HPSI SiC вафлийн диаметр: 3 инч зузаан: 350мм± 25 мкм Power Electronics-д зориулагдсан
Аппликейшн
HPSI SiC вафли нь цахилгаан электроникийн өргөн хүрээний хэрэглээнд ашиглагддаг бөгөөд үүнд:
Хүчний хагас дамжуулагч:SiC ваферуудыг цахилгаан диод, транзистор (MOSFET, IGBT) болон тиристор үйлдвэрлэхэд түгээмэл ашигладаг. Эдгээр хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэлийн моторын хөтлөгч, цахилгаан хангамж, сэргээгдэх эрчим хүчний системийн инвертер гэх мэт өндөр үр ашиг, найдвартай байдал шаарддаг цахилгаан хувиргах хэрэглээнд өргөн ашигладаг.
Цахилгаан тээврийн хэрэгсэл (EV):Цахилгаан тээврийн хэрэгслийн хөдөлгүүрт SiC дээр суурилсан цахилгаан төхөөрөмжүүд нь илүү хурдан шилжих хурд, илүү өндөр эрчим хүчний үр ашиг, дулааны алдагдлыг бууруулдаг. SiC бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь жинг багасгах, эрчим хүчний хувиргалтын үр ашгийг дээд зэргээр нэмэгдүүлэх нь чухал ач холбогдолтой батерейны удирдлагын систем (BMS), цэнэглэх дэд бүтэц, суурин цэнэглэгч (OBC) зэрэгт хэрэглэхэд тохиромжтой.
Сэргээгдэх эрчим хүчний системүүд:SiC хавтангууд нь нарны инвертер, салхин турбин үүсгүүр, эрчим хүчний хадгалах системд улам бүр ашиглагдаж байгаа бөгөөд өндөр үр ашиг, бат бөх чанар чухал юм. SiC дээр суурилсан бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь эдгээр хэрэглээнд илүү өндөр эрчим хүчний нягтрал, сайжруулсан гүйцэтгэлийг бий болгож, эрчим хүчний хувиргалтын нийт үр ашгийг сайжруулдаг.
Аж үйлдвэрийн цахилгаан электроник:Мотор хөтлөгч, робот техник, том хэмжээний цахилгаан хангамж зэрэг өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд SiC вафер ашиглах нь үр ашиг, найдвартай байдал, дулааны менежментийн хувьд сайжруулсан гүйцэтгэлийг бий болгодог. SiC төхөөрөмжүүд нь өндөр шилжих давтамж болон өндөр температурыг зохицуулж чаддаг тул хүнд нөхцөлд тохиромжтой.
Цахилгаан холбоо болон дата төвүүд:SiC-ийг харилцаа холбооны тоног төхөөрөмж болон дата төвүүдийн цахилгаан хангамжид ашигладаг бөгөөд өндөр найдвартай байдал, үр ашигтай эрчим хүчний хувиргалт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. SiC дээр суурилсан цахилгаан төхөөрөмжүүд нь жижиг хэмжээтэй үед илүү өндөр үр ашгийг бий болгодог бөгөөд энэ нь том хэмжээний дэд бүтцэд эрчим хүчний хэрэглээг бууруулж, хөргөлтийн үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.
SiC ваферуудын өндөр эвдрэлийн хүчдэл, бага эсэргүүцэл, маш сайн дулаан дамжуулалт нь тэдгээрийг эдгээр дэвшилтэт хэрэглээнд хамгийн тохиромжтой суурь болгож, дараагийн үеийн эрчим хүчний хэмнэлттэй цахилгаан электроникийг хөгжүүлэх боломжийг олгодог.
Үл хөдлөх хөрөнгө
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Ваферын диаметр | 3 инч (76.2 мм) |
| Ваферын зузаан | 350 µм ± 25 µм |
| Ваферын чиглэл | <0001> тэнхлэг дээр ± 0.5° |
| Микро хоолойн нягтрал (MPD) | ≤ 1 см⁻² |
| Цахилгаан эсэргүүцэл | ≥ 1E7 Ω·см |
| Допант | Доп хэрэглээгүй |
| Анхдагч Хавтгай Чиглэл | {11-20} ± 5.0° |
| Анхдагч хавтгай урт | 32.5 мм ± 3.0 мм |
| Хоёрдогч хавтгай урт | 18.0 мм ± 2.0 мм |
| Хоёрдогч хавтгай чиглэл | Si нүүр дээшээ: анхдагч хавтгайгаас 90° CW ± 5.0° |
| Ирмэгийн хасалт | 3 мм |
| LTV/TTV/Bow/Warp | 3 мкм / 10 мкм / ±30 μм / 40 μм |
| Гадаргуугийн барзгар байдал | C хэлбэрийн нүүр: Өнгөлсөн, Si хэлбэрийн нүүр: CMP |
| Хагарал (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | Байхгүй |
| Зургаан өнцөгт хавтан (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | Байхгүй |
| Политипийн хэсгүүд (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | Хуримтлагдсан талбай 5% |
| Зураас (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | ≤ 5 зураас, хуримтлагдсан урт ≤ 150 мм |
| Ирмэгийн зүсэлт | Зөвшөөрөгдөөгүй ≥ 0.5 мм өргөн ба гүн |
| Гадаргуугийн бохирдол (өндөр эрчимтэй гэрлээр шалгасан) | Байхгүй |
Гол давуу талууд
Өндөр дулаан дамжуулалт:SiC ваферууд нь дулааныг гадагшлуулах онцгой чадвараараа алдартай бөгөөд энэ нь цахилгаан төхөөрөмжүүдийг илүү өндөр үр ашигтайгаар ажиллуулж, хэт халалтгүйгээр өндөр гүйдлийг зохицуулах боломжийг олгодог. Энэ онцлог нь дулааны менежмент нь томоохон бэрхшээлтэй тулгардаг цахилгаан электроникийн салбарт чухал ач холбогдолтой юм.
Өндөр эвдрэлийн хүчдэл:SiC-ийн өргөн зурвасын зай нь төхөөрөмжүүдийг өндөр хүчдэлийн түвшинг тэсвэрлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь цахилгаан сүлжээ, цахилгаан тээврийн хэрэгсэл, үйлдвэрлэлийн машин механизм зэрэг өндөр хүчдэлийн хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
Өндөр үр ашиг:Өндөр шилжих давтамж болон бага эсэргүүцэлтэй төхөөрөмжүүдийн хослол нь эрчим хүчний алдагдал багатай төхөөрөмжүүдийг бий болгож, эрчим хүчний хувиргалтын нийт үр ашгийг сайжруулж, нарийн төвөгтэй хөргөлтийн системийн хэрэгцээг бууруулдаг.
Хатуу ширүүн орчинд найдвартай байдал:SiC нь өндөр температурт (600°C хүртэл) ажиллах чадвартай тул уламжлалт цахиур дээр суурилсан төхөөрөмжүүдэд гэмтэл учруулж болзошгүй орчинд ашиглахад тохиромжтой.
Эрчим хүчний хэмнэлт:SiC цахилгаан төхөөрөмжүүд нь эрчим хүчний хувиргалтын үр ашгийг сайжруулдаг бөгөөд энэ нь ялангуяа аж үйлдвэрийн цахилгаан хувиргагч, цахилгаан тээврийн хэрэгсэл, сэргээгдэх эрчим хүчний дэд бүтэц зэрэг томоохон системүүдэд эрчим хүчний хэрэглээг бууруулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
