SPC (Статистикийн процессын хяналт) нь вафли үйлдвэрлэх процесст чухал хэрэгсэл бөгөөд үйлдвэрлэлийн янз бүрийн үе шатуудын тогтвортой байдлыг хянах, хянах, сайжруулахад ашиглагддаг.
1. SPC системийн тойм
SPC нь үйлдвэрлэлийн процессыг хянах, хянахын тулд статистикийн техник ашигладаг арга юм. Үүний гол үүрэг нь бодит цагийн өгөгдлийг цуглуулж, шинжлэх замаар үйлдвэрлэлийн процессын гажигийг илрүүлэх, инженерүүдэд цаг тухайд нь тохируулга хийж, шийдвэр гаргахад нь туслах явдал юм. SPC-ийн зорилго нь үйлдвэрлэлийн процессын хэлбэлзлийг бууруулж, бүтээгдэхүүний чанар тогтвортой, техникийн шаардлагад нийцэж байгааг баталгаажуулах явдал юм.
SPC нь сийлбэрийн процесст дараахь зүйлийг ашигладаг.
Тоног төхөөрөмжийн чухал параметрүүдийг хянах (жишээ нь, сийлбэрийн хурд, RF-ийн хүч, камерын даралт, температур гэх мэт)
Бүтээгдэхүүний чанарын гол үзүүлэлтүүдийг шинжлэх (жишээ нь, шугамын өргөн, сийлбэрийн гүн, ирмэгийн барзгаржилт гэх мэт)
Эдгээр параметрүүдийг хянаснаар инженерүүд тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэл муудаж эсвэл үйлдвэрлэлийн процесст хазайлт гарч байгааг илтгэх чиг хандлагыг илрүүлж, улмаар хаягдлын хэмжээг бууруулж чадна.
2. SPC системийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
SPC систем нь хэд хэдэн гол модулиудаас бүрдэнэ:
Өгөгдөл цуглуулах модуль: Тоног төхөөрөмж болон процессын урсгалаас (жишээ нь, FDC, EES системээр дамжуулан) бодит цагийн өгөгдлийг цуглуулж, чухал параметрүүд болон үйлдвэрлэлийн үр дүнг бүртгэдэг.
Хяналтын диаграммын модуль: Процессын тогтвортой байдлыг дүрслэн харуулах, процесс хяналтанд байгаа эсэхийг тодорхойлоход туслахын тулд статистикийн хяналтын диаграммуудыг (жишээ нь, X-Bar диаграмм, R диаграмм, Cp/Cpk диаграмм) ашигладаг.
Дохиоллын систем: Чухал параметрүүд хяналтын хязгаараас хэтэрсэн эсвэл чиг хандлагын өөрчлөлтийг харуулсан үед дохиоллыг идэвхжүүлж, инженерүүдийг арга хэмжээ авахад хүргэдэг.
Шинжилгээ ба тайлангийн модуль: SPC график дээр үндэслэн гажигийн үндсэн шалтгааныг шинжилж, үйл явц болон тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийн тайланг тогтмол гаргадаг.
3. SPC дахь хяналтын хүснэгтүүдийн дэлгэрэнгүй тайлбар
Хяналтын хүснэгтүүд нь SPC-д хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг хэрэгслүүдийн нэг бөгөөд "хэвийн хэлбэлзэл" (байгалийн процессын хэлбэлзлээс үүдэлтэй) ба "хэвийн бус хэлбэлзэл" (тоног төхөөрөмжийн эвдрэл эсвэл процессын хазайлтаас үүдэлтэй)-ийг ялгахад тусалдаг. Нийтлэг хяналтын хүснэгтүүдэд дараахь зүйлс орно.
X-Bar болон R диаграммууд: Үйлдвэрлэлийн багцуудын дундаж болон хүрээг хянахын тулд үйл явц тогтвортой эсэхийг ажиглахад ашигладаг.
Cp болон Cpk индексүүд: Процессын чадавхийг хэмжихэд ашигладаг, өөрөөр хэлбэл процессын гаралт нь техникийн үзүүлэлтийн шаардлагыг тогтмол хангаж чадах эсэхийг. Cp нь боломжит чадавхийг хэмждэг бол Cpk нь процессын төвийн техникийн үзүүлэлтийн хязгаараас хазайлтыг авч үздэг.
Жишээлбэл, сийлбэр хийх явцад та сийлбэрийн хурд болон гадаргуугийн барзгаржилт зэрэг параметрүүдийг хянаж болно. Хэрэв тодорхой тоног төхөөрөмжийн сийлбэрийн хурд хяналтын хязгаараас хэтэрсэн бол энэ нь байгалийн өөрчлөлт үү эсвэл тоног төхөөрөмжийн эвдрэлийн шинж тэмдэг үү гэдгийг тодорхойлохын тулд хяналтын хүснэгтийг ашиглаж болно.
4. Сийлбэрийн тоног төхөөрөмжид SPC-ийн хэрэглээ
Сийлбэрийн процесст тоног төхөөрөмжийн параметрүүдийг хянах нь чухал бөгөөд SPC нь дараах аргаар процессын тогтвортой байдлыг сайжруулахад тусалдаг.
Тоног төхөөрөмжийн нөхцөл байдлын хяналт: FDC зэрэг системүүд нь сийлбэрийн тоног төхөөрөмжийн гол параметрүүдийн (жишээ нь, RF-ийн хүч, хийн урсгал) талаарх бодит цагийн өгөгдлийг цуглуулж, тоног төхөөрөмжийн болзошгүй асуудлуудыг илрүүлэхийн тулд энэхүү өгөгдлийг SPC хяналтын диаграммтай нэгтгэдэг. Жишээлбэл, хэрэв та хяналтын диаграмм дээрх RF-ийн хүч нь тогтоосон утгаас аажмаар хазайж байгааг харвал бүтээгдэхүүний чанарт нөлөөлөхөөс зайлсхийхийн тулд тохируулга хийх эсвэл засвар үйлчилгээ хийх эрт арга хэмжээ авч болно.
Бүтээгдэхүүний чанарын хяналт: Та мөн бүтээгдэхүүний чанарын гол параметрүүдийг (жишээ нь, сийлбэрийн гүн, шугамын өргөн) SPC системд оруулж, тэдгээрийн тогтвортой байдлыг хянах боломжтой. Хэрэв зарим чухал бүтээгдэхүүний үзүүлэлтүүд зорилтот утгаас аажмаар хазайвал SPC систем нь үйл явцын тохируулга шаардлагатай байгааг илтгэх дохиолол гаргана.
Урьдчилан сэргийлэх засвар үйлчилгээ (УЗ): SPC нь тоног төхөөрөмжийн урьдчилан сэргийлэх засвар үйлчилгээний мөчлөгийг оновчтой болгоход тусалдаг. Тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэл болон процессын үр дүнгийн талаарх урт хугацааны өгөгдлийг шинжилснээр та тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний оновчтой хугацааг тодорхойлж чадна. Жишээлбэл, RF-ийн хүч болон ESC-ийн ашиглалтын хугацааг хянаснаар та хэзээ цэвэрлэх эсвэл эд анги солих шаардлагатайг тодорхойлж, тоног төхөөрөмжийн эвдрэлийн түвшин болон үйлдвэрлэлийн зогсолтыг бууруулж чадна.
5. SPC системийн өдөр тутмын хэрэглээний зөвлөмжүүд
Өдөр тутмын үйл ажиллагаанд SPC системийг ашиглахдаа дараах алхмуудыг дагаж мөрдөж болно.
Гол хяналтын параметрүүдийг (KPI) тодорхойлох: Үйлдвэрлэлийн процессын хамгийн чухал параметрүүдийг тодорхойлж, тэдгээрийг SPC хяналтад оруулах. Эдгээр параметрүүд нь бүтээгдэхүүний чанар болон тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлтэй нягт холбоотой байх ёстой.
Хяналтын хязгаар болон дохиоллын хязгаарыг тохируулах: Түүхэн өгөгдөл болон процессын шаардлагад үндэслэн параметр бүрийн хувьд боломжийн хяналтын хязгаар болон дохиоллын хязгаарыг тогтооно. Хяналтын хязгаарыг ихэвчлэн ±3σ (стандарт хазайлт) гэж тохируулдаг бол дохиоллын хязгаарыг процесс болон тоног төхөөрөмжийн тодорхой нөхцөлд үндэслэн тогтооно.
Тасралтгүй хяналт ба дүн шинжилгээ: Өгөгдлийн чиг хандлага болон хэлбэлзлийг шинжлэхийн тулд SPC хяналтын диаграммыг тогтмол хянаж байх. Хэрэв зарим параметрүүд хяналтын хязгаараас давсан бол тоног төхөөрөмжийн параметрүүдийг тохируулах эсвэл тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ хийх зэрэг яаралтай арга хэмжээ авах шаардлагатай.
Хэвийн бус байдлыг зохицуулах болон үндсэн шалтгааны шинжилгээ: Хэвийн бус байдал үүссэн үед SPC систем нь ослын талаарх дэлгэрэнгүй мэдээллийг бүртгэдэг. Та энэ мэдээлэлд үндэслэн хэвийн бус байдлын үндсэн шалтгааныг олж засварлаж, шинжлэх хэрэгтэй. Асуудал нь тоног төхөөрөмжийн эвдрэл, процессын хазайлт эсвэл гадаад орчны хүчин зүйлээс үүдэлтэй эсэхийг шинжлэхийн тулд FDC систем, EES систем гэх мэтээс авсан өгөгдлийг нэгтгэх боломжтой байдаг.
Тасралтгүй сайжруулалт: SPC системд бүртгэгдсэн түүхэн өгөгдлийг ашиглан үйл явцын сул талуудыг тодорхойлж, сайжруулах төлөвлөгөөг санал болгоно. Жишээлбэл, сийлбэр хийх явцад ESC-ийн ашиглалтын хугацаа болон цэвэрлэх аргуудын тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний мөчлөгт үзүүлэх нөлөөллийг шинжилж, тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны параметрүүдийг тасралтгүй оновчтой болгоно.
6. Практик хэрэглээний тохиолдол
Практик жишээ болгон, та E-MAX сийлбэрийн төхөөрөмжийг хариуцаж байгаа бөгөөд камерын катод нь эрт элэгдэж, D0 (BARC согог) утгыг нэмэгдүүлэхэд хүргэж байна гэж бодъё. SPC системээр дамжуулан RF чадал болон сийлбэрийн хурдыг хянаснаар эдгээр параметрүүд аажмаар тогтоосон утгаасаа хазайх хандлага ажиглагдана. SPC дохиолол идэвхжсэний дараа та FDC системийн өгөгдлийг нэгтгэж, асуудал нь камерын доторх тогтворгүй температурын хяналтаас үүдэлтэй болохыг тодорхойлно. Дараа нь та шинэ цэвэрлэгээний арга, засвар үйлчилгээний стратеги хэрэгжүүлж, эцэст нь D0 утгыг 4.3-аас 2.4 болгон бууруулж, улмаар бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулна гэж бодъё.
7. XINKEHUI-д та авч болно.
XINKEHUI дээр та цахиурын эсвэл SiC вафли аль нь ч байсан төгс вафлиг бүтээх боломжтой. Бид янз бүрийн салбарт зориулсан өндөр чанартай вафлиг нийлүүлэх чиглэлээр мэргэшсэн бөгөөд нарийвчлал болон гүйцэтгэлд анхаарлаа хандуулдаг.
(цахиурын вафли)
Манай цахиурын хавтангууд нь дээд зэргийн цэвэршилт, жигд чанараар хийгдсэн бөгөөд таны хагас дамжуулагчийн хэрэгцээнд маш сайн цахилгаан шинж чанарыг хангадаг.
Илүү хүнд нөхцөлд ашиглахын тулд манай SiC вафли нь онцгой дулаан дамжуулалт болон өндөр эрчим хүчний үр ашгийг санал болгодог бөгөөд энэ нь цахилгаан электроник болон өндөр температурт тохиромжтой.
(SiC вафли)
XINKEHUI-тай бол та хамгийн сүүлийн үеийн технологи, найдвартай дэмжлэгийг авах бөгөөд салбарын хамгийн өндөр стандартыг хангасан вафли үйлдвэрлэх баталгаатай болно. Төгс вафли үйлдвэрлэхийн тулд биднийг сонгоорой!
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 10-р сарын 16