Хагас дамжуулагч цахиур хавтан эсвэл бусад материалаар хийсэн субстратыг шалгахдаа бид ихэвчлэн TTV, BOW, WARP, магадгүй TIR, STIR, LTV гэх мэт техникийн үзүүлэлтүүдтэй тулгардаг. Эдгээр нь ямар параметрүүдийг илэрхийлж байна вэ?
TTV - Нийт зузаанын өөрчлөлт
НУМ - Нум
WARP - Warp
TIR - Нийт заасан заалт
STIR — Сайтын нийт заасан уншилт
LTV - Орон нутгийн зузаанын өөрчлөлт
1. Нийт зузааны өөрчлөлт — TTV
Өргөст хавтанг хавчих ба нягт холбоо барих үед жишиг хавтгайтай харьцуулахад хамгийн их ба хамгийн бага зузаан хоорондын зөрүү. Энэ нь ерөнхийдөө микрометрээр (мкм) илэрхийлэгддэг бөгөөд ихэвчлэн дараах байдлаар илэрхийлэгддэг: ≤15 μm.
2. Нум - Нум
Өрөөний гадаргуугийн төв цэгээс жишиг хавтгай хүртэлх хамгийн бага ба хамгийн их зайны хоорондох хазайлт нь өрөм нь чөлөөтэй (хавчлагагүй) төлөвт байна. Үүнд хотгор (сөрөг нум) ба гүдгэр (эерэг нум) тохиолдлууд багтана. Энэ нь ихэвчлэн микрометрээр (μм) илэрхийлэгддэг бөгөөд ихэвчлэн дараах байдлаар илэрхийлэгддэг: ≤40 μm.
3. Warp — WARP
Өргөст хавтан чөлөөтэй (хавчлагагүй) төлөвт байх үед хавтангийн гадаргуугаас жишиг хавтгай хүртэлх хамгийн бага ба хамгийн их зай хоорондын хазайлт (ихэвчлэн арын гадаргуу). Үүнд хотгор (сөрөг муруй) болон гүдгэр (эерэг нугалах) тохиолдлууд хоёулаа орно. Энэ нь ерөнхийдөө микрометрээр (мкм) илэрхийлэгддэг бөгөөд ихэвчлэн дараах байдлаар илэрхийлэгддэг: ≤30 μm.
4. Нийт заасан заалт — TIR
Өргөст цаасыг хавчих ба нягт холбоо барих үед чанарын бүсийн бүх цэгүүдийн огтлолцлын нийлбэрийг багасгаж, хавтанцарын гадаргуу дээрх тодорхой орон нутгийн бүсийг ашиглан лавлагааны хавтгайг ашиглах үед TIR нь вафель гадаргуугаас энэ жишиг хавтгай хүртэлх хамгийн их ба хамгийн бага зайны хоорондох хазайлт юм.
TTV, BOW, WARP, TIR зэрэг хагас дамжуулагч материалын техникийн үзүүлэлтүүд дээр үндэслэсэн XKH нь үйлдвэрлэлийн хатуу стандартад нийцсэн нарийн ширхэгтэй зүсмэл хавтанг боловсруулах үйлчилгээг үзүүлдэг. Бид индранил, цахиурын карбид (SiC), цахиурын хавтан, SOI, кварц зэрэг өндөр хүчин чадалтай материалыг нийлүүлж, дэмжиж, оптоэлектроник, цахилгаан төхөөрөмж, MEMS-ийн дэвшилтэт хэрэглээнд онцгой тэгш, зузаан тууштай, гадаргуугийн чанарыг баталгаажуулдаг. Таны хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй дизайны шаардлагад нийцсэн найдвартай материалын шийдэл, нарийн боловсруулалтыг хүргэхийг бидэнд итгээрэй.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 8-р сарын 29-ний хооронд



