TTV, BOW, WARP, TIR нь вафлинд юу гэсэн үг вэ?

Хагас дамжуулагч цахиурын вафли эсвэл бусад материалаар хийсэн субстратыг шалгахдаа бид TTV, BOW, WARP, мөн TIR, STIR, LTV гэх мэт техникийн үзүүлэлтүүдтэй ихэвчлэн тулгардаг. Эдгээр нь ямар параметрүүдийг илэрхийлдэг вэ?

TTV — Нийт зузааны хэлбэлзэл
БУМ — БУМ
WARP — Warp
TIR — Нийт заалт
STIR — Талбайн нийт заалт
LTV — Орон нутгийн зузааны өөрчлөлт

1. Нийт зузааны өөрчлөлт — TTV

Ваферийг хавчаараар бэхэлгээтэй, нягт холбоо барих үед лавлах хавтгайтай харьцуулахад ваферийн хамгийн их ба хамгийн бага зузааны зөрүү. Үүнийг ерөнхийдөө микрометрээр (μм) илэрхийлдэг бөгөөд ихэвчлэн ≤15 μм гэж дүрсэлдэг.

2. Нум — Нум

Вафер чөлөөтэй (хавчааргүй) төлөвт байх үед ваферийн гадаргуугийн төв цэгээс лавлах хавтгай хүртэлх хамгийн бага ба хамгийн их зайны хоорондох хазайлт. Үүнд хотгор (сөрөг нум) болон гүдгэр (эерэг нум) тохиолдлууд багтана. Үүнийг ихэвчлэн микрометрээр (μм) илэрхийлдэг бөгөөд ихэвчлэн ≤40 μм гэж дүрсэлдэг.

3. Гажуудал — Гажуудал

Вафер чөлөөтэй (хавчааргүй) төлөвт байх үед ваферийн гадаргуугаас лавлах хавтгай (ихэвчлэн ваферийн арын гадаргуу) хүртэлх хамгийн бага ба хамгийн их зайны хоорондох хазайлт. Үүнд хотгор (сөрөг гажуудал) болон гүдгэр (эерэг гажуудал) тохиолдлууд багтана. Үүнийг ерөнхийдөө микрометрээр (μm) илэрхийлдэг бөгөөд ихэвчлэн ≤30 μm гэж илэрхийлдэг.

4. Нийт заалтын заалт — TIR

Чанарын бүс эсвэл вафлийн гадаргуу дээрх тодорхой орон нутгийн бүс дэх бүх цэгүүдийн огтлолцолын нийлбэрийг хамгийн бага байлгадаг лавлах хавтгайг ашиглан вафлийг хавчаараар бэхэлж, нягт холбоо барих үед TIR нь вафлийн гадаргуугаас энэхүү лавлах хавтгай хүртэлх хамгийн их ба хамгийн бага зайн хоорондох хазайлт юм.

TTV, BOW, WARP, TIR зэрэг хагас дамжуулагч материалын техникийн үзүүлэлтүүдийн талаар гүнзгий мэргэшсэн XKH нь салбарын хатуу стандартад нийцүүлэн нарийн захиалгат вафли боловсруулах үйлчилгээ үзүүлдэг. Бид индранил, цахиурын карбид (SiC), цахиурын вафли, SOI, кварц зэрэг өндөр хүчин чадалтай олон төрлийн материалыг нийлүүлж, дэмждэг бөгөөд оптоэлектроник, цахилгаан төхөөрөмж, MEMS зэрэг дэвшилтэт хэрэглээнд зориулсан онцгой тэгш байдал, зузаан тууштай байдал, гадаргуугийн чанарыг баталгаажуулдаг. Таны хамгийн өндөр шаардлагад нийцсэн найдвартай материалын шийдэл, нарийн боловсруулалтыг бидэнд итгээрэй.