Дээд зэрэглэлийн индранил өргөгч зүү Нэг талст Al₂O₃ вафли өргөгч зүү
Техникийн үзүүлэлтүүд
| Химийн найрлага | Al2O3 |
| Хатуулаг | 9Мохс |
| Оптик шинж чанар | Нэг тэнхлэгтэй |
| Хугарлын индекс | 1.762-1.770 |
| Хоёр талт байдал | 0.008-0.010 |
| Тархалт | Бага, 0.018 |
| Гялалзсан байдал | Шилэнцэр |
| Плеохроизм | Дунд зэргээс хүчтэй хүртэл |
| Диаметр | 0.4мм-30мм |
| Диаметрийн хүлцэл | 0.004мм-0.05мм |
| урт | 2мм-150мм |
| уртын хүлцэл | 0.03мм-0.25мм |
| Гадаргуугийн чанар | 40/20 |
| Гадаргуугийн дугуйралт | RZ0.05 |
| Захиалгат хэлбэр | хоёр үзүүр нь хавтгай, нэг үзүүр нь улаан, хоёр үзүүр нь улаан, эмээлийн зүү болон тусгай хэлбэрүүд |
Гол онцлогууд
1. Онцгой хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал: Мохсын 9 хатуулгийн үнэлгээтэй, алмазын дараа хоёрдугаарт ордог Sapphire Lift Pins нь уламжлалт цахиурын карбид, хөнгөн цагаан керамик эсвэл металл хайлшийн хувилбаруудаас эрс давуу элэгдлийн шинж чанарыг харуулдаг. Энэхүү хэт хатуулаг нь тоосонцор үүсэх, засвар үйлчилгээний шаардлагыг мэдэгдэхүйц бууруулж, ижил төстэй хэрэглээнд ашиглах хугацаа нь ердийн материалаас 3-5 дахин урт байдаг.
2. Өндөр температурт тэсвэртэй чанар: 1000°C-аас дээш температурт задралгүйгээр тогтвортой ажиллах чадвартай Sapphire Lift Pins нь хамгийн хүнд дулааны процессуудад хэмжээст тогтвортой байдал болон механик бат бөх чанарыг хадгалдаг. Энэ нь тэдгээрийг химийн уурын тунадасжуулалт (CVD), металл-органик химийн уурын тунадасжуулалт (MOCVD), дулааны тэлэлтийн зөрүү нь процессын гарцыг бууруулж болзошгүй өндөр температурт хатаах систем зэрэг чухал хэрэглээнд онцгой үнэ цэнэтэй болгодог.
3. Химийн идэвхгүй байдал: Монокристалл индранил бүтэц нь HF хүчил, хлор дээр суурилсан химийн бодис болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд түгээмэл тохиолддог бусад түрэмгий процессын хийнүүдийн халдлагад гайхалтай тэсвэртэй байдлыг харуулдаг. Энэхүү химийн тогтвортой байдал нь плазмын орчинд тогтвортой ажиллагааг хангаж, хавтангийн бохирдолд хүргэж болзошгүй гадаргуугийн согог үүсэхээс сэргийлдэг.
4. Бага хэмжээний тоосонцрын бохирдол: Согоггүй, өндөр цэвэршилттэй индранил талстуудаас (ихэвчлэн >99.99%) үйлдвэрлэсэн эдгээр өргөгч зүү нь удаан хугацаагаар ашигласны дараа ч тоосонцрын алдагдал хамгийн бага байдаг. Тэдний сүвэрхэг бус гадаргуугийн бүтэц болон өнгөлсөн өнгөлгөө нь хамгийн хатуу цэвэр өрөөний шаардлагыг хангаж, дэвшилтэт зангилааны хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын гарцыг сайжруулахад шууд хувь нэмэр оруулдаг.
Өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт: Дэвшилтэт алмазан нунтаглах болон лазер боловсруулах техникийг ашиглан Sapphire Lift Pins-ийг микроноос бага хүлцэлтэй, 0.05μm Ra-аас доош гадаргуугийн өнгөлгөөтэйгээр үйлдвэрлэх боломжтой. Дараагийн үеийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн тодорхой вафлитай харьцах бэрхшээлийг шийдвэрлэхийн тулд конус хэлбэрийн профиль, тусгай үзүүрийн тохиргоо, нэгдсэн тохируулгын онцлог зэрэг захиалгат геометрийг зохион бүтээж болно.
Үндсэн хэрэглээ
1. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл: Сапфир өргөгч зүү нь дэвшилтэт вафли боловсруулах системд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд фотолитографи, сийлбэр, тунадасжуулалт, үзлэгийн процессын үед найдвартай дэмжлэг, нарийн байрлалыг хангадаг. Тэдгээрийн дулааны болон химийн тогтвортой байдал нь тэдгээрийг EUV литографийн хэрэгсэл болон дэвшилтэт сав баглаа боодлын хэрэглээнд онцгой үнэ цэнэтэй болгодог бөгөөд нанометрийн хэмжээс дэх хэмжээст тогтвортой байдал зайлшгүй шаардлагатай байдаг.
2.LED эпитакси (MOCVD): Галлийн нитрид (GaN) болон түүнтэй холбоотой хагас дамжуулагч эпитаксиал өсөлтийн системд Sapphire Lift Pins нь 1000°C-аас дээш температурт тогтвортой вафлийн тулгуурыг өгдөг. Тэдгээрийн дулааны тэлэлтийн шинж чанарууд нь индранил суурьтай хослуулсан нь эпитаксиал өсөлтийн процессын үед вафлийн нугаралт болон гулсалт үүсэхийг багасгадаг.
3. Фотоволтайкийн үйлдвэрлэл: Өндөр үр ашигтай нарны зай хураагуурын үйлдвэрлэл нь өндөр температурт тархах, хайлуулах, нимгэн хальсан тунадасжуулах процесст индранил чулууны өвөрмөц шинж чанараас ашиг тус хүртдэг. Зүүний элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь эд ангийн урт наслалт нь үйлдвэрлэлийн өртөгт шууд нөлөөлдөг массын үйлдвэрлэлийн орчинд онцгой үнэ цэнэтэй юм.
4. Нарийвчлалтай оптик ба электроник боловсруулалт: Хагас дамжуулагчийн хэрэглээнээс гадна Sapphire Lift Pins нь эмзэг оптик эд анги, MEMS төхөөрөмж, бохирдолгүй боловсруулалт болон зурааснаас урьдчилан сэргийлэх чухал ач холбогдолтой тусгай суурьтай харьцахад ашиглагддаг. Тэдний цахилгаан тусгаарлагч шинж чанар нь электростатик мэдрэмтгий төхөөрөмжтэй холбоотой хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
XKH-ийн индранил өргөгч зүүний үйлчилгээ
XKH нь Sapphire Lift Pins-д зориулсан цогц техникийн дэмжлэг болон захиалгат шийдлүүдийг санал болгодог:
1. Захиалгат хөгжүүлэлтийн үйлчилгээ
· Хэмжээст, геометрийн болон гадаргуугийн боловсруулалтын тохиргоог дэмжих
· Материалын сонголт болон техникийн параметрийн оновчлолын зөвлөмж
· Хамтын бүтээгдэхүүний дизайн болон симуляцийн баталгаажуулалт
2. Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн чадавхи
· ±1μм доторх хүлцэл хязгаарыг хянадаг өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт
· Толин тусгал өнгөлгөө болон ирмэгийн налууг засах зэрэг тусгай боловсруулалт
· Наалдахаас хамгаалсан бүрхүүл гэх мэт гадаргуугийн өөрчлөлтийн нэмэлт шийдлүүд
3. Чанарын баталгаажуулалтын систем
· Ирж буй материалын хяналт шалгалт болон үйл явцын хяналтыг хатуу хэрэгжүүлэх
· Бүрэн хэмжээст оптик үзлэг болон гадаргуугийн морфологийн шинжилгээ
· Бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийн туршилтын тайланг гаргах
4. Нийлүүлэлтийн сүлжээний үйлчилгээ
· Стандарт бүтээгдэхүүнийг хурдан шуурхай хүргэх
· Гол дансны зориулалтын бараа материалын менежмент
5. Техникийн дэмжлэг
· Хэрэглээний шийдлийн зөвлөгөө
· Борлуулалтын дараах шуурхай хариу арга хэмжээ авах
Бид хагас дамжуулагч, LED болон бусад дэвшилтэт салбаруудын хатуу шаардлагыг хангахын тулд өндөр чанартай Sapphire Lift Pins бүтээгдэхүүн, мэргэжлийн техникийн үйлчилгээ үзүүлэхийг зорьж байна.
