Гарчгийн хүснэгт
1. FOUP-ийн тойм ба үндсэн функцууд
2.FOUP-ийн бүтэц ба дизайны онцлогууд
3. FOUP-ийн ангилал ба хэрэглээний удирдамж
4. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд FOUP-ийн үйл ажиллагаа ба ач холбогдол
5. Техникийн бэрхшээлүүд ба ирээдүйн хөгжлийн чиг хандлага
6.XKH-ийн захиалгат шийдэл болон үйлчилгээний дэмжлэг
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст Урд Онгойдог Нэгдмэл Под (FOUP) нь вафлиг хамгаалах, тээвэрлэх, хадгалахад ашиглагддаг чухал сав юм. Дотор нь 25 ширхэг 300 мм-ийн вафлиг багтаах боломжтой бөгөөд гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь урд онгойдог сав, онгойлгох, хаах зориулалттай хаалганы хүрээ орно. FOUP нь 12 инчийн вафлины үйлдвэрүүдийн доторх автоматжуулсан тээврийн системийн гол тээвэрлэгч юм. Энэ нь ихэвчлэн хаалттай төлөвт тээвэрлэгддэг бөгөөд зөвхөн тоног төхөөрөмжийн ачааллын порт руу түлхэгдэх үед нээгддэг бөгөөд энэ нь вафлиг тоног төхөөрөмжийн ачих/буулгах порт руу шилжүүлэх боломжийг олгодог.
FOUP-ийн загварыг бичил орчны шаардлагад нийцүүлэн боловсруулсан. Энэ нь ар талд нь вафли оруулах зориулалттай үүртэй бөгөөд таг нь онгойлгогчийн хавчаартай тааруулан тусгайлан бүтээгдсэн. Вафлитай харьцах роботууд нь 1-р зэрэглэлийн цэвэр агаарын орчинд ажилладаг бөгөөд дамжуулалтын явцад вафли бохирдохгүй байхыг баталгаажуулдаг. Цаашилбал, FOUP-ийг автоматжуулсан материал харьцах систем (AMHS)-ээр дамжуулан процессын хэрэгслүүдийн хооронд зөөдөг. Орчин үеийн вафлины үйлдвэрүүд нь тээвэрлэлтэд ихэвчлэн дээгүүрх төмөр замын системийг ашигладаг бол зарим хуучин үйлдвэрүүд нь газар дээр суурилсан автоматжуулсан удирдлагатай тээврийн хэрэгсэл (AGV) ашиглаж болно.
FOUP нь зөвхөн автомат вафли дамжуулах боломжийг олгоод зогсохгүй хадгалах функцийг гүйцэтгэдэг. Үйлдвэрлэлийн олон үе шаттай тул вафли нь бүхэл бүтэн процессын урсгалыг дуусгахад хэдэн сар шаардагдаж магадгүй юм. Сарын өндөр үйлдвэрлэлийн хэмжээтэй хослуулан үйлдвэрт байгаа хэдэн арван мянган вафли нь хэзээ ч тээвэрлэлт эсвэл түр хадгалалтад байнга байдаг гэсэн үг юм. Хадгалах явцад бохирдуулагч бодисууд вафлитай холбогдохоос сэргийлж, FOUP-уудыг үе үе азотоор цэвэрлэж, цэвэр, найдвартай үйлдвэрлэлийн процессыг хангадаг.
1. FOUP-ийн үүрэг ба ач холбогдол
FOUP-ийн гол үүрэг нь вафлиг гадны цочрол, бохирдлоос хамгаалах, ялангуяа дамжуулах явцад гарцад үзүүлэх нөлөөллөөс зайлсхийх явдал юм. Энэ нь хийн цэвэрлэгээ болон орон нутгийн агаар мандлын хяналт (LAC) зэрэг аргуудаар чийгийг үр дүнтэйгээр сэргийлж, дараагийн үйлдвэрлэлийн алхамыг хүлээж байх хугацаанд вафлиг аюулгүй байдалд байлгахыг баталгаажуулдаг. Үүний битүүмжилсэн, хяналттай систем нь зөвхөн шаардлагатай нэгдлүүд болон элементүүдийг нэвтрэхийг зөвшөөрдөг бөгөөд энэ нь вафлид үзүүлэх VOC, хүчилтөрөгч, чийгийн сөрөг нөлөөллийг мэдэгдэхүйц бууруулдаг.
25 ширхэг вафлигаар бүрэн дүүргэсэн FOUP нь 9 килограмм хүртэл жинтэй тул тээвэрлэлтийг Автоматжуулсан Материалын Боловсруулалтын Систем (AMHS)-д тулгуурлах ёстой. Үүнийг хөнгөвчлөхийн тулд FOUP нь холбогч хавтан, зүү, нүхний янз бүрийн хослолоор бүтээгдсэн бөгөөд хялбар таних, ангилах RFID электрон шошготой. Энэхүү автоматжуулсан боловсруулалт нь бараг гар ажиллагаа шаарддаггүй бөгөөд алдааны түвшинг эрс бууруулж, үйлдвэрлэлийн процессын аюулгүй байдал, нарийвчлалыг сайжруулдаг.
2. FOUP-ийн бүтэц ба ангилал
FOUP-ийн ердийн хэмжээсүүд нь ойролцоогоор 420 мм өргөн, 335 мм гүн, 335 мм өндөр байдаг. Үүний үндсэн бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд: дээгүүр өргөх өргөгчийг тээвэрлэх зориулалттай дээд OHT (мөөгний толгой); тоног төхөөрөмжийн вафер руу нэвтрэх урд хаалга; бохирдлын түвшин өөр өөр байгаа процессын хэсгүүдийг ялгахын тулд ихэвчлэн өнгөөр кодлогдсон хажуугийн бариул; зурвас карт байрлуулах картын хэсэг; мөн багаж хэрэгсэл болон дээгүүр өргөгчдийг таних боломжийг олгодог FOUP-ийн өвөрмөц танигч болж үйлчилдэг доод RFID шошго багтана. Суурь нь мөн багаж хэрэгсэлтэй тохирох, процессын хэсгүүдийг ялгах зориулалттай дөрвөн таних болон байрлуулах нүхээр тоноглогдсон.
Хэрэглээнээс нь хамааран FOUP-уудыг гурван төрөлд ангилдаг: PRD (үйлдвэрлэлийн зориулалттай), ENG (инженерийн вафли) болон MON (мониторын вафли) гэсэн гурван төрөлд ангилдаг. PRD FOUP-уудыг бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд ашиглаж болох бөгөөд ENG төрлүүд нь судалгаа, хөгжүүлэлт эсвэл туршилтад тохиромжтой, MON төрлүүд нь CMP болон DIFF зэрэг алхмуудын процессын хяналтад зориулагдсан байдаг. PRD FOUP-уудыг ENG болон MON зорилгоор хоёуланд нь, ENG төрлүүдийг MON-д ашиглаж болох боловч урвуу үйлдэл нь чанарын эрсдэл учруулдаг гэдгийг тэмдэглэх нь чухал юм.
Бохирдлын түвшингээр нь ангилсан FOUP-уудыг FE FOUP (урд талын боловсруулалт, металлгүй), BE FOUP (арын боловсруулалт, металл агуулсан) болон NI FOUP, CU FOUP, CO FOUP зэрэг тодорхой металл боловсруулалтад зориулагдсан гэж хувааж болно. Өөр өөр боловсруулалтын FOUP-уудыг ихэвчлэн хажуугийн бариул эсвэл хаалганы хавтангийн өнгөөр ялгадаг. Урд талын боловсруулалтаас гаргаж авсан FOUP-уудыг арын боловсруулалтад ашиглаж болох боловч арын FOUP-уудыг хэзээ ч урд талын боловсруулалтад ашиглаж болохгүй, учир нь энэ нь бохирдлын эрсдэл үүсгэж болзошгүй юм.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн гол тээвэрлэгч болох FOUP нь өндөр автоматжуулалт болон хатуу бохирдлын хяналтаар дамжуулан үйлдвэрлэлийн процессын явцад вафлины аюулгүй байдал, цэвэр байдлыг хангаж, орчин үеийн вафлины үйлдвэрүүдэд зайлшгүй шаардлагатай дэд бүтэц болгодог.
Дүгнэлт
XKH нь таны тодорхой процессын шаардлага болон тоног төхөөрөмжийн интерфэйсийн үзүүлэлтүүдийг чанд мөрдөж, хэрэглэгчдэд өндөр түвшинд тохируулсан Урд Нээлттэй Нэгдсэн Под (FOUP) шийдлүүдийг хангах үүрэг хүлээдэг. Дэвшилтэт материалын технологи болон нарийн үйлдвэрлэлийн процессыг ашиглан бид FOUP бүтээгдэхүүн бүр онцгой агаар нэвтрэхгүй, цэвэр байдал, механик тогтвортой байдлыг хангадаг болохыг баталгаажуулдаг. Манай техникийн баг салбарын гүнзгий туршлагатай бөгөөд сонголтын зөвлөгөө, бүтцийн оновчлолоос эхлээд цэвэрлэгээ, засвар үйлчилгээ хүртэл цогц амьдралын мөчлөгийн дэмжлэгийг санал болгодог бөгөөд FOUP болон таны Автоматжуулсан Материалын Боловсруулалтын Систем (AMHS) болон боловсруулах тоног төхөөрөмжийн хоорондын тасралтгүй интеграци, үр ашигтай хамтын ажиллагааг хангадаг. Бид вафлины аюулгүй байдал, үйлдвэрлэлийн гарцыг нэмэгдүүлэхийг гол зорилгоо болгон тууштай тэргүүлдэг. Шинэлэг бүтээгдэхүүн, цогц техникийн үйлчилгээгээрээ дамжуулан бид таны хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст бат бөх баталгаа өгч, эцэст нь үйлдвэрлэлийн үр ашиг, бүтээгдэхүүний гарцыг нэмэгдүүлдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 9-р сарын 8