SiC индранил Si GAAs ваферт зориулсан цахиурын карбидын керамик чац

SiC индранил Si GAA вафлины зориулалттай цахиурын карбидын керамик чац Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Цахиурын карбидын керамик хавтан нь хагас дамжуулагчийн үзлэг, вафли үйлдвэрлэх, холбох зориулалттай өндөр хүчин чадалтай платформ юм. Шаталсан SiC (SSiC), урвалд холбогдсон SiC (RSiC), цахиурын нитрид, хөнгөн цагаан нитрид зэрэг дэвшилтэт керамик материалаар хийгдсэн бөгөөд өндөр хатуулаг, бага дулааны тэлэлт, маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй, урт хугацааны ашиглалтын хугацааг санал болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Цахиурын карбид (SiC) керамик чакын тойм

ньЦахиурын карбидын керамик чакнь хагас дамжуулагчийн үзлэг, вафли үйлдвэрлэх, холбох зориулалттай өндөр хүчин чадалтай платформ юм. Дэвшилтэт керамик материалаар бүтээгдсэн, үүнд:шатаасан SiC (SSiC), урвалд холбогдсон SiC (RSiC), цахиурын нитрид, бахөнгөн цагаан нитрид- энэ нь санал болгодогөндөр хатуулаг, бага дулааны тэлэлт, маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй, урт хугацааны үйлчилгээтэй.

Нарийвчлалтай инженерчлэл болон хамгийн сүүлийн үеийн өнгөлгөөний тусламжтайгаар патрон нь үр дүнгээ өгдөгмикроноос бага тэгш байдал, толин тусгал чанартай гадаргуу, урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдал, энэ нь чухал хагас дамжуулагч процессуудын хамгийн тохиромжтой шийдэл болгож байна.

Гол давуу талууд

Өндөр нарийвчлал
Хавтгай байдлыг дотор нь хянадаг0.3–0.5 мкм, хавтангийн тогтвортой байдал болон үйл явцын нарийвчлалыг тогтвортой байлгах.
Толин тусгал өнгөлөх
АмжилтуудRa 0.02 μмгадаргуугийн барзгаржилт, вафлийн зураас болон бохирдлыг багасгах - хэт цэвэр орчинд төгс тохирно.
Хэт хөнгөн
Кварц эсвэл металл суурь материалаас илүү бат бөх хэрнээ хөнгөн тул хөдөлгөөний хяналт, хариу үйлдэл үзүүлэх чадвар болон байршлын нарийвчлалыг сайжруулдаг.
Өндөр хатуулаг
Онцгой Янгийн модуль нь хүнд ачаалал болон өндөр хурдны ажиллагааны дор хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг.
Дулааны бага тэлэлт
CTE нь цахиурын вафлитай нягт нийцдэг тул дулааны стрессийг бууруулж, процессын найдвартай байдлыг нэмэгдүүлдэг.
Маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй
Хэт хатуулаг нь урт хугацааны, өндөр давтамжтай хэрэглээний үед ч тэгш байдал болон нарийвчлалыг хадгалдаг.

Үйлдвэрлэлийн үйл явц

Түүхий эд бэлтгэх
Хяналттай бөөмийн хэмжээ болон хэт бага хольцтой өндөр цэвэршилттэй SiC нунтаг.
Хэлбэржүүлэх ба шатаах
Жишээ нь техникүүдДаралтгүй хайлуулах (SSiC) or урвалын холбоо (RSiC)нягт, жигд керамик суурь үүсгэдэг.
Нарийвчлалтай Машинист
CNC нунтаглах, лазераар зүсэх, хэт нарийвчлалтай боловсруулах нь ±0.01 мм-ийн хүлцэл ба ≤3 μм параллелизмыг бий болгодог.
Гадаргуугийн боловсруулалт
Ra 0.02 μм хүртэл олон үе шаттай нунтаглах болон өнгөлөх; зэврэлтэнд тэсвэртэй эсвэл үрэлтийн шинж чанарыг өөрчлөхөд зориулсан нэмэлт бүрхүүлүүд байдаг.
Хяналт шалгалт ба чанарын хяналт
Интерферометр ба барзгаржилтын шалгагч нь хагас дамжуулагчийн зэрэглэлийн техникийн үзүүлэлтүүдтэй нийцэж байгааг шалгадаг.

Техникийн үзүүлэлтүүд

Параметр	Үнэ цэнэ	Нэгж
Хавтгай байдал	≤0.5	мкм
Вафлийн хэмжээ	6'', 8'', 12'' (захиалгат сонголттой)	—
Гадаргуугийн төрөл	Зүүний төрөл / Бөгжний төрөл	—
Зүүний өндөр	0.05–0.2	mm
Хамгийн бага зүүний диаметр	ϕ0.2	mm
Хамгийн бага зүү зай	3	mm
Хамгийн бага лацдан холболтын цагирагийн өргөн	0.7	mm
Гадаргуугийн барзгаржилт	Ra 0.02	мкм
Зузаан тэсвэрлэх чадвар	±0.01	mm
Диаметрийн хүлцэл	±0.01	mm
Параллелизмын хүлцэл	≤3	мкм

Үндсэн хэрэглээ

Хагас дамжуулагч хавтангийн үзлэгийн тоног төхөөрөмж
Вафли үйлдвэрлэх болон дамжуулах системүүд
Вафер холбох болон савлах хэрэгсэл
Дэвшилтэт оптоэлектроник төхөөрөмжийн үйлдвэрлэл
Хэт хавтгай, хэт цэвэр гадаргуу шаарддаг нарийвчлалтай багаж хэрэгсэл

Асуулт ба хариулт – Цахиурын карбидын керамик чак

А1: SiC керамик патроныг кварц эсвэл металл патронтой хэрхэн харьцуулдаг вэ?
A1: SiC патрон нь илүү хөнгөн, илүү хатуу бөгөөд цахиурын вафлитай ойролцоо CTE-тэй тул дулааны деформацийг багасгадаг. Мөн тэдгээр нь элэгдэлд тэсвэртэй, удаан эдэлгээтэй.

А2: Ямар тэгш байдлыг хангаж чадах вэ?
А2: Дотор нь хянадаг0.3–0.5 мкм, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангасан.

А3: Гадаргуу нь вафлиг маажих уу?
А3: Үгүй—толин өнгөлгөөтэйRa 0.02 μм, зураасгүй харьцах, тоосонцор үүсэхийг багасгах боломжийг олгоно.

А4: Ямар хэмжээтэй вафлиг дэмждэг вэ?
А4: Стандарт хэмжээнүүд6 инч, 8 инч, болон 12 инч, өөрчлөх боломжтой.

А5: Дулааны эсэргүүцэл ямар байна вэ?
А5: SiC керамик нь дулааны мөчлөгийн үед хамгийн бага деформацитай, өндөр температурын маш сайн гүйцэтгэлийг хангадаг.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.