Хагас дамжуулагч технологийн тасралтгүй хөгжлийг дагаад хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, тэр ч байтугай фотоволтайкийн үйлдвэрлэлд вафли суурь буюу эпитаксиаль хуудасны гадаргуугийн чанарт тавигдах шаардлага маш хатуу байдаг. Тэгэхээр вафлины чанарын шаардлага юу вэ?индранил вафлиЖишээ нь, вафлины гадаргуугийн чанарыг үнэлэхэд ямар үзүүлэлтүүдийг ашиглаж болох вэ?
Вафлины үнэлгээний үзүүлэлтүүд юу вэ?
Гурван үзүүлэлт
Сафиран хавтангийн хувьд түүний үнэлгээний үзүүлэлтүүд нь нийт зузааны хазайлт (TTV), нугалалт (Bow) болон гажуудал (Warp) юм. Эдгээр гурван параметр нь цахиурын хавтангийн тэгш байдал болон зузааны жигд байдлыг тусгадаг бөгөөд хавтангийн долгионы түвшинг хэмжиж болно. Атираат байдлыг хавтгай байдалтай хослуулан хавтангийн гадаргуугийн чанарыг үнэлж болно.
TTV, BOW, Warp гэж юу вэ?
TTV (Нийт зузааны хэлбэлзэл)
TTV нь вафлийн хамгийн их ба хамгийн бага зузааны зөрүү юм. Энэ параметр нь вафлийн зузааны жигд байдлыг хэмжихэд ашиглагддаг чухал индекс юм. Хагас дамжуулагч процесст вафлийн зузаан нь бүх гадаргуу дээр маш жигд байх ёстой. Хэмжилтийг ихэвчлэн вафлийн таван газарт хийж, зөрүүг тооцоолно. Эцсийн эцэст энэ утга нь вафлийн чанарыг үнэлэх чухал үндэс суурь болдог.
Нум
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд нум гэдэг нь хавчааргүй нумын дунд цэг болон лавлах хавтгайн хоорондох зайг чөлөөлж, вафлийн нугаралтыг хэлнэ. Энэ үг нь нумын муруй хэлбэртэй адил нугалсан объектын хэлбэрийн тодорхойлолтоос гаралтай байх. Нумын утгыг цахиурын вафийн төв ба ирмэгийн хоорондох хазайлтыг хэмжих замаар тодорхойлдог. Энэ утгыг ихэвчлэн микрометрээр (µm) илэрхийлдэг.
Гажуудал
Гажуудал гэдэг нь чөлөөтэй бэхлээгүй вафлийн дунд хэсэг ба лавлах хавтгай хоорондох хамгийн их ба хамгийн бага зайны зөрүүг хэмждэг вафлийн дэлхийн шинж чанар юм. Энэ нь цахиурын вафлийн гадаргуугаас хавтгай хүртэлх зайг илэрхийлнэ.
TTV, Bow, Warp хоёрын ялгаа юу вэ?
TTV нь зузааны өөрчлөлтөд анхаарлаа төвлөрүүлдэг бөгөөд вафлийн нугалалт эсвэл гажуудалд анхаарал хандуулдаггүй.
Нум нь ерөнхий нугаралтад анхаарлаа төвлөрүүлдэг бөгөөд голчлон төв цэг ба ирмэгийн нугаралтыг харгалзан үздэг.
Ваферын гадаргууг бүхэлд нь нугалж, мушгих зэрэг илүү цогц арга нь гажуудал юм.
Эдгээр гурван параметр нь цахиурын нимгэн талстны хэлбэр болон геометрийн шинж чанартай холбоотой боловч тэдгээрийг өөр өөрөөр хэмжиж, тайлбарладаг бөгөөд хагас дамжуулагч процесс болон нимгэн талст боловсруулахад үзүүлэх нөлөө нь мөн өөр өөр байдаг.
Гурван параметр бага байх тусам сайн бөгөөд параметр том байх тусам хагас дамжуулагч процесст сөргөөр нөлөөлнө. Тиймээс хагас дамжуулагч мэргэжилтэн хүний хувьд бид бүхэл бүтэн процессын хувьд ваферын профайлын параметрүүдийн ач холбогдлыг ойлгож, хагас дамжуулагч процессыг хийж, нарийн ширийн зүйлийг анхаарч үзэх ёстой.
(цензур)
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 6-р сарын 24