Хагас дамжуулагчийн технологийг тасралтгүй хөгжүүлснээр хагас дамжуулагчийн үйлдвэр, тэр ч байтугай фотоволтайкийн үйлдвэрт вафлайн субстрат эсвэл эпитаксиаль хавтангийн гадаргуугийн чанарт тавигдах шаардлага маш хатуу байдаг. Тэгэхээр өрмөнцөрт тавигдах чанарын шаардлага юу вэ? Авч байнаиндранил хавтанЖишээ нь, хавтанцарын гадаргуугийн чанарыг ямар үзүүлэлтээр үнэлэх вэ?
Өргөст ялтсын үнэлгээний үзүүлэлтүүд юу вэ?
Гурван үзүүлэлт
Индранил хавтангийн хувьд түүний үнэлгээний үзүүлэлтүүд нь нийт зузаанын хазайлт (TTV), гулзайлтын (Нум) болон Warp (Warp) юм. Эдгээр гурван параметр нь нийлээд цахиур хавтанцарын тэгш, зузаан жигд байдлыг тусгаж, вафель долгионы зэрэглэлийг хэмжих боломжтой. Атираат хавтангийн гадаргуугийн чанарыг үнэлэхийн тулд тэгш өнцөгттэй хослуулж болно.
TTV, BOW, Warp гэж юу вэ?
TTV (Нийт зузаанын өөрчлөлт)
TTV нь вафельний хамгийн дээд ба хамгийн бага зузаан хоорондын зөрүү юм. Энэ үзүүлэлт нь вафель зузаан жигд байдлыг хэмжихэд хэрэглэгддэг чухал үзүүлэлт юм. Хагас дамжуулагчийн процесст вафель зузаан нь бүх гадаргуу дээр маш жигд байх ёстой. Хэмжилтийг ихэвчлэн хавтан дээрх таван байршилд хийдэг бөгөөд зөрүүг тооцдог. Эцсийн эцэст энэ үнэ цэнэ нь вафельний чанарыг үнэлэх чухал үндэс суурь юм.
Нум
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нум гэдэг нь хавчааргүй хавтан ба жишиг хавтгайн хоорондох зайг чөлөөлж, өргүүрийн гулзайлтыг хэлдэг. Энэ үг нь нум нумын муруй хэлбэр шиг нугалж байх үеийн дүрсийг дүрсэлсэн үгнээс гаралтай байх. Bow утгыг цахиурын хавтан ба ирмэгийн хоорондох хазайлтыг хэмжих замаар тодорхойлно. Энэ утгыг ихэвчлэн микрометрээр (μм) илэрхийлдэг.
Муухай
Warp нь чөлөөтэй тайлагдаагүй өргүүрийн дунд хэсэг ба жишиг хавтгай хоорондын хамгийн их ба хамгийн бага зайны зөрүүг хэмждэг вафельний дэлхийн өмч юм. Цахиур хавтангийн гадаргуугаас хавтгай хүртэлх зайг илэрхийлнэ.
TTV, Bow, Warp хоёрын ялгаа юу вэ?
TTV нь зузааны өөрчлөлтөд анхаарлаа хандуулдаг бөгөөд вафельний гулзайлтын болон гажуудалд огт хамаагүй.
Bow нь голчлон төв цэг ба ирмэгийн гулзайлтыг харгалзан ерөнхий гулзайлтад анхаарлаа хандуулдаг.
Warp нь бүхэл хавтангийн гадаргууг гулзайлгах, мушгих зэрэг илүү өргөн хүрээтэй байдаг.
Хэдийгээр эдгээр гурван параметр нь цахиурын хавтанцарын хэлбэр, геометрийн шинж чанартай холбоотой боловч тэдгээрийг хэмжиж, өөр өөрөөр тайлбарладаг бөгөөд хагас дамжуулагчийн процесс болон вафель боловсруулалтад үзүүлэх нөлөөлөл нь мөн өөр өөр байдаг.
Гурван үзүүлэлт бага байх тусмаа сайн, том байх тусам хагас дамжуулагчийн үйл явцад үзүүлэх сөрөг нөлөөлөл нэмэгдэнэ. Тиймээс хагас дамжуулагчийн мэргэжилтний хувьд бид бүхэл бүтэн процессын процессын хувьд вафель профилын параметрүүдийн ач холбогдлыг ухамсарлаж, хагас дамжуулагч процессыг хийж, нарийн ширийн зүйлийг анхаарч үзэх хэрэгтэй.
(цензур)
Шуудангийн цаг: 2024 оны 6-р сарын 24-ний хооронд