Агуулга
1. FOUP-ийн тойм ба үндсэн чиг үүрэг
2. FOUP-ийн бүтэц, дизайны онцлог
3. FOUP-ийн ангилал ба хэрэглэх заавар
4. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл дэх FOUP-ийн үйл ажиллагаа ба ач холбогдол
5.Техникийн сорилтууд ба ирээдүйн хөгжлийн чиг хандлага
6.XKH-ийн захиалгат шийдэл, үйлчилгээний дэмжлэг
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст урд нээлтийн нэгдсэн хонхорцог (FOUP) нь өргүүрийг хамгаалах, тээвэрлэх, хадгалахад ашигладаг чухал сав юм. Дотор нь 25 ширхэг 300 мм-ийн өргүүрийг багтаах боломжтой бөгөөд гол бүрэлдэхүүн хэсэг нь урд нээгдэх сав, онгойлгох, хаахад зориулагдсан хаалганы хүрээ орно. FOUP нь 12 инчийн хавтанцар доторх автоматжуулсан тээврийн системийн үндсэн тээвэрлэгч юм. Энэ нь ихэвчлэн хаалттай төлөвт тээвэрлэгддэг бөгөөд зөвхөн тоног төхөөрөмжийг ачаалах порт руу түлхэх үед нээгддэг бөгөөд энэ нь хавтангуудыг төхөөрөмжийн ачих/буулгах порт руу шилжүүлэх боломжийг олгодог.
FOUP-ийн загвар нь бичил орчны шаардлагад нийцсэн. Энэ нь арын хэсэгт өргүүр оруулах зориулалттай нүхтэй бөгөөд таг нь онгойлгогчийн хавчаартай тохирохоор тусгайлан бүтээгдсэн. Өргөст өрөмтэй харьцах роботууд нь 1-р зэрэглэлийн цэвэр агаартай орчинд ажилладаг бөгөөд энэ нь дамжих явцад ялтсуудыг бохирдуулахгүй байхыг баталгаажуулдаг. Цаашилбал, FOUP нь автоматжуулсан материал боловсруулах систем (AMHS) -ээр дамжуулан процессын хэрэгслүүдийн хооронд шилждэг. Орчин үеийн өргүүрийн үйлдвэрүүд ихэвчлэн төмөр замын системийг тээвэрлэхэд ашигладаг бол зарим хуучин үйлдвэрүүд газар дээр суурилсан автомат удирдлагатай тээврийн хэрэгсэл (AGVs) ашиглаж болно.
FOUP нь вафферийн автомат дамжуулалтыг идэвхжүүлээд зогсохгүй хадгалах функцийг гүйцэтгэдэг. Үйлдвэрлэлийн олон үе шат дамждаг тул вафель нь бүхэл бүтэн процессыг дуусгахад хэдэн сар шаардлагатай. Сарын өндөр үйлдвэрлэлийн хэмжээтэй хослуулан энэ нь үйлдвэр доторх хэдэн арван мянган вафель нь ямар ч үед дамжин өнгөрөх эсвэл түр хадгалалтад байдаг гэсэн үг юм. Хадгалах явцад FOUP-ыг үе үе азотоор цэвэрлэж, вафельд бохирдуулахаас сэргийлж, цэвэр, найдвартай үйлдвэрлэлийн процессыг баталгаажуулдаг.
1. FOUP-ийн үүрэг, ач холбогдол
FOUP-ийн үндсэн үүрэг нь ялтсуудыг гадны цочрол, бохирдлоос хамгаалах, ялангуяа шилжүүлгийн явцад ургацын нөлөөллөөс зайлсхийх явдал юм. Энэ нь хий цэвэрлэх, орон нутгийн агаар мандлын хяналт (LAC) зэрэг аргуудаар чийгийг үр дүнтэй сэргийлж, хавтанцарыг дараагийн үйлдвэрлэлийн үе шатыг хүлээж байхдаа аюулгүй байдалд байлгана. Түүний битүүмжилсэн, хяналттай систем нь зөвхөн шаардлагатай нэгдлүүд болон элементүүдийг нэвтрүүлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь вафель дээрх VOC, хүчилтөрөгч, чийгийн сөрөг нөлөөллийг эрс багасгадаг.
25 ширхэг хавтан бүхий FOUP нь 9 кг хүртэл жинтэй тул тээвэрлэлт нь Материалын автоматжуулсан систем (AMHS) дээр тулгуурлах ёстой. Үүнийг хөнгөвчлөхийн тулд FOUP нь холбох хавтан, тээглүүр, нүхний янз бүрийн хослолоор бүтээгдсэн бөгөөд хялбар таних, ангилах зорилгоор RFID электрон шошгуудаар тоноглогдсон. Энэхүү автоматжуулсан зохицуулалт нь бараг гар ажиллагаа шаарддаггүй бөгөөд алдааны хэмжээг эрс бууруулж, үйлдвэрлэлийн процессын аюулгүй байдал, нарийвчлалыг нэмэгдүүлдэг.
2. FOUP-ийн бүтэц, ангилал
FOUP-ийн ердийн хэмжээсүүд нь ойролцоогоор 420 мм өргөн, 335 мм гүн, 335 мм өндөр юм. Үүний үндсэн бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд дараахь зүйлс орно: Өргөгчийг зөөвөрлөх дээд OHT (мөөгний толгой); тоног төхөөрөмжид өрмөнцөр нэвтрэх зориулалттай урд хаалга; хажуугийн Бариул, янз бүрийн бохирдлын түвшинтэй процессын хэсгүүдийг ялгахын тулд ихэвчлэн өнгөөр ялгадаг; зурвасын карт байрлуулах картын талбай; ба доод RFID шошго нь FOUP-ийн өвөрмөц танигч болж, багаж хэрэгсэл болон өргөгчийг таних боломжийг олгодог. Мөн суурь нь багаж хэрэгсэлтэй тааруулж, үйл явцын талбайг ялгах дөрвөн таних, байрлуулах нүхээр тоноглогдсон.
Ашиглалтын үндсэн дээр FOUP-ийг PRD (үйлдвэрлэлийн зориулалттай), ENG (инженерийн өрөмд зориулагдсан), MON (мониторын өрөмд зориулсан) гэсэн гурван төрөлд ангилдаг. PRD FOUP-уудыг бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд ашиглаж болно, ENG төрлүүд нь судалгаа, боловсруулалт эсвэл туршилтанд тохиромжтой, MON төрлүүд нь CMP, DIFF зэрэг алхмуудыг хянахад зориулагдсан. PRD FOUP-уудыг ENG болон MON зорилгоор ашиглах боломжтой ба ENG төрлүүдийг MON-д ашиглаж болох боловч урвуу ажиллагаа нь чанарын эрсдэлтэй гэдгийг анхаарах нь чухал юм.
Бохирдлын түвшингээр нь ангилсан FOUP-уудыг FE FOUP (урд талын процесс, металл агуулаагүй), BE FOUP (арын төгсгөлийн процесс, металл агуулсан) болон NI FOUP, CU FOUP, CO FOUP зэрэг тусгай металлын процесст зориулагдсан гэж хувааж болно. Янз бүрийн процесст зориулсан FOUP нь ихэвчлэн хажуугийн бариул эсвэл хаалганы хавтангийн өнгөөр ялгагдана. Урд талын процессуудын FOUP-уудыг арын төгсгөлийн процессуудад ашиглаж болох боловч арын төгсгөлийн FOUP-уудыг урд талын процессуудад хэзээ ч ашиглах ёсгүй, учир нь энэ нь бохирдох эрсдэлийг үүсгэдэг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн гол тээвэрлэгчийн хувьд FOUP нь өндөр автоматжуулалт, бохирдлыг хатуу хянах замаар үйлдвэрлэлийн процессын явцад вафельны аюулгүй байдал, цэвэр байдлыг баталгаажуулж, орчин үеийн вафель үйлдвэрт зайлшгүй шаардлагатай дэд бүтэц болж өгдөг.
Дүгнэлт
XKH нь таны үйл явцын тусгай шаардлага, тоног төхөөрөмжийн интерфейсийн үзүүлэлтүүдийг чанд мөрдөж, үйлчлүүлэгчдэдээ дээд зэргийн тохируулсан Урд онгойлгох нэгдсэн хонхорцог (FOUP) шийдлээр хангах үүрэгтэй. Материалын дэвшилтэт технологи, нарийн үйлдвэрлэлийн процессыг ашиглан бид FOUP бүтээгдэхүүн бүр онцгой агаар үл нэвтрэх, цэвэр байдал, механик тогтвортой байдлыг хангадаг. Манай техникийн баг нь FOUP болон таны материал зөөвөрлөх автоматжуулсан систем (AMHS) болон боловсруулах тоног төхөөрөмжийн хооронд тасралтгүй уялдаа холбоо, үр ашигтай хамтын ажиллагааг хангах, сонгон шалгаруулах зөвлөгөө, бүтцийн оновчлолоос эхлээд цэвэрлэгээ, засвар үйлчилгээ хүртэлх амьдралын мөчлөгийн цогц дэмжлэгийг санал болгож, салбарын гүн гүнзгий туршлагатай. Бид нимгэн талст ялтсын аюулгүй байдал, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлэхийг үндсэн зорилт болгон эрхэмлэдэг. Бид шинэлэг бүтээгдэхүүн, бүх талын техникийн үйлчилгээгээр дамжуулан таны хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст найдвартай баталгаа өгч, эцсийн дүндээ үйлдвэрлэлийн үр ашиг, бүтээгдэхүүний гарцыг нэмэгдүүлдэг.
Шуудангийн цаг: 2025-09-08