Өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх зориулалттай 12 инчийн индранил вафер

Товч тайлбар:

12 инчийн индранил хавтанг том талбайтай, өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч болон оптоэлектроник үйлдвэрлэлийн өсөн нэмэгдэж буй эрэлтийг хангах зорилгоор бүтээгдсэн. Төхөөрөмжийн архитектур өргөжиж, үйлдвэрлэлийн шугамууд илүү том вафлийн формат руу шилжих тусам хэт том диаметртэй индранил суурь нь бүтээмж, ургацын оновчлол, өртгийн хяналт зэрэгт тодорхой давуу талуудыг санал болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

12 инчийн индранил вафлийн танилцуулга

Өндөр цэвэршилттэй дан талст Al₂O₃-оор үйлдвэрлэсэн манай 12 инчийн индранил хавтангууд нь маш сайн механик бат бөх, дулааны тогтвортой байдал, гадаргуугийн чанарыг хослуулсан. Эдгээр суурь нь оновчтой болор ургалт болон нарийвчлалтай хавтангийн боловсруулалтын ачаар дэвшилтэт LED, GaN болон тусгай хагас дамжуулагч хэрэглээнд найдвартай гүйцэтгэлийг хангадаг.

Материалын шинж чанар

Саффир (дан талст хөнгөн цагааны исэл, Al₂O₃) нь гайхалтай физик болон химийн шинж чанараараа алдартай. 12 инчийн индранил хавтангууд нь индранил материалын бүх давуу талыг өвлөн авахын зэрэгцээ ашиглах боломжтой гадаргуугийн талбайг илүү томруулдаг.

Материалын гол шинж чанарууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.

Маш өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй
Маш сайн дулааны тогтвортой байдал ба өндөр хайлах цэг
Хүчил ба шүлтэд химийн өндөр эсэргүүцэлтэй
Хэт ягаан туяанаас хэт улаан туяа хүртэлх долгионы уртад өндөр оптик тунгалаг байдал
Маш сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанар

Эдгээр шинж чанарууд нь 12 инчийн индранил вафлийг хатуу ширүүн боловсруулалтын орчин болон өндөр температурт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст тохиромжтой болгодог.

Үйлдвэрлэлийн үйл явц

12 инчийн индранил вафли үйлдвэрлэхэд дэвшилтэт болор ургалт болон хэт нарийвчлалтай боловсруулах технологи шаардлагатай. Үйлдвэрлэлийн ердийн процесст дараахь зүйлс орно.

Ганц талст өсөлт
Өндөр цэвэршилттэй индранил талстуудыг KY эсвэл бусад том диаметртэй талст ургуулах технологи зэрэг дэвшилтэт аргуудыг ашиглан ургуулдаг бөгөөд энэ нь талстын жигд чиглэл, дотоод стрессийг бага байлгах боломжийг олгодог.
Кристал хэлбэржүүлэх ба зүсэх
Индранил чулуун гулдмайг нарийн хэлбэржүүлж, өндөр нарийвчлалтай зүсэх төхөөрөмж ашиглан 12 инчийн вафли болгон зүссэн тул газрын доорхи эвдрэлийг хамгийн бага байлгадаг.
Өнгөлгөө болон өнгөлгөө
Гадаргуугийн барзгаржилт, тэгш байдал, зузааны жигд байдлыг маш сайн хангахын тулд олон үе шаттай давхцах болон химийн механик өнгөлгөө (CMP) процессыг ашигладаг.
Цэвэрлэгээ ба үзлэг
12 инчийн индранил хавтангийн бүрийг сайтар цэвэрлэж, гадаргуугийн чанар, TTV, нум, гажуудал, согогийн шинжилгээ зэрэг хатуу шалгалтанд хамруулдаг.

Аппликейшнүүд

12 инчийн индранил хавтангууд нь дэвшилтэт болон шинээр гарч ирж буй технологиудад өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд үүнд:

Өндөр хүчин чадалтай, өндөр тод LED суурьтай
GaN дээр суурилсан цахилгаан төхөөрөмжүүд болон RF төхөөрөмжүүд
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн тээвэрлэгч ба тусгаарлагч суурь
Оптик цонх болон том талбайн оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Дэвшилтэт хагас дамжуулагч сав баглаа боодол болон тусгай процессын тээвэрлэгчид

Том диаметр нь илүү өндөр бүтээмжийг бий болгож, массын үйлдвэрлэлд өртгийн үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.

12 инчийн индранил вафлийн давуу талууд

Нэг вафль тутамд төхөөрөмжийн гаралтыг нэмэгдүүлэхийн тулд ашиглах боломжтой талбайг илүү томруулсан
Үйл явцын тогтвортой байдал, жигд байдлыг сайжруулсан
Өндөр хэмжээний үйлдвэрлэлд төхөөрөмж тус бүрийн өртөг буурсан
Том хэмжээтэй тээвэрлэлтэд маш сайн механик бат бөх чанар
Төрөл бүрийн хэрэглээнд тохируулан өөрчлөх боломжтой үзүүлэлтүүд

Тохируулгын сонголтууд

Бид 12 инчийн индранил вафлинд уян хатан тохируулга хийхийг санал болгож байна, үүнд:

Кристал чиглэл (C хавтгай, A хавтгай, R хавтгай гэх мэт)
Зузаан ба диаметрийн хүлцэл
Нэг талт эсвэл хоёр талт өнгөлгөө
Ирмэгийн профайл ба өнцөгт загвар
Гадаргуугийн барзгар ба тэгш байдлын шаардлага

Параметр	Тодорхойлолт	Тэмдэглэл
Ваферын диаметр	12 инч (300 мм)	Стандарт том диаметртэй вафли
Материал	Дан талст индранил (Al₂O₃)	Өндөр цэвэршилттэй, электрон/оптик зэрэглэлийн
Кристал чиглэл	C-хавтгай (0001), A-хавтгай (11-20), R-хавтгай (1-102)	Нэмэлт чиглэлүүд боломжтой
Зузаан	430–500 мкм	Хүсэлтийн дагуу захиалгат зузаан авах боломжтой
Зузаан тэсвэрлэх чадвар	±10 мкм	Дэвшилтэт төхөөрөмжүүдэд зориулсан хатуу хүлцэл
Нийт зузааны хэлбэлзэл (TTV)	≤10 мкм	Вафлины бүх хэсэгт жигд боловсруулалтыг баталгаажуулдаг
Нум	≤50 мкм	Бүхэл бүтэн вафли дээгүүр хэмжсэн
Гажуудал	≤50 мкм	Бүхэл бүтэн вафли дээгүүр хэмжсэн
Гадаргуугийн өнгөлгөө	Нэг талдаа өнгөлсөн (SSP) / Хоёр талдаа өнгөлсөн (DSP)	Өндөр оптик чанартай гадаргуу
Гадаргуугийн барзгаржилт (Ra)	≤0.5 нм (өнгөлсөн)	Эпитаксиал өсөлтийн атомын түвшний жигд байдал
Ирмэгийн профайл	Хажуугийн ирмэг / Бөөрөнхий ирмэг	Ашиглалтын явцад хагарал үүсэхээс сэргийлнэ
Чиглэлийн нарийвчлал	±0.5°	Эпитаксиал давхаргын зөв өсөлтийг хангана
Согогийн нягтрал	<10 см⁻²	Оптик үзлэгээр хэмжсэн
Хавтгай байдал	≤2 μм / 100 мм	Литографи ба эпитаксиал өсөлтийг жигд байлгадаг
Цэвэр байдал	100-р анги – 1000-р анги	Цэвэр өрөөтэй нийцтэй
Оптик дамжуулалт	>85% (Хэт ягаан туяа–IR)	Долгионы урт болон зузаанаас хамаарна

12 инчийн индранил вафлийн тухай түгээмэл асуултууд

А1: 12 инчийн индранил хавтангийн стандарт зузаан хэд вэ?
А: Стандарт зузаан нь 430 мкм-ээс 500 мкм хооронд хэлбэлздэг. Мөн захиалагчийн шаардлагын дагуу захиалгаар зузааныг үйлдвэрлэж болно.

А2: 12 инчийн индранил вафлинд ямар болор чиглэлүүд байдаг вэ?
А: Бид C хэлбэрийн (0001), A хэлбэрийн (11-20) болон R хэлбэрийн (1-102) чиглэлийг санал болгодог. Бусад чиглэлийг төхөөрөмжийн тодорхой шаардлагад үндэслэн өөрчилж болно.

А3: Вафлийн нийт зузааны хэлбэлзэл (TTV) хэд вэ?
А: Манай 12 инчийн индранил хавтангууд нь ихэвчлэн TTV ≤10 μм хэмжээтэй байдаг бөгөөд энэ нь өндөр чанартай төхөөрөмж үйлдвэрлэхийн тулд хавтангийн бүх гадаргуу дээр жигд байдлыг хангадаг.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.