BF33 Шилэн Вафер Дэвшилтэт Боросиликат Субстрат 2″4″6″8″12″
Дэлгэрэнгүй диаграмм
BF33 шилэн вафлийн тойм
BOROFLOAT 33 худалдааны нэрээр олон улсад хүлээн зөвшөөрөгдсөн BF33 шилэн хавтан нь SCHOTT-ийн тусгай бичил хөвөгч үйлдвэрлэлийн аргаар бүтээсэн дээд зэрэглэлийн боросиликат хөвөгч шил юм. Энэхүү үйлдвэрлэлийн процесс нь онцгой жигд зузаантай, маш сайн гадаргуугийн тэгш байдал, хамгийн бага бичил барзгаржилт, гайхалтай оптик тунгалаг байдлыг хангадаг.
BF33-ийн гол онцлог шинж чанар нь ойролцоогоор 3.3 × 10 дулааны тэлэлтийн бага коэффициент (CTE) юм.-6 K-1, үүнийг цахиурын суурьтай төгс зохицох болгодог. Энэ шинж чанар нь микроэлектроник, MEMS болон оптоэлектроник төхөөрөмжүүдэд стрессгүй интеграцчилал хийх боломжийг олгодог.
BF33 шилэн вафлийн материалын найрлага
BF33 нь боросиликат шилэн гэр бүлд багтдаг бөгөөд дараах зүйлсийг агуулдаг80% цахиурын давхар исэл (SiO2), борын исэл (B2O3), шүлтийн исэл болон хөнгөн цагааны ислийн ул мөрийн хамт. Энэхүү найрлага нь дараахь зүйлийг хангана.
-
Бага нягтралтайсод-шохойн шилтэй харьцуулахад нийт эд ангийн жинг бууруулдаг.
-
Шүлтлэг агууламж буурсан, мэдрэмтгий аналитик эсвэл биоанагаахын системд ионы уусалтыг багасгах.
-
Сайжруулсан эсэргүүцэлхүчил, шүлт болон органик уусгагчаас үүдэлтэй химийн халдлагад өртөх.
BF33 шилэн вафлийн үйлдвэрлэлийн үйл явц
BF33 шилэн вафлигуудыг нарийн хяналттай цуврал алхмуудаар үйлдвэрлэдэг. Нэгдүгээрт, өндөр цэвэршилттэй түүхий эд болох голчлон цахиур, борын исэл, ул мөр шүлт болон хөнгөн цагааны ислүүдийг нарийн жинлэж, холино. Багцыг өндөр температурт хайлуулж, бөмбөлөг болон хольцыг арилгахын тулд цэвэршүүлдэг. Микро хөвөгч процессыг ашиглан хайлсан шилийг хайлсан цагаан тугалган дээгүүр урсаж, маш хавтгай, нэгэн жигд хуудас үүсгэдэг. Эдгээр хуудсыг дотоод стрессийг арилгахын тулд аажмаар хатааж, дараа нь тэгш өнцөгт хавтан болгон зүсэж, дугуй вафли болгон хоосолдог. Вафлины ирмэгийг бат бөх чанарыг хангахын тулд налуу эсвэл налуу хэлбэртэй болгож, дараа нь хэт гөлгөр гадаргуу авахын тулд нарийн өнгөлж, хоёр талт өнгөлгөө хийдэг. Цэвэр өрөөнд хэт авианы цэвэрлэгээ хийсний дараа вафли бүрийг хэмжээс, тэгш байдал, оптик чанар, гадаргуугийн согогийг нарийн шалгадаг. Эцэст нь вафлигуудыг ашиглах хүртэл чанарыг хадгалахын тулд бохирдолгүй саванд савладаг.
BF33 шилэн вафлийн механик шинж чанарууд
| Бүтээгдэхүүн | БОРОФЛОАТ 33 |
| Нягтрал | 2.23 г/см3 |
| Уян хатан чанарын модуль | 63 кН/мм2 |
| Knoop хатуулаг HK 0.1/20 | 480 |
| Пуассоны харьцаа | 0.2 |
| Диэлектрик тогтмол (@ 1 МГц ба 25°C) | 4.6 |
| Алдагдлын тангенс (@ 1 МГц ба 25°C) | 37 x 10-4 |
| Диэлектрик хүч чадал (@ 50 Гц & 25°C) | 16 кВ/мм |
| Хугарлын индекс | 1.472 |
| Тархалт (nF - nC) | 71.9 x 10-4 |
BF33 шилэн вафлийн талаар байнга асуудаг асуултууд
BF33 шил гэж юу вэ?
BF33 буюу BOROFLOAT® 33 гэж нэрлэгддэг энэхүү шил нь SCHOTT-ийн бичил хөвөгч процессыг ашиглан үйлдвэрлэсэн дээд зэрэглэлийн боросиликат хөвөгч шил юм. Энэ нь дулааны тэлэлт багатай (~3.3 × 10⁻⁶ K⁻¹), дулааны цохилтод маш сайн тэсвэртэй, өндөр оптик тунгалаг байдал, гайхалтай химийн бат бөх чанарыг санал болгодог.
BF33 нь ердийн шилнээс юугаараа ялгаатай вэ?
Сод-шохойн шилтэй харьцуулахад BF33:
-
Дулааны тэлэлтийн коэффициент нь хамаагүй бага тул температурын өөрчлөлтөөс үүдэлтэй стрессийг бууруулдаг.
-
Хүчил, шүлт болон уусгагч бодисуудад химийн хувьд илүү тэсвэртэй.
-
Хэт ягаан туяа болон хэт улаан туяаны дамжуулалтыг илүү өндөр түвшинд хангадаг.
-
Илүү сайн механик бат бөх чанар болон зураасны эсэргүүцлийг хангадаг.
BF33-ийг яагаад хагас дамжуулагч болон MEMS програмуудад ашигладаг вэ?
Дулааны тэлэлт нь цахиуртай маш төстэй тул анодын холбоо болон бичил үйлдвэрлэлд тохиромжтой. Химийн бат бөх чанар нь мөн задралгүйгээр сийлбэр, цэвэрлэгээ болон өндөр температурын процессыг тэсвэрлэх боломжийг олгодог.
BF33 нь өндөр температурыг тэсвэрлэж чадах уу?
-
Тасралтгүй хэрэглээ: ~450 °C хүртэл
-
Богино хугацааны өртөлт (≤ 10 цаг): ~500 °C хүртэл
Түүний бага CTE нь мөн температурын огцом өөрчлөлтөд маш сайн тэсвэртэй болгодог.
Бидний тухай
XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.











