжтай, өндөр нарийвчлалтай харьцах (жишээ нь, цахим худалдааны агуулах, үйлдвэрийн агуулах) шаардлагатай тохиолдолд SiC салаа гар нь урт хугацааны тогтвортой гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.
Сансар огторгуй ба шинэ эрчим хүч
Хэт их орчинд SiC керамик сэрээ нь өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, дулааны цохилтод тэсвэртэй байдаг.
- Сансар: Сансрын хөлөг болон нисгэгчгүй онгоцны чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд ашигладаг бөгөөд тэдгээрийн хөнгөн, өндөр бат бэх чанар нь жинг бууруулж, гүйцэтгэлийг сайжруулахад тусалдаг.
- Шинэ эрчим хүч: Фотовольтийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж (жишээ нь: диффузын зуух) болон лити-ион батерейны үйлдвэрлэлд нарийн бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсэг болгон ашигладаг.
Өндөр температурт үйлдвэрлэлийн боловсруулалт
SiC керамик сэрээ нь 1600 ° C-аас дээш температурыг тэсвэрлэх чадвартай тул дараахь зүйлийг хийхэд тохиромжтой.
- Металлурги, керамик, шилний үйлдвэрүүд: Өндөр температурт манипулятор, тохируулагч хавтан, түлхэх хавтан зэрэгт ашигладаг.
- Цөмийн энерги: Цацрагийн эсэргүүцэлтэй тул цөмийн реакторын зарим бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тохиромжтой.
Эмнэлгийн тоног төхөөрөмж
Анагаах ухааны салбарт SiC керамик салаа гарыг голчлон дараахь зүйлд ашигладаг.
- Эмнэлгийн робот ба мэс заслын хэрэгсэл: Биологийн нийцтэй байдал, зэврэлтэнд тэсвэртэй, ариутгалын орчинд тогтвортой байдгаараа үнэлэгддэг.
SiC бүрхүүлийн тойм
| Ердийн шинж чанарууд | Нэгж | Үнэ цэнэ |
| Бүтэц |
| FCC β үе шат |
| Баримтлал | Бутархай (%) | 111 илүүд үздэг |
| Бөөн нягтрал | г/см³ | 3.21 |
| Хатуу байдал | Викерсийн хатуулаг | 2500 |
| Дулааны багтаамж | Ж·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Дулааны тэлэлт 100–600 °C (212–1112 °F) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Young's modulus | Gpa (4pt нугалах, 1300℃) | 430 |
| Үр тарианы хэмжээ | мкм | 2~10 |
| Сублимацийн температур | ℃ | 2700 |
| Уян эрхтний хүч | МПа (RT 4 оноо) | 415 |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр | (Вт/мК) | 300 |
Цахиурын карбидын керамик бүтцийн хэсгүүдийн тойм
Цахиурын карбидын керамик бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг синтерлэх замаар холбосон цахиур карбидын хэсгүүдээс гаргаж авдаг. Эдгээр нь автомашин, машин механизм, хими, хагас дамжуулагч, сансрын технологи, микроэлектроник, эрчим хүчний салбарт өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд эдгээр салбаруудын төрөл бүрийн хэрэглээнд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цахиур карбидын керамик эд анги нь онцгой шинж чанараараа өндөр температур, өндөр даралт, зэврэлт, элэгдэл зэрэг хүнд хэцүү нөхцөлд ажиллахад тохиромжтой материал болж, хүнд хэцүү нөхцөлд найдвартай ажиллагаа, урт наслалт өгдөг.SiC Seal хэсгүүдийн тойм
SiC битүүмжлэл нь онцгой хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр температурт тэсвэртэй (1600 ° C, бүр 2000 ° C хүртэл температурыг тэсвэрлэх), зэврэлтэнд тэсвэртэй тул хатуу ширүүн орчинд (өндөр температур, өндөр даралт, идэмхий орчин, өндөр хурдны элэгдэл гэх мэт) тохиромжтой сонголт юм. Тэдний өндөр дулаан дамжуулалт нь дулааны үр ашигтай тархалтыг хөнгөвчлөхийн зэрэгцээ үрэлтийн бага коэффициент, өөрөө тосолгооны шинж чанар нь битүүмжлэлийн найдвартай байдлыг хангаж, ашиглалтын эрс тэс нөхцөлд удаан эдэлгээтэй байдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь SiC битүүмжлэлийг нефть химийн, уул уурхай, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, бохир ус цэвэрлэх, эрчим хүч зэрэг салбарт өргөнөөр ашиглаж, засвар үйлчилгээний зардлыг мэдэгдэхүйц бууруулж, зогсолтыг багасгах, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын үр ашиг, аюулгүй байдлыг нэмэгдүүлдэг.
SiC керамик хавтан товч
Цахиурын карбид (SiC) керамик хавтангууд нь онцгой хатуулаг (Mohs хатуулаг нь 9.5 хүртэл, зөвхөн алмазын дараа ордог), гайхалтай дулаан дамжилтын чанар (дулааныг үр ашигтай зохицуулах ихэнх керамикуудаас хол давсан), гайхалтай химийн идэвхгүй байдал, дулааны цочролыг тэсвэрлэх чадвараараа алдартай. Эдгээр шинж чанарууд нь эрс тэс орчинд (жишээ нь, өндөр температур, элэгдэл, зэврэлт) бүтцийн тогтвортой байдал, найдвартай гүйцэтгэлийг хангаж, үйлчилгээний хугацааг уртасгаж, засвар үйлчилгээний хэрэгцээг бууруулдаг.
SiC керамик хавтанг өндөр хүчин чадалтай салбарт өргөнөөр ашигладаг.
•Зүлгүүр ба нунтаглах хэрэгсэл: Нунтаглагч дугуй болон өнгөлгөөний багажийг үйлдвэрлэхэд хэт өндөр хатуулгийг ашиглаж, зүлгүүрийн орчинд нарийвчлал, бат бөх чанарыг сайжруулна.
•Галд тэсвэртэй материал: Зуухны доторлогоо болон зуухны эд анги болж, дулааны үр ашгийг дээшлүүлж, засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулахын тулд 1600°C-ээс дээш температурт тогтвортой байдлыг хадгална.
• Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл: Өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжүүдийн (жишээ нь цахилгаан диод ба RF өсгөгч) субстрат болж, найдвартай байдал, эрчим хүчний үр ашгийг нэмэгдүүлэхийн тулд өндөр хүчдэлийн болон өндөр температурын ажиллагааг дэмждэг.
•Цутгах, хайлуулах: Металл боловсруулахад уламжлалт материалыг сольж, дулаан дамжуулалт болон химийн зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг хангах, металлургийн чанар, зардлын үр ашгийг дээшлүүлэх.
SiC вафер завины хураангуй
XKH SiC керамик завь нь дээд зэргийн дулааны тогтвортой байдал, химийн идэвхгүй байдал, нарийн инженерчлэл, эдийн засгийн үр ашигтай байдлыг хангаж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өндөр хүчин чадалтай зөөгч шийдлийг өгдөг. Эдгээр нь өрмөнцөртэй харьцах аюулгүй байдал, цэвэр байдал, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг эрс сайжруулж, дэвшилтэт валют үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
SiC керамик завь Хэрэглээ:
SiC керамик завь нь урд талын хагас дамжуулагч процесст өргөн хэрэглэгддэг, үүнд:
•Туршилтын процессууд: LPCVD (бага даралттай химийн уурын хуримтлал) ба PECVD (плазмаар сайжруулсан химийн уурын хуримтлал) зэрэг.
•Өндөр температурын эмчилгээ: Дулааны исэлдүүлэх, зөөлрүүлэх, тархах, ион суулгах зэрэг орно.
• Нойтон & Цэвэрлэх үйл явц: Өрөө цэвэрлэх болон химийн бодистой харьцах үе шатууд.
Агаар мандлын болон вакуум процессын орчинд нийцтэй,
Эдгээр нь бохирдлын эрсдлийг бууруулах, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх зорилготой үйлдвэрүүдэд тохиромжтой.
SiC Wafer Boat-ийн параметрүүд:
| Техникийн шинж чанарууд | ||||
| Индекс | Нэгж | Үнэ цэнэ | ||
| Материалын нэр | Урвалын Синтержүүлсэн цахиурын карбид | Даралтгүй шингэрүүлсэн цахиурын карбид | Дахин талстжуулсан цахиурын карбид | |
| Найрлага | RBSiC | SSiC | R-SiC | |
| Бөөн нягтрал | г/см3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| Гулзайлтын хүч | МПа (кпси) | 338(49) | 380(55) | 80-90 (20 ° C) 90-100 (1400 ° C) |
| Шахалтын хүч | МПа (кпси) | 1120(158) | 3970(560) | > 600 |
| Хатуу байдал | Knoop | 2700 | 2800 | / |
| Тэвчээртэй байдлыг эвдэх | МПа м1/2 | 4.5 | 4 | / |
| Дулаан дамжуулалт | В/мк | 95 | 120 | 23 |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент | 10-6.1/°C | 5 | 4 | 4.7 |
| Тусгай дулаан | Жоуль/г 0к | 0.8 | 0.67 | / |
| Агаар дахь хамгийн их температур | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| Уян хатан модуль | Gpa | 360 | 410 | 240 |
SiC керамик төрөл бүрийн захиалгат бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дэлгэц
SiC керамик мембран
SiC керамик мембран нь цэвэр цахиурын карбидаар хийгдсэн, өндөр температурт шингэлэх процессоор бүтээгдсэн бат бөх гурван давхаргат бүтэцтэй (туслах давхарга, шилжилтийн давхарга, тусгаарлах мембран) бүхий дэвшилтэт шүүлтүүрийн шийдэл юм. Энэхүү загвар нь онцгой механик хүч чадал, нүх сүвний хэмжээг нарийн хуваарилах, гайхалтай бат бөх чанарыг баталгаажуулдаг. Энэ нь шингэнийг үр дүнтэй салгах, баяжуулах, цэвэршүүлэх замаар үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн хэрэглээнд давуу юм. Гол хэрэглээнд ус, бохир усыг цэвэрлэх (түдгэлзүүлсэн хатуу бодис, бактери, органик бохирдуулагчийг зайлуулах), хоол хүнс, ундаа боловсруулах (шүүс, цагаан идээ, исгэсэн шингэнийг тунгаах, баяжуулах), эм, биотехнологийн үйл ажиллагаа (био шингэн болон завсрын бодисыг цэвэрлэх), химийн боловсруулалт (үйлдвэрлэсэн идэмхий шингэн, тос, хийн бодисыг цэвэрлэх), химийн боловсруулалт орно. зайлуулах).
SiC хоолой
SiC (цахиурын карбид) хоолой нь хагас дамжуулагч зуухны системд зориулагдсан өндөр хүчин чадалтай керамик эд анги бөгөөд өндөр цэвэршилттэй нарийн ширхэгтэй цахиурын карбидаас дэвшилтэт агломерын техникээр үйлдвэрлэсэн. Тэд онцгой дулаан дамжуулалт, өндөр температурт тогтвортой байдал (1600 ° C-аас дээш), химийн зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг харуулдаг. Тэдгээрийн дулааны тэлэлтийн бага коэффициент, өндөр механик хүч чадал нь хэт дулааны эргэлтийн үед хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хангаж, дулааны стрессийн хэв гажилт, элэгдлийг үр дүнтэй бууруулдаг. SiC хоолойнууд нь диффузийн зуух, исэлдэлтийн зуух, LPCVD/PECVD системд тохиромжтой бөгөөд жигд температурын хуваарилалт, үйл явцын тогтвортой нөхцлийг бүрдүүлсэн хавтангийн согогийг багасгаж, нимгэн хальсан хуримтлалын нэгэн төрлийн байдлыг сайжруулдаг. Нэмж дурдахад SiC-ийн нягт, сүвэрхэг бус бүтэц, химийн идэвхгүй байдал нь хүчилтөрөгч, устөрөгч, аммиак зэрэг реактив хийн элэгдлийг эсэргүүцэж, ашиглалтын хугацааг уртасгаж, процессын цэвэр байдлыг хангадаг. SiC хоолойнуудыг хэмжээ, хананы зузаанаар тохируулах боломжтой бөгөөд нарийн боловсруулалт нь гөлгөр дотоод гадаргуу, давхаргын урсгал болон тэнцвэртэй дулааны профайлыг дэмжих өндөр төвлөрсөн байдлыг хангадаг. Гадаргууг өнгөлөх эсвэл бүрэх сонголтууд нь тоосонцор үүсэхийг багасгаж, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг сайжруулж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн, найдвартай байдлын хатуу шаардлагыг хангадаг.
SiC керамик консол сэлүүр
SiC консолын ирний цул загвар нь механик бат бөх, дулааны жигд байдлыг ихээхэн сайжруулж, нийлмэл материалд нийтлэг байдаг үе ба сул талуудыг арилгадаг. Тэдний гадаргуу нь толин тусгал мэт өнгөлгөөг хүртэл нарийн өнгөлсөн бөгөөд тоосонцор үүсэхийг багасгаж, цэвэр өрөөний стандартыг хангадаг. SiC-ийн өвөрмөц химийн инерци нь реактив орчинд (хүчилтөрөгч, уур гэх мэт) хий ялгарах, зэврэлт, процессын бохирдлоос сэргийлж, диффуз/исэлдэлтийн процессын тогтвортой байдал, найдвартай байдлыг хангадаг. Хурдан дулааны эргэлтийг үл харгалзан SiC нь бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж, үйлчилгээний хугацааг уртасгаж, засвар үйлчилгээний зогсолтыг багасгадаг. SiC-ийн хөнгөн шинж чанар нь дулааны хариу урвалыг хурдасгаж, халаалт/хөргөлтийн хурдыг хурдасгаж, бүтээмж, эрчим хүчний хэмнэлтийг сайжруулдаг. Эдгээр ир нь тохируулж болох хэмжээтэй (100мм-ээс 300мм+ ширхэгтэй хавтантай нийцдэг) байдаг ба янз бүрийн зуухны загварт дасан зохицож, урд болон хойд талын хагас дамжуулагчийн үйл ажиллагаанд тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг.
Хөнгөн цагааны ислийн вакуум Чак танилцуулга
Al₂O₃ вакуум тэнхлэг нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн чухал хэрэгсэл бөгөөд олон процесст тогтвортой, нарийн дэмжлэг үзүүлдэг.• Нимгэнжүүлэх: Өргөсийг сийрэгжүүлэх явцад жигд дэмжлэг үзүүлж, чипний дулаан ялгаруулалт болон төхөөрөмжийн ажиллагааг сайжруулахын тулд субстратыг өндөр нарийвчлалтайгаар багасгах боломжийг олгодог.
•Шоолох: Өргөсийг зүсэх явцад найдвартай шингээлтийг хангаж, гэмтлийн эрсдлийг бууруулж, бие даасан чипсийг цэвэрхэн зүснэ.
•Цэвэрлэгээ: Түүний гөлгөр, жигд шингээх гадаргуу нь цэвэрлэх явцад ялтсыг гэмтээхгүйгээр бохирдуулагчийг үр дүнтэй арилгах боломжийг олгодог.
•Тээвэрлэлт: Өргөст ялтастай харьцах, тээвэрлэх явцад найдвартай, найдвартай дэмжлэг үзүүлж, гэмтэл, бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.
1. Нэгдмэл бичил сүвэрхэг керамик технологи
•Нано нунтаг ашиглан жигд тархсан, хоорондоо уялдаатай нүх сүв үүсгэснээр өндөр сүвэрхэг, жигд нягт бүтэцтэй болж, өрөмийг тууштай, найдвартай дэмждэг.
2. Материалын онцгой шинж чанарууд
-Хэт цэвэр 99.99% хөнгөн цагаан (Al₂O₃)-аас үйлдвэрлэсэн бөгөөд дараахь зүйлийг харуулж байна.
•Дулааны шинж чанарууд: Өндөр температурт тэсвэртэй, маш сайн дулаан дамжуулалттай, өндөр температурт хагас дамжуулагч орчинд тохиромжтой.
•Механик шинж чанар: Өндөр бат бэх, хатуулаг нь удаан эдэлгээтэй, элэгдэлд тэсвэртэй, удаан эдэлгээтэй байдаг.
•Нэмэлт давуу талууд: Өндөр цахилгаан тусгаарлагч, зэврэлтэнд тэсвэртэй, үйлдвэрлэлийн янз бүрийн нөхцөлд дасан зохицох чадвартай.
3. Дээд зэргийн тэгш байдал ба параллелизм•Өндөр тэгш байдал, параллель байдал бүхий нимгэн, тогтвортой өрөмтэй харьцах, эвдрэлийн эрсдлийг бууруулж, боловсруулалтын үр дүнгийн тогтвортой байдлыг хангана. Түүний сайн агаар нэвтрүүлэх чадвар, жигд шингээх хүч нь ашиглалтын найдвартай байдлыг улам сайжруулдаг.
Al₂O₃ вакуум тэнхлэг нь хагас дамжуулагчийн чухал процессыг дэмжихийн тулд дэвшилтэт бичил сүвэрхэг технологи, онцгой материалын шинж чанар, өндөр нарийвчлалыг нэгтгэж, сийрэгжүүлэх, зүсэх, цэвэрлэх, тээвэрлэх үе шатуудад үр ашиг, найдвартай байдал, бохирдлыг хянах боломжийг олгодог.
Alumina Robot Arm & Alumina End Effector Brief
Хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) керамик робот гар нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өрөмтэй харьцах чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Тэдгээр нь вакуум эсвэл өндөр температурын нөхцөл гэх мэт эрэлт хэрэгцээтэй орчинд нарийн дамжуулалт, байршлыг тогтоох үүрэгтэй. Тэдгээрийн гол үнэ цэнэ нь ялтсын аюулгүй байдлыг хангах, бохирдлоос урьдчилан сэргийлэх, материалын онцгой шинж чанараар тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын үр ашиг, гарцыг сайжруулахад оршдог.
| Онцлогийн хэмжээ | Нарийвчилсан тайлбар |
| Механик шинж чанарууд | Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (жишээ нь, >99%) нь өндөр хатуулаг (Mohs хатуулаг 9 хүртэл) ба гулзайлтын бат бөх (250-500 МПа хүртэл) өгч, элэгдэлд тэсвэртэй, хэв гажилтаас сэргийлж, үйлчилгээний хугацааг уртасгадаг.
|
| Цахилгаан тусгаарлагч | Өрөөний температурын эсэргүүцэл нь 10¹⁵ Ω·см хүртэл, тусгаарлагчийн бат бэх нь 15 кВ/мм цахилгаан статик ялгаралтаас (ESD) үр дүнтэй сэргийлж, эмзэг хавтанцарыг цахилгааны нөлөөллөөс хамгаалж, эвдрэлээс хамгаална.
|
| Дулааны тогтвортой байдал | 2050 ° C хүртэл өндөр хайлах цэг нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өндөр температурт процессыг (жишээ нь, RTA, CVD) тэсвэрлэх боломжийг олгодог. Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь эвдрэлийг багасгаж, халуунд хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хадгалдаг.
|
| Химийн идэвхгүй байдал | Ихэнх хүчил, шүлт, технологийн хий, цэвэрлэгээний бодисуудад идэвхгүй, тоосонцор бохирдох, металлын ион ялгарахаас сэргийлнэ. Энэ нь үйлдвэрлэлийн хэт цэвэр орчныг баталгаажуулж, вафель гадаргууг бохирдуулахаас сэргийлдэг.
|
| Бусад давуу тал | Боловсруулсан боловсруулалтын технологи нь өртөг өндөртэй; гадаргууг бага барзгар болтол нарийвчлалтайгаар өнгөлж, тоосонцор үүсэх эрсдлийг бууруулна.
|
Хөнгөн цагааны керамик робот гарыг голчлон урд талын хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст ашигладаг, үүнд:
•Вафельтэй харьцах, байрлуулах: Вакуум эсвэл өндөр цэвэршилттэй инертийн хийн орчинд өргүүрийг (жишээ нь, 100мм-ээс 300мм+ хэмжээтэй) найдвартай, нарийн шилжүүлж, байрлуулж, гэмтэл, бохирдлын эрсдлийг бууруулна.
•Өндөр температурт үйл явц: Хурдан дулааны боловсруулалт (RTA), химийн уурын хуримтлал (CVD), плазмын сийлбэр зэрэг нь өндөр температурт тогтвортой байдлыг хадгалж, үйл явцын тууштай байдал, гарцыг баталгаажуулдаг.
• Өргөст ялтастай харьцах автоматжуулсан систем: Өргөст ялтас боловсруулах роботуудад тоног төхөөрөмж хооронд өрмөнцөр дамжуулалтыг автоматжуулж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх эцсийн эффектор болгон нэгтгэсэн.
Дүгнэлт
XKH нь робот гар, консолт сэлүүр, вакуум тэнхлэг, ялтсан завь, зуухны хоолой болон бусад өндөр хүчин чадалтай эд ангиудыг багтаасан цахиурын карбид (SiC) болон хөнгөн цагаан (Al₂O₃) керамик эд ангиудын судалгаа, боловсруулалт, үйлдвэрлэлд мэргэшсэн бөгөөд эрчим хүч, хагас дамжуулагч, шинэ технологи, өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрүүдэд үйлчилдэг. Бид нарийн үйлдвэрлэл, чанарын хатуу хяналт, технологийн шинэчлэлийг баримталж, өндөр температурт онцгой тэсвэртэй, механик хүч чадал, химийн идэвхгүй байдал, хэмжээсгүй байдлыг хангахын тулд дэвшилтэт агломержуулалт (даралтгүй агломержуулалт, урвалын агломержуулалт) болон нарийн боловсруулалтын техникийг (жишээ нь, CNC нунтаглах, өнгөлөх) ашигладаг. Бид зураг дээр үндэслэн тохируулгыг дэмжиж, үйлчлүүлэгчийн тодорхой шаардлагад нийцүүлэн хэмжээ, хэлбэр, гадаргуугийн өнгөлгөө, материалын зэрэгт тохирсон шийдлүүдийг санал болгодог. Бид дэлхийн өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлд найдвартай, үр ашигтай керамик эд ангиудыг нийлүүлэх, тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, үйлчлүүлэгчдийнхээ үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх үүрэг хүлээдэг.
Холбоотой бүтээгдэхүүн
-
Dia3mm SiC Керамик бөмбөлөг Цахиур карбид Керамик...
-
Цахиурын карбидын призм / Хэт улаан туяаны сонголтод зориулсан толь...
-
Цахиурын карбидын цацраг Цахиурын карбидын цацраг Redef...
-
Хөнгөн цагааны керамик гар захиалгат Керамик робот гар
-
Polycrystalline Al2O3 хөнгөн цагааны керамик захиалгаар...
-
SiC керамик савны тавиур Керамик сорох аяганы өмнөх...