Одоогийн байдлаар манай компани 8 инчийн N төрлийн SiC өргүүрийн жижиг багцыг үргэлжлүүлэн нийлүүлэх боломжтой, хэрэв танд дээж авах шаардлагатай бол надтай холбоо барина уу. Бидэнд илгээхэд бэлэн дээжийн вафель бэлэн байна.
Хагас дамжуулагч материалын салбарт том хэмжээний SiC талстыг судлах, хөгжүүлэх чиглэлээр томоохон нээлт хийсэн. Диаметрийг олон удаа томруулсны дараа өөрийн үрийн талстыг ашигласнаар тус компани 8 инчийн N хэлбэрийн SiC талстыг амжилттай ургуулж чадсан нь жигд бус температурын талбай, талст хагарал, хийн фазын түүхий эдийн тархалт зэрэг хүндрэлтэй асуудлуудыг шийдэж чадсан. 8 инчийн SIC талстууд, том хэмжээтэй SIC талстуудын өсөлтийг хурдасгаж, бие даасан, хянах боломжтой боловсруулах технологи. SiC нэг болор субстратын салбарт компанийн үндсэн өрсөлдөх чадварыг ихээхэн нэмэгдүүлэх. Үүний зэрэгцээ тус компани нь том хэмжээтэй цахиурын карбидын субстрат бэлтгэх туршилтын шугамын технологи, процессын хуримтлалыг идэвхтэй дэмжиж, дээд болон доод талбарт техникийн солилцоо, үйлдвэрлэлийн хамтын ажиллагааг бэхжүүлж, бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг байнга давтахын тулд үйлчлүүлэгчидтэй хамтран ажилладаг. цахиурын карбидын материалын үйлдвэрлэлийн хэрэглээний хурдыг дэмждэг.
| 8 инчийн N төрлийн SiC DSP үзүүлэлт | |||||
| Тоо | Зүйл | Нэгж | Үйлдвэрлэл | Судалгаа | Дамми |
| 1. Параметрүүд | |||||
| 1.1 | политип | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | гадаргуугийн чиг баримжаа | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2. Цахилгааны параметр | |||||
| 2.1 | допант | -- | n төрлийн азот | n төрлийн азот | n төрлийн азот |
| 2.2 | эсэргүүцэл | ом ·см | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3. Механик үзүүлэлт | |||||
| 3.1 | диаметр | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | зузаан | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Ховилын чиг баримжаа | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Ховилын гүн | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | мкм | ≤5(10мм*10мм) | ≤5(10мм*10мм) | ≤10(10мм*10мм) |
| 3.6 | TTV | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Нум | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Муухай | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4. Бүтэц | |||||
| 4.1 | бичил хоолойн нягт | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | металлын агууламж | атом/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Эерэг чанар | |||||
| 5.1 | урд | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | гадаргуугийн өнгөлгөө | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | бөөмс | ea/wafer | ≤100(хэмжээ≥0.3μм) | NA | NA |
| 5.4 | зураас | ea/wafer | ≤5,Нийт урт≤200мм | NA | NA |
| 5.5 | Ирмэг чипс / догол / ан цав / толбо / бохирдол | -- | Байхгүй | Байхгүй | NA |
| 5.6 | Политип талбайнууд | -- | Байхгүй | Талбай ≤10% | Талбай ≤30% |
| 5.7 | урд талын тэмдэглэгээ | -- | Байхгүй | Байхгүй | Байхгүй |
| 6. Арын чанар | |||||
| 6.1 | арын дуусгах | -- | С нүүртэй УИХ-ын гишүүн | С нүүртэй УИХ-ын гишүүн | С нүүртэй УИХ-ын гишүүн |
| 6.2 | зураас | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Арын гажиг ирмэг чипс/догол | -- | Байхгүй | Байхгүй | NA |
| 6.4 | Нурууны барзгар байдал | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Буцах тэмдэглэгээ | -- | Ховил | Ховил | Ховил |
| 7. Ирмэг | |||||
| 7.1 | ирмэг | -- | Хагархай | Хагархай | Хагархай |
| 8. Багц | |||||
| 8.1 | сав баглаа боодол | -- | Вакуумаар эпи-бэлэн сав баглаа боодол | Вакуумаар эпи-бэлэн сав баглаа боодол | Вакуумаар эпи-бэлэн сав баглаа боодол |
| 8.2 | сав баглаа боодол | -- | Олон төрлийн вафель кассет сав баглаа боодол | Олон төрлийн вафель кассет сав баглаа боодол | Олон төрлийн вафель кассет сав баглаа боодол |
Шуудангийн цаг: 2023 оны 4-р сарын 18