Өрөөнд байгаа TTV, BOW, WARP, TIR нь юу гэсэн үг вэ?

Хагас дамжуулагч цахиур хавтан эсвэл бусад материалаар хийсэн субстратыг шалгахдаа бид ихэвчлэн TTV, BOW, WARP, магадгүй TIR, STIR, LTV гэх мэт техникийн үзүүлэлтүүдтэй тулгардаг. Эдгээр нь ямар параметрүүдийг илэрхийлж байна вэ?

 

TTV - Нийт зузаанын өөрчлөлт
НУМ - Нум
WARP - Warp
TIR - Нийт заасан заалт
STIR — Сайтын нийт заасан уншилт
LTV - Орон нутгийн зузаанын өөрчлөлт

 

1. Нийт зузааны өөрчлөлт — TTV

da81be48e8b2863e21d68a6b25f09db7Өргөст хавтанг хавчих ба нягт холбоо барих үед жишиг хавтгайтай харьцуулахад хамгийн их ба хамгийн бага зузаан хоорондын зөрүү. Энэ нь ерөнхийдөө микрометрээр (мкм) илэрхийлэгддэг бөгөөд ихэвчлэн дараах байдлаар илэрхийлэгддэг: ≤15 μm.

 

2. Нум - Нум

081e298fdd6abf4be6f882cfbb704f12

Өрөөний гадаргуугийн төв цэгээс жишиг хавтгай хүртэлх хамгийн бага ба хамгийн их зайны хоорондох хазайлт нь өрөм нь чөлөөтэй (хавчлагагүй) төлөвт байна. Үүнд хотгор (сөрөг нум) ба гүдгэр (эерэг нум) тохиолдлууд багтана. Энэ нь ихэвчлэн микрометрээр (μм) илэрхийлэгддэг бөгөөд ихэвчлэн дараах байдлаар илэрхийлэгддэг: ≤40 μm.

 

3. Warp — WARP

e3c709bbb4ed2b11345e6a942df24fa4

Өргөст хавтан чөлөөтэй (хавчлагагүй) төлөвт байх үед хавтангийн гадаргуугаас жишиг хавтгай хүртэлх хамгийн бага ба хамгийн их зай хоорондын хазайлт (ихэвчлэн арын гадаргуу). Үүнд хотгор (сөрөг муруй) болон гүдгэр (эерэг нугалах) тохиолдлууд хоёулаа орно. Энэ нь ерөнхийдөө микрометрээр (мкм) илэрхийлэгддэг бөгөөд ихэвчлэн дараах байдлаар илэрхийлэгддэг: ≤30 μm.

 

4. Нийт заасан заалт — TIR

8923bc5c7306657c1df01ff3ccffe6b4

 

Өргөст цаасыг хавчих ба нягт холбоо барих үед чанарын бүсийн бүх цэгүүдийн огтлолцлын нийлбэрийг багасгаж, хавтанцарын гадаргуу дээрх тодорхой орон нутгийн бүсийг ашиглан лавлагааны хавтгайг ашиглах үед TIR нь вафель гадаргуугаас энэ жишиг хавтгай хүртэлх хамгийн их ба хамгийн бага зайны хоорондох хазайлт юм.

 

TTV, BOW, WARP, TIR зэрэг хагас дамжуулагч материалын техникийн үзүүлэлтүүд дээр үндэслэсэн XKH нь үйлдвэрлэлийн хатуу стандартад нийцсэн нарийн ширхэгтэй зүсмэл хавтанг боловсруулах үйлчилгээг үзүүлдэг. Бид индранил, цахиурын карбид (SiC), цахиурын хавтан, SOI, кварц зэрэг өндөр хүчин чадалтай материалыг нийлүүлж, дэмжиж, оптоэлектроник, цахилгаан төхөөрөмж, MEMS-ийн дэвшилтэт хэрэглээнд онцгой тэгш, зузаан тууштай, гадаргуугийн чанарыг баталгаажуулдаг. Таны хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй дизайны шаардлагад нийцсэн найдвартай материалын шийдэл, нарийн боловсруулалтыг хүргэхийг бидэнд итгээрэй.

 

https://www.xkh-semitech.com/single-crystal-silicon-wafer-si-substrate-type-np-optional-silicon-carbide-wafer-product/

 


Шуудангийн цаг: 2025 оны 8-р сарын 29-ний хооронд